Quali sono le sfide che l'EUV deve affrontare nella produzione di grandi volumi?

La domanda globale di semiconduttori è ai massimi livelli storici e i clienti Edwards si concentrano sulla massimizzazione della produzione per soddisfare la domanda e ottenere un buon ritorno sull'investimento sostenibile.

Edwards comprende la necessità di massimizzare l'operatività e la produttività dell'EUV e, grazie a oltre 20 anni di dati sul vuoto e sull'abbattimento e all'analisi delle prestazioni, è in grado di aiutare i propri clienti a raggiungere i propri obiettivi di produttività e sostenibilità.

Supportata da capacità produttive all'avanguardia e da un'infrastruttura di assistenza globale, Edwards offre la soluzione EUV completa, creando al contempo valore ambientale e sociale non solo per i suoi clienti, ma per tutti gli stakeholder coinvolti.

David Engerran esplora quali sono le sfide dell'EUV HVM e come Edwards le sta risolvendo.

Come sappiamo, la produzione di semiconduttori richiede diversi mesi, con wafer che passano attraverso numerosi strumenti di processo.

Gli strumenti di litografia sono i più avanzati e uno dei colli di bottiglia più strategici e potenziali in ogni fabbrica. Ancora di più ora, per produrre i semiconduttori più avanzati, l'EUV è necessaria. La litografia ultravioletta estrema consente ai produttori di continuare a ridurre le dimensioni delle caratteristiche e dei dispositivi, cosa che ha definito i progressi nella produzione di semiconduttori fin dai primi giorni.

La produttività complessiva del sistema è essenzialmente fissa, quindi gli sforzi per garantire il ROI devono concentrarsi sulla massimizzazione della disponibilità del sistema, sulla riduzione al minimo dei costi operativi e sull'impatto ambientale dei processi di produzione.

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David Engerran esplora quali sono le sfide dell'EUV HVM e come Edwards le sta risolvendo.

La sfida del processo

Comprendere la sfida del processo dal punto di vista del vuoto e dell'abbattimento è un aspetto chiave per massimizzare la disponibilità degli utensili. L'illuminazione EUV a lunghezza d'onda più corta consente la creazione di elementi più piccoli, ma rende anche il sistema di litografia molto più complesso. La luce EUV viene fortemente assorbita da qualsiasi materia e richiede l'uso di un'ottica riflettente di precisione e il contenimento sottovuoto dell'intero percorso del fascio.

Per garantire che queste ottiche critiche rimangano prive di contaminanti, l'idrogeno viene utilizzato nel processo EUV per reagire con i materiali di processo e rimuoverli dallo strumento di processo e trasportarli nel sistema per vuoto. È qui che i sistemi per vuoto e di abbattimento sono necessari per gestire questi elevati flussi di idrogeno, in modo sicuro ed efficace.

In che modo Edwards sta risolvendo queste sfide?

L'arte dell'innovazione consiste nel trovare modi per garantire la sicurezza del personale della fabbrica, della comunità circostante e dell'ambiente, migliorando al contempo l'efficienza e riducendo i costi operativi.

L'EUV utilizza una quantità significativa di idrogeno, il che crea un'elevata attenzione alla sicurezza e all'ambiente a causa della sua natura infiammabile nell'aria. I sistemi EUV Edwards utilizzano pompe per vuoto progettate specificamente per il processo EUV, con trappole incorporate per catturare i composti reattivi. L'intero sistema include sensori di sicurezza per garantire che non vi siano miscele infiammabili nel sistema. Tradizionalmente, per bruciare l'idrogeno a valle delle pompe per vuoto vengono utilizzati sistemi di abbattimento a combustibile, tuttavia questo metodo richiede molta energia e risorse e richiede una manutenzione continua.

Il nostro nuovo approccio senza combustibile si allontana dall'abbattimento con combustibile e offre una diluizione sicura dell'idrogeno a livelli significativamente inferiori all'intervallo di infiammabilità. garantendo sempre la sicurezza e riducendo notevolmente il fabbisogno energetico.

Fortunatamente, l'idrogeno di per sé non ha alcun impatto negativo sull'ambiente. Una volta che la sua concentrazione è inferiore al livello minimo di infiammabilità, è abbastanza sicura. La gestione dell'idrogeno senza combustibile si basa su una profonda comprensione dei livelli di infiammabilità, delle tecnologie di diluizione e degli standard di sicurezza del settore. L'operazione critica è la diluizione dell'idrogeno con aria, un approccio controintuitivo. Tuttavia, mantenendo il percorso critico, in cui la miscela è infiammabile, molto breve e attentamente monitorato, il gas viene rapidamente diluito a concentrazioni non infiammabili che possono essere trasportate in sicurezza attraverso il Fab e rilasciate direttamente nell'atmosfera.

La gestione dell'idrogeno senza combustibile elimina il costo del combustibile e le emissioni di carbonio della combustione controllata e l'elevato costo dell'azoto per la diluizione. Supportata da capacità produttive all'avanguardia e da un'infrastruttura di assistenza globale, Edwards offre la soluzione EUV completa, garantendo al contempo la creazione di valore ambientale e sociale, non solo per i suoi clienti, ma per tutti gli stakeholder coinvolti.

Supportata da capacità produttive all'avanguardia e da un'infrastruttura di assistenza globale, Edwards offre la soluzione EUV completa, creando al contempo valore ambientale e sociale, non solo per i suoi clienti, ma per tutti gli stakeholder.