고객의 생산성을 지원합니다.
서브팹 가용성 극대화
빠르게 변화하는 커넥티드 세상에서 우리는 고객의 생산성을 극대화해야 할 필요성을 잘 알고 있습니다. Edwards는 제조 공정이 초래할 수 있는 위험과 환경적 문제를 줄이기 위해 지속적으로 노력하면서, 고객의 기술을 시장에 먼저 출시할 수 있도록 함으로써 이를 실현합니다.
Edwards 통합 솔루션은 전 세계 경험을 바탕으로 해당 분야에서 가장 진보된 기술을 바탕으로 고객의 전체 진공 및 배기 관리 요구를 평가합니다. Edwards의 통합 시스템은 제품 및 서비스 반복성과 공간 절약의 이점을 제공합니다. 생산성, 안전성 및 환경 보장을 개선합니다. 아트라스콥코의 통합 시스템은 보다 빠른 설치 및 설정 속도, 규모의 경제성 및 향상된 안전성의 직접적인 이점을 제공합니다.
EZENITH는 모든 반도체 공정 어플리케이션을 위한 완전 통합형 진공 및 배기 관리 솔루션을 제공하는 고급 시스템 포트폴리오를 제공합니다. EZENITH 시스템은 다음과 같은 독보적인 기능을 제공합니다.
- 공정 중심 진공 및 배기 관리
- 구성요소 완전 통합
- 각 기능을 강력한 통합형 제어 인터페이스로 지원
- 효율적으로 공간을 차지하는 디자인 - 최대 70% 공간 절약
- 전체 내부 배포, 매끄럽고 신뢰할 수 있는 작동을 확보하는 동시에 유틸리티 연결을 60% 이상 줄인 서비스 조정 및 모니터링
펌프와 가스 저감 장치만 있다고 해서 공정을 실행할 준비가 된 것은 아닙니다. 펌프 배기구를 연결하고, 필요한 경우 라인 히터를 연결하며, 물, 퍼지 및 전기 라인을 가동한 다음 모든 제어 신호를 준비해야 합니다. 또한 이중 인클로저, 가스 누출 감지, 공구 유지보수 후 누출 점검 방법 등을 고려해야 합니다. 이 모든 것들은 설계 시간과 비용이 소요됩니다. 우리는 문제를 이해하여 통합된 프로세스 특정 솔루션을 개발했습니다.
Edwards의 통합 시스템은 이미 대부분의 반도체 공정을 위해 사전 설계되어 있습니다. 배기 히터는 비용을 최소화하고 가동 시간을 극대화하기 위해 올바른 온도로 설정됩니다. 누출 확인 포트와 게이트 밸브를 필요한 곳에 배치합니다. 전체 시스템이 포함되어 있으며, 가장 중요한 것은 필요한 유틸리티 중 하나만 제공하면 된다는 것입니다. Edwards는 가스, 물, 전기 및 제어 신호를 필요한 곳에 분배하고 즉시 사용 가능한 시스템을 만듭니다.