Alcance niveles de vacío más bajos rápidamente
Los enfriadores criogénicos Polycold® MaxCool de Edwards son sistemas de refrigeración criogénica de circuito cerrado que capturan eficazmente el vapor de agua, que comprende entre el 65 % y el 95 % del gas residual en los sistemas de alto vacío.
Estos enfriadores criogénicos se pueden utilizar para capturar vapor de agua y otras sustancias condensables congelándolos en una superficie fría, como una bobina criogénica o un deflector en V. Los enfriadores criogénicos MaxCool también se utilizan para enfriar y calentar objetos como mandriles electrostáticos utilizados en el procesamiento de obleas de semiconductores. Los diferentes modelos de nuestra gama proporcionan 2000, 2500 o 4000 vatios de refrigeración.
Bombeo de vapor de agua
El vapor de agua suele ser el contaminante más reactivo presente en los sistemas de alto vacío. Con nuestros enfriadores criogénicos MaxCool, puede esperar un aumento del rendimiento del producto en su sistema existente del 20 % al 100 % y mejorar la calidad de la deposición.
La ventaja de MaxCool
- Reducción del tiempo de bombeo de vacío alto hasta en un 75 %
- Aumento del rendimiento del producto del 20 % al 100 %
- Menor presión parcial de vapor de agua durante el procesamiento para una mayor calidad de película, mejor adhesión y una deposición más reproducible
- Rápido retorno de la inversión al eliminar el coste recurrente del nitrógeno líquido
- Minimice el coste de propiedad con la gestión de la energía
- Refrigeración y calefacción de alta capacidad para una amplia variedad de procesos
Cuando se añaden a su sistema de vacío, los enfriadores criogénicos MaxCool pueden reducir drásticamente los tiempos de bombeo y aumentar el rendimiento del producto. El MaxCool bombeará vapor de agua en cuestión de minutos desde el arranque y puede descongelarse en menos de cuatro minutos, lo que le proporciona una verdadera capacidad de ciclo rápido.
Mediante el uso de mezclas de refrigerantes Polycold® patentadas, nuestros enfriadores criogénicos MaxCool funcionan según el principio de captura de Meissner. El vapor de agua se captura por condensación en una superficie enfriada criogénicamente, llamada bobina Meissner. El Meissner (bobina criogénica) se monta directamente en la cámara de vacío para que la conductividad no esté limitada por puertos, colectores, válvulas y deflectores. La bobina criogénica es fácil de instalar y se puede adaptar a cualquier sistema. No necesita una válvula de alto vacío.
Los enfriadores criogénicos MaxCool son la actualización más rentable que puede añadir a cualquier sistema de bombeo por difusión, turbobombeo o criobombeo de helio.
Los enfriadores criogénicos MaxCool cumplen con los Refrigerantes para aplicaciones europeas (CE 1005/2009), el Protocolo de Montreal y el SNAP de la EPA de EE. UU.
Ventajas
- Opción de gestión de energía para minimizar el coste de propiedad
- Control de la temperatura
- La carga de refrigerante Green patentada cumple con las normativas mundiales, es no tóxica y no inflamable
- Basado en la refrigeración de mezcla de gas probada, innovadora y fiable de Polycold®
- Cumple con la PED y la MD de la UE
- TUV Rheinland está incluido en las normas de seguridad NRTL/CANADÁ
- Fabricante con certificación ISO 9001:2008
- Especificaciones de los modelos MaxCool
- Descargas
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MaxCool 1500 |
MaxCool 2200 |
MaxCool 2500L |
MaxCool 4000H |
Máxima capacidad de refrigeración |
1,500 W |
2,200 W |
2,500 W |
4,000 W |
Temperatura a la capacidad de refrigeración máxima |
-118 °C |
-105 °C |
-120 °C |
-98 °C |
Temperatura más fría |
-141 °C |
-149 °C |
-145 °C |
-133 °C |
Presión máxima de funcionamiento (25 % de la velocidad máxima de bombeo) |
1E-9 torr |
8E-10 torr |
7E-10 torr |
5E-8 torr |
Área típica de trampa de frío |
0,5 m2 |
1,1 m2 |
1,4 m2 |
2,2 m2 |
Velocidad máxima de bombeo de vapor de agua desde una zona típica de trampa de frío |
74.500 l/s |
163.900 l/s |
208 600 l/s |
327 800 l/s |
Área máxima de trampa de frío conservadora* |
1,5 m2 |
1,5 m2 |
2,0 m2 |
2,8 m2 |
Consumo eléctrico (modo de espera) |
4,5 kW |
4,5 kW |
8,0 kW |
8,0 kW |
Consumo eléctrico (potencia típica, modo de refrigeración, carga baja) |
5,0 kW |
5,0 kW |
8,0 kW |
8,0 kW |
Consumo eléctrico (modo de refrigeración, carga máx.) |
7,8 kW |
8,6 kW |
11 kW |
14,0 kW |
Flujo de agua de refrigeración para 13 °C |
6,8 l/min |
6,8 l/min |
15,1 l/min |
15,1 l/min |
Flujo de agua de refrigeración para 18 °C |
9,1 l/min |
9,1 l/min | 18,2 l/min |
18,2 l/min |
Flujo de agua de refrigeración para 24 °C |
13,6 l/min |
13,6 l/min |
27,3 l/min |
27,3 l/min |
Flujo de agua de refrigeración para 29 °C |
27,6 l/min |
27,6 l/min |
54,1 l/min |
54,1 l/min |
Conforme con PED europea |
Sí |
Sí |
Sí |
Sí |
Refrigerantes no tóxicos |
Sí |
Sí |
Sí |
Sí |
Refrigerantes no inflamables |
Sí |
Sí |
Sí |
Sí |
