A supporto della produttività dei nostri clienti
Ottimizzazione della disponibilità Sub-Fab
Nel mondo attuale, connesso e in rapido movimento, siano consapevoli della necessità di ottimizzare la produttività dei nostri clienti. A tal fine, garantiamo che la loro tecnologia sia leader nel mercato, continuando a cercare di ridurre i rischi e i problemi ambientali insiti nel processo produttivo.
Le soluzioni integrate di Edwards valutano i requisiti di gestione del vuoto e dello scarico del cliente, sulla base della nostra esperienza globale, con le tecnologie più avanzate del settore. I nostri sistemi integrati offrono i vantaggi della ripetibilità di prodotti e servizi, e consentono di risparmiare spazio. Incrementano la produttività, la sicurezza e la tutela dell'ambiente. I nostri sistemi integrati, inoltre, si distinguono per la velocità di installazione e la rapidità della configurazione, e garantiscono economie di scala e maggiore sicurezza.
EZENITH offre un portafoglio avanzato di sistemi che forniscono soluzioni di gestione del vuoto e dello scarico completamente integrate per tutte le vostre applicazioni di processi per semiconduttori. I sistemi EZENITH sono unici nell'offerta di:
- Gestione del vuoto e dello scarico incentrata sul processo
- Integrazione completa dei componenti
- Supporto di ogni funzione con una potente interfaccia di controllo integrata
- Progettato per un uso efficiente dello spazio con un risparmio fino al 70%
- Distribuzione interna, regolazione e monitoraggio completi dei servizi, con una riduzione dei consumi di oltre il 60% e al tempo stesso un funzionamento regolare e affidabile
Con una sola pompa e un dispositivo di abbattimento del gas, l'esecuzione del processo non è ancora possibile. Occorrerà collegare lo scarico della pompa, collegare i riscaldatori di linea dove necessario, gestire acqua, spurghi e linee elettriche, quindi approntare tutti i segnali di controllo. Occorrerà, inoltre, considerare il doppio involucro, il rilevamento delle perdite di gas e la modalità con cui eseguire i controlli delle perdite dopo la manutenzione dell'utensile. Tutti questi aspetti richiederanno tempo e denaro per la progettazione. Siamo consapevoli del problema e abbiamo sviluppato soluzioni integrate specifiche per i processi.
I nostri sistemi integrati sono già pre-progettati per la maggior parte dei processi relativi ai semiconduttori. I riscaldatori dello scarico sono impostati per la temperatura corretta, per ridurre al minimo i costi e ottimizzare la continuità operativa. Le porte di controllo delle perdite e le valvole a saracinesca sono collocate là dove occorrono. L'intero sistema è chiuso e soprattutto richiede solo una delle utility necessarie. La distribuzione di gas, acqua, elettricità e segnali di controllo è collocata ove occorre e il un sistema creato è pronto all'uso.