Schieberventile für Vakuumsysteme

Schieberventile für hohe allgemeine Dichtheit

Warum ein Schieberventil?

Schieberventile zeichnen sich aus durch einen einfachen, aber innovativen keilförmigen, fettfreien Dichtungsmechanismus, eine Edelstahlkonstruktion und eine robuste Bauweise.

Diese Ventile eignen sich besonders für Anwendungen mit einem hohen Maß an Prozessnebenprodukten im Gasstrom. Sie erreichen eine lange Lebensdauer und hohe Zuverlässigkeit in rauen Umgebungen.

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Schieberventile CF

Schieberventile ISO-K ISO-F

Schieberventile ISO-KF

BGV – manuelle Schieberventile

Bei den BGV-Schieberventilen handelt es sich um Faltenbalg-Schieberventile aus Edelstahl für den Einsatz in Anwendungen, die hohe Dichtheit und minimalen Kohlenwasserstoffgehalt im Vakuumsystem erfordern. Obwohl die BGV-Schieberventile in erster Linie zur Isolierung von Pumpen in der Halbleiterfertigung entwickelt wurden, eignen sie sich auch ideal für andere Anwendungen, bei denen eine 1-bar-Differenz beim Öffnen erwünscht ist.

Sie sind für den Einsatz im Druckbereich von 1,2 bar absolut bis 1 x 10^‑8 mbar (1,2 x 105 bis 1 x 10^‑6 Pa) ausgelegt. BGV-Schieberventile halten 1,2 bar absolut in beiden Richtungen stand, sodass die Vakuumleitung über der Pumpe bei geschlossenem Ventil entlüftet werden kann. Die BGV-Schieberventile haben an der Seite eine optische Anzeige für die Schieberstellung, sodass die Öffnungsstellung zu erkennen ist.

Für 1,2 bar absolut in beiden Richtungen. Keine Probleme durch Neustart, da die Pumpe bei der Wartung eingeschaltet bleibt.
Robuste Edelstahlkonstruktion
- Lange Lebensdauer und hohe Zuverlässigkeit in rauen Umgebungen
Pneumatisch, magnetgesteuert oder vorverdrahtet
- Vorkonfigurierte, einfache Plug-and-Play-Lösung
Einfacher fettfreier Dichtmechanismus zum Schutz vor Schäden durch Partikel in staubbelasteten Prozessen

BGV – manuelles Schieberventil

BGV Mk3 – pneumatisches Schieberventil

BGV Mk3 – pneumatische Schieberventile

Das pneumatische Schieberventil BGV Mk3 funktioniert genauso wie das manuelle Schieberventil, ist jedoch mit Reed-Schaltern ausgestattet, mit deren Hilfe Ihre Steuerung den Schaltzustand des Ventils ermitteln kann. Gleichzeitig zeigen LEDs die Ventilposition optisch an.

Jedes Pneumatikventil der Serie BGV Mk3 hat ein 24-VDC-Magnetventil und einen vorverdrahteten Stecker für den direkten Anschluss an Ihre aktuelle Edwards Vakuumpumpe (IHH, iXL, iXM und GXS). Der 15-polige D-Sub-Stecker stellt den zentralen Anschluss für die Stromversorgung des Magnetventils und die Aktivierung der LEDs für die Reed-Schalter-Positionsanzeige dar. Das 15-polige D-Buchsen-Kabel und die Reed-Schalter-Positionsanzeige sind beim BGV-Ventil optional. Das Kabel hat eine Länge von ca. 50 cm, sodass ein Verlängerungskabel benötigt wird, um eine Pumpe oder eine lokale Steuerung anzuschließen.    

Um das pneumatische BGV Mk3-Ventil mit älteren Edwards-Produkten verbinden zu können, muss das Schnittstellenkabel TIM BGV Mk2 verwendet werden. Die Funktionalität der LEDs ist bei älteren Produkten (iGX, GX oder iQ und IH per iTIM-Modul) nicht gegeben, da die Pumpen keine 24-VDC-Versorgung für die Aktivierung der LEDs haben. Die Grundfunktion der Ventilpositionsanzeige funktioniert jedoch für Öffnen und Schließen, da sie durch das Magnetfeld ausgelöst wird und keinen Strom benötigt.

Für 1,2 bar absolut in beiden Richtungen. Keine Probleme durch Neustart, da die Pumpe bei der Wartung eingeschaltet bleibt.
Robuste Edelstahlkonstruktion. Lange Lebensdauer und hohe Zuverlässigkeit in rauen Umgebungen.
Pneumatisch, magnetgesteuert oder vorverdrahtet
Vorkonfigurierte, einfache Plug-and-Play-Lösung
Einfacher fettfreier Dichtmechanismus zum Schutz vor Schäden durch Partikel in staubbelasteten Prozessen.
Auch als LOTO-Version (Lock-Out/Tag-Out) erhältlich.

Wie funktionieren manuelle und pneumatische BGV-Schieberventile?

Aufgrund des einfachen, innovativen Keilverschlusses mit PEEK-Gleitern ist das Ventil besonders geeignet für Anwendungen mit einem hohen Gehalt an Prozessnebenprodukten im Gasstrom:

kein Öl, kein Fett, keine komplexen beweglichen Teile innerhalb des Ventils, sodass keine Gefahr einer Beschädigung des Mechanismus durch Verunreinigung durch Prozessrückstände besteht.
Bei PEEK-Gleitern, die die Kompression des O-Rings begrenzen, gibt es keinen Kontakt zwischen Metallteilen.
Beim Schließen des Schiebers fährt der O-Ring vor dem Abdichten kurz an der Dichtfläche entlang und entfernt dabei Fremdkörper von der Dichtfläche, um die Abdichtung zu optimieren.

