Spezialventile für Vakuumsysteme

Für spezialisierte Anwendungen ausgelegt

Warum ein Spezialventil?

Ein Spezialventil ist kein Ventiltyp, sondern eine allgemeine Bezeichnung für eine Ventilkategorie, die auf spezielle und spezialisierte Anwendungen in Vakuumsystemen ausgelegt ist.

Diese Ventile sind in verschiedenen Größen und Ausführungen erhältlich (z. B. manuell und pneumatisch) und haben oft erweiterte Funktionen, um den spezifischen Herausforderungen der vorgesehenen Anwendungen gerecht zu werden.

AV5A – Lufteintrittsventile mit Kupplungen

Das AV5A wird aus einer Aluminiumlegierung hergestellt. Sie hat einen Regler, der an einem schraubenbetätigten Kolben befestigt ist: Der Regler muss im Uhrzeigersinn gedreht werden, um das Ventil zu schließen. Ein O-Ring aus Nitril dichtet den Kolben gegen das Ventilgehäuse ab.

Das Ventil kann direkt angeschlossen, leitungsgebunden eingebaut oder plattenmontiert werden und wird über eine Edwards SC5-Kupplung (im Lieferumfang enthalten) mit dem Vakuumsystem verbunden.

Einfaches manuelles Lufteintrittsventils
Direktanschluss, leitungsgebundener Einbau oder Plattenmontage
Anschluss über SC5-Kupplung (im Lieferumfang enthalten)

AV5A – Lufteintrittsventile mit Kupplungen

AV10K – Lufteintrittsventile

Das AV10K wird auf die gleiche Weise hergestellt und eingesetzt wie das AV5A, wird aber anders angeschlossen.

Dieses Ventil kann nur leitungsgebunden eingebaut werden und wird über einen NW10-Anschluss mit dem Vakuumsystem verbunden.

Einfaches manuelles Lufteintrittsventils
Nur leitungsgebundener Einbau
NW10-Anschluss

BRV – Vorvakuumventil

Das Vorvakuumventil BRV mit ISO-Anschlüssen für Vorvakuumpumpen ist mit manueller oder pneumatischer Betätigung erhältlich. Es vereint die Funktion separater Vorvakuumventile in einer integrierten 3-Wege-Einheit.

Ein flexibler Neopren-Anschlussstecker wird für den Vorvakuumanschluss mitgeliefert. Die Vorvakuumanschlüsse haben den entsprechenden NW-Anschluss.

Einfach zu bedienen: beide Anschlüsse geschlossen
Lange Lebensdauer: mindestens 100.000 Betätigungen
Positionsanzeige am Pneumatikventil
Leckdichtheit bis mindestens 10^‑9 mbar ls^‑1/8 x 10^‑10 Torr ls^‑1

IPV10EK – NW10-Lufteintrittsventil

Das IPVA10EK ist ein magnetgesteuertes Ventil für die automatische Zufuhr von Luft oder Abgas in ein Vakuumsystem.

Das Ventil hat zwei Anschlüsse mit NW-Flanschen. Einer der Ventilanschlüsse ist mit dem Vakuumsystem verbunden, der andere kann offen zur Atmosphäre führen oder an eine Gasquelle angeschlossen werden.

Das Vakuumsystem wird von der Atmosphäre (bzw. der Abgasquelle) durch ein Fluorelastomer-Pad an der Unterseite des Ventilkolbens isoliert, das gegen das Ventilgehäuse abdichtet.

Als Schließer oder Öffner nutzbar
Kompakte Abmessungen
Schutzart IP65
Mittlere Betriebsdauer zwischen Ausfällen (MTTF): 500.000 Zyklen

QSB – Klappenventil mit Vierteldrehung

Bei den QSB-Klappenventilen mit Vierteldrehung handelt es sich um kompakte, schnell ansprechende Sperrventile mit hoher Leitfähigkeit. Die QSB-Ventile haben ein Gehäuse aus poliertem Edelstahl mit ISO-Flansch, in dem Ventilplatte und Welle mit O-Ringen aus Fluorelastomer abgedichtet sind. Die O-Ring-Nut der Ventilplatte wird entlüftet, um ein stabiles Hochvakuum aufrechtzuerhalten. Die O-Ringe und Lager der Ventilwelle sind mit Fomblin® geschmiert, um Gasausstoß an den Wellendichtungen zu verhindern.

Dieses Ventil wird mit einer Co-Seal-Dichtung geliefert.

Handbetrieb
Hohe Leitfähigkeit
Atmosphärendicht in beide Richtungen
Kompakt und schnell ansprechend
Korrosionsbeständiger Kühler

VIV – Vakuum-Absperrventil

Das VIV ist ein schnell ansprechendes Vakuum-Absperrventil mit hoher Leitfähigkeit, das ein Einströmen von Dampf oder Partikeln aus der Vorvakuumpumpe in die Prozesskammer verhindert.

Bei geschlossenem VIV wird die Vorvakuumpumpe sicher entlüftet. Das VIV schützt die Prozesskammer vor Entlüftung, wenn die Pumpe anhält oder gestoppt wird. Beim Neustart der Vorvakuumpumpe öffnet das Ventil langsam, sobald der Druck im VIV abfällt, wodurch die Auswirkungen der Druckerhöhung minimiert werden.

Das Vakuum-Absperrventil VIV ist für die Verwendung mit den kleinen trockenverdichtenden Pumpen der Serien Edwards nXDS, XDS, nXLi und nXRi vorgesehen.

Hohe Leitfähigkeit
Hohe Schließgeschwindigkeit
Schutz bei Stromausfall
Flexible Einbaumöglichkeiten
Beeinträchtigt nicht die Leistung der Primärpumpe
Verhindert das Einströmen von Dampf oder Partikeln aus der Vorvakuumpumpe in die Prozesskammer
Verhindert das Entlüften der Prozesskammer bei Stromausfall

Für Vorvakuumpumpen von Edwards mit M8-Anschlussstecker oder 15-poligem D-Anschlussstecker für Logik-Schnittstellen empfehlen wir die Verwendung von 24-VDC-Ventilen und optionalen Zubehörkabeln oder VIV Link, da dies einen höheren Schutz bietet.