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xvsクライオポンプのトップバナー

新次元のクライオポンプ性能を発揮します

エドワーズCTI-Cryogenics On-Board IS 320F XVSクライオポンプの垂直設置

On-Board® IS 320F XVSクライオポンプは、最大の水素排気性能を発揮するよう設計されており、製品歩留まりと装置スループットを向上させるため、昨今のイオン注入用途の課題に完璧な答えを提供します。クライオポンプに内蔵されたインテリジェントなシステム制御により、プロセスの品質、真空の安定性、および稼働時間を向上させ、システム情報をリアルタイムに提供して、さまざまな温度を最適に制御します。温度やガスの負荷条件の変化に合わせて自動調整することで、真空品質を高めます。

   

特長と利点

  • 安定した真空性能
  • 強化された真空性能
  • システムの互換性
安定した真空性能

  • 再生時のH2排気速度変動を低減
  • フォトレジストの汚染によるH2排気速度への影響を低減
  • 最適化され安定したアレー温度

強化された真空性能

  • 高い水素排気速度 - 15,500 l/s
  • 高い水素吸蔵量– 40 STD-L

システムの互換性

  • On-Board ISクライオポンプシステム
  • IS-1000、IS-2000V、IS-1800 XVSコンプレッサ

  • 再生時のH2排気速度変動を低減
  • フォトレジストの汚染によるH2排気速度への影響を低減
  • 最適化され安定したアレー温度

  • 高い水素排気速度 - 15,500 l/s
  • 高い水素吸蔵量– 40 STD-L

  • On-Board ISクライオポンプシステム
  • IS-1000、IS-2000V、IS-1800 XVSコンプレッサ

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