BGV – Edelstahl-Schieberventil mit LOTO-Sicherheitsfunktion

Die pneumatischen LOTO-Absperrventile der BGV-Serie bieten alle Vorteile der BGV-Standardserie mit zusätzlicher LOTO-Sicherheitsfunktion und geringem Leistungsbedarf. 

Bei den LOTO-Schieberventile der BGV-Serie handelt es sich um Faltenbalg-Schieberventile aus Edelstahl für den Einsatz in Anwendungen, die hohe Dichtheit und minimalen Kohlenwasserstoffgehalt im Vakuumsystem erfordern. Obwohl die BGV-Schieberventile in erster Linie zur Isolierung von Pumpen in der Halbleiterfertigung entwickelt wurden, eignen sie sich auch ideal für andere Anwendungen, bei denen eine 1-bar-Differenz beim Öffnen erwünscht ist.

Dank dem einzigartigen LOTO-Sicherheitsmechanismus (Lock‑Out/Tag‑Out) kann das Personal ungehindert am Vakuumsystem arbeiten, ohne befürchten zu müssen, dass das Ventil versehentlich öffnet. Das Ventil wird mit einem Stift geschlossen gehalten und gegen Öffnen gesichert. Wenn das Ventil geschlossen sein muss, kann eine Freischaltverriegelung durch den LOTO-Stift geführt und per Vorhängeschloss gesichert werden.      

Die Ventile sind für den Einsatz im Druckbereich von 1,2 bar absolut bis 1 x 10^‑9 mbar (1,2 x 105 bis 1 x 10^‑7 Pa) ausgelegt. Die BGV-Ventile halten 1,2 bar absolut in beiden Richtungen stand, sodass die Vakuumleitung über der Pumpe bei geschlossenem Ventil entlüftet werden kann.

Der niedrige Leistungsbedarf von nur 1 W ermöglicht den direkten Anschluss an die neuesten trockenverdichtenden Edwards Pumpen ohne zusätzliches externes Netzteil und erleichtert die einfache Plug-and-Play-Installation.

Mit Reed-Schaltern kann Ihre Steuerung den Schaltzustand des Ventils ermitteln. Gleichzeitig zeigen LEDs die Ventilposition optisch an. Jedes Ventil hat ein 24-VDC-Magnetventil und einen vorverdrahteten Stecker für den direkten Anschluss an Ihre aktuelle Edwards Vakuumpumpe. Der 15-polige D-Sub-Buchsenstecker stellt den zentralen Anschluss für die Stromversorgung des Magnetventils und die Aktivierung der LEDs für die Reed-Schalter-Positionsanzeige dar. Das 15-polige D-Buchsenkabel und die Reed-Schalter-Positionsanzeige sind beim BGV-Ventil optional. Das Kabel hat eine Länge von ca. 50 cm, sodass ein Verlängerungskabel benötigt wird, um eine Pumpe oder eine lokale Steuerung anzuschließen.   

Wenn das LOTO-Pneumatikventil der BGV-Serie mit älteren Edwards Produkten verbunden werden soll, wird das Schnittstellenkabel BGV TIM benötigt. Die Funktion der LEDs ist bei älteren Produkten nicht gegeben, da die Pumpen keine 24-VDC-Versorgung für die Bestromung der LEDs haben.

BGV – LOTO-Sicherheitsventil aus Edelstahl

Wie funktionieren BGV-Schieberventile aus Edelstahl mit LOTO-Sicherheitsfunktion?

Aufgrund des einfachen, innovativen Keilverschlusses mit PEEK-Gleitern ist das Ventil besonders geeignet für Anwendungen mit einem hohen Gehalt an Prozessnebenprodukten im Gasstrom: 

kein Öl, kein Fett, keine komplexen beweglichen Teile innerhalb des Ventils, sodass keine Gefahr einer Beschädigung des Mechanismus durch Verunreinigung durch Prozessrückstände besteht. 
Bei PEEK-Gleitern, die die Kompression des O-Rings begrenzen, gibt es keinen Kontakt zwischen Metallteilen. 
Beim Schließen des Schiebers fährt der O-Ring vor dem Abdichten kurz an der Dichtfläche entlang und entfernt dabei Fremdkörper von der Dichtfläche, um die Abdichtung zu optimieren. 
LOTO-Ventile können gefahrlos geschlossen werden und gewährleisten eine sichere Arbeitsumgebung während der Wartung 
Geringer Leistungsbedarf von nur 1 W. Direkte Verbindung zur neuesten trockenverdichtenden Edwards Pumpe 
Geeignet für 1,2 bar absolut in beide Richtungen. Ermöglicht den Pumpenweiterlauf während der Wartung 
Pneumatisch, magnetgesteuert oder vorverdrahtet. Vorkonfigurierte einfache Plug-and-Play-Installation 
Robuste Edelstahlkonstruktion. Lange Lebensdauer und hohe Zuverlässigkeit in rauen Umgebungen 
Einfacher fettfreier Dichtmechanismus zum Schutz vor Schäden durch Partikel in staubbelasteten Prozessen

Bei Systemen mit LOTO-Pneumatikventilen der BGV-Serie

Das LOTO-Pneumatikventil der BGV-Serie kann direkt an unsere neuesten trockenverdichtenden Vakuumpumpen angeschlossen werden und erreicht seine volle Funktionalität. Zu den aktuellen Produkten gehören die Pumpen iXH, iXL, iXM und GXS.  

Wenn das LOTO-Pneumatikventil der BGV-Serie mit unseren