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真空システム用バルブの幅広いラインナップ

どんな用途にも対応

真空システム用バルブ

アングルバルブ、ゲートバルブ、インラインバルブ、特殊バルブなど、幅広いラインナップを取り揃えています。

お客様のプロセス要件を満たす適切なソリューションをご用意しています。ポンプ設計における革新性でよく知られている当社は、バルブにも同じエネルギーとコミットメントを注いでいます。その結果、さまざまなバルブをご用意しており、さまざまな作動方法、材料、サイズが選択できます。高真空での性能を発揮するために、堅牢な構造の素材が選ばれています。

当社のバルブに対する信頼は、設計プロセスの初期段階から始まります。有限要素解析などの技術を使用して、バルブの設計を最適化します。生産に入る前の環境試験室での厳しい試験プログラムにより、当社が供給するすべてのバルブはお客様の用途のニーズを確実に満たすことができます。 

生産開始後は、すべてのバルブが厳格な品質管理の対象となり、ヘリウム質量分析計リークディテクタを使用して個別にテストされます。ベローシールパイプラインバルブは、真空にさらされた100%グリースフリーのOリングで製造されており、比類のない低汚染レベルを実現します。 

ご使用の真空システムに適したバルブを選択するために、いくつかの動作パラメータを考慮してください。

真空システムを設計する場合、選択するバルブは、特定の動作パラメータの必要性によって決まります。真空システム用のバルブを選択する場合は、以下に示す太字の9つのパラメータすべてを考慮する必要があります。 

作動

手動、ソレノイド、空圧式のいずれかを選択できます。これは、システム設計と機械で利用できる設備によって決まります。

汚れやすさに対するシステムの耐久性

真空バルブは、「汚れる」真空システムでは、漏れを防止するさまざまな機能を備えています。システムがほこりやその他の粒子を発生したり含んだりする場合は、耐久性の高いバルブを選択します。

サイズ

真空パイプラインのサイズに合ったバルブを選択してください。高い排気速度とスループットを維持するために、パイプラインのサイズを小さくして小さなバルブに対応させないでください。

圧力範囲

特に真空システムに大気圧を超える圧力がかかることがある場合は、最大圧力定格と最小圧力定格の両方が重要です。

ポートの設定

バルブの位置によっては、インラインバルブまたはアングルバルブが必要な場合があります。

寿命

平均故障時間は、急速なサイクルで使用されるソレノイドバルブや空気圧バルブ、またはメンテナンス間隔が長いバルブにとって重要です。

位置表示

制御システムの一部として、バルブの位置をローカルまたはリモートで表示する必要がある場合があります。

閉栓スピード

バルブを迅速に閉じる必要がある場合は、ソレノイドバルブまたは空圧式バルブを使用します。

腐食耐性

腐食性ガスを処理する用途には、ステンレス鋼のバルブを使用できます。

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