Épauler la productivité de nos clients
Maximiser la disponibilité de SubFab
Dans notre monde connecté en mutation rapide, nous comprenons la nécessité d'optimiser la productivité de nos clients. Et pour cela, nous veillons à ce que leur technologie soit la première sur le marché, tout en continuant à tout mettre en œuvre pour réduire les risques et répondre aux défis environnementaux que peut générer le procédé de fabrication.
Grâce à notre expérience globale, ce service de solutions intégrées d'Edwards peut répondre à l'ensemble des besoins du client en matière de vide et de traitement des gaz, avec les technologies les plus avancées du secteur. Nos systèmes intégrés offrent les avantages de la répétabilité des produits et des services et d'un gain de place. Ils améliorent la productivité, la sécurité et la protection de l'environnement. Nos systèmes intégrés présentent également des avantages directs : une installation et une configuration plus rapides, des économies d'échelle et une sécurité accrue.
EZENITH propose une gamme avancée de systèmes fournissant des solutions de gestion du vide et de traitement des effluents gazeux entièrement intégrées pour l'ensemble de vos applications de procédés recourant à des semi-conducteurs. Les systèmes EZENITH se distinguent par leur offre :
- Gestion du vide et des gaz d’échappement axée sur les procédés
- Intégration complète des composants
- Assistance pour chaque fonction avec une interface de contrôle efficace et intégrée
- Conception permettant une utilisation efficace de l'espace (pour des économies allant jusqu'à 70 %)
- Distribution interne complète, régulation et suivi des maintenances réduisant de plus de 60 % la consommation énergétique, tout en assurant un fonctionnement aisé et fiable
Avec une simple pompe et un dispositif de réduction des gaz, vous n'êtes toujours pas prêt à faire fonctionner votre procédé. Vous devrez connecter l'échappement de la pompe, connecter les réchauffeurs en ligne si nécessaire, faire fonctionner vos conduites d'eau, de purge et électriques, puis préparer tous vos signaux de commande. Vous devrez également tenir compte de la détection de fuites de gaz, la double enceinte et la manière dont vous souhaitez contrôler les fuites après l'entretien de votre outil. Tous ces éléments représentent du temps de conception et de l'argent. Nous comprenons le problème. Nous avons donc développé des solutions intégrées spécifiques aux procédés.
Nos systèmes intégrés sont déjà préconçus pour la plupart des procédés de semi-conducteurs. Les réchauffeurs à échappement sont réglés sur la température correcte afin de limiter les coûts et d'optimiser le temps de fonctionnement. Nous avons mis aux emplacements nécessaires des orifices de contrôle des fuites et des robinets-vannes. L'ensemble du système est fermé et, plus important encore, un seul des utilitaires est nécessaire. Nous distribuons les gaz, l'eau, l'électricité et les signaux de commande là où ils sont requis et créons un système prêt à l'emploi.