Kriopompa On-Board® IS Edwards

Niezrównana wydajność próżniowa i efektywność energetyczna

Systemy pomp kriogenicznych CTI-Cryogenics IS firmy Edwards wykorzystują innowacyjną, wysokowydajną technologię, aby zapewnić niezrównaną wydajność próżniową i efektywność energetyczną.

Opatentowany rozproszony system sterowania monitoruje i stale dostosowuje poszczególne elementy systemu kriopumpy, aby utrzymać optymalną wydajność próżniową w całym systemie, zapewniając wyjątkową spójność procesu. Wbudowane pompy kriogeniczne IS zapewniają najwyższy czas sprawnego działania, najlepszą wydajność i najniższy całkowity koszt posiadania każdego dostępnego obecnie systemu kriogenicznego, wspieranego przez szybko reagującą globalną sieć serwisową i wsparcia firmy Edwards.

Najważniejsze cechy

Opatentowany rozproszony system sterowania monitoruje i stale dostosowuje poszczególne elementy systemu kriopompy
Utrzymuje optymalną wydajność próżniową w całym systemie, zapewniając wyjątkową spójność procesu
Najszybsze regeneracje w konfiguracjach z jedną i wieloma pompami
Niskie zużycie energii i wody chłodzącej bez uszczerbku dla wydajności próżniowej
Łatwa integracja z systemem
Szybka instalacja
Udoskonalone zdalne monitorowanie w celu konserwacji zapobiegawczej i predykcyjnej

Kryopompa IS 320FX
IS XP

Kriopompa On-Board® IS 320FX, opracowana specjalnie z myślą o wyzwaniach współczesnych procesów implantacji jonowej, zapewnia większą prędkość i wydajność pompowania wodoru przy zachowaniu jakości, wydajności i niezawodności, których oczekujesz.

Zaprojektowane specjalnie do stosowania z implantami jonowymi
Zoptymalizowane pod kątem wydajności narzędziowej
Inteligentna technologia "samoregulacji
Mniejsze koszty eksploatacji
Mniej przestojów

Kryopompa On-Board® IS XP zapewnia większą wydajność w zastosowaniach PVD w celu osiągnięcia maksymalnej wydajności przy zachowaniu przejrzystości procesu. Jednocześnie wykorzystuje sprawdzoną efektywność energetyczną, stałą wydajność i niski koszt posiadania, jakiego można oczekiwać od wbudowanego IS On-Board®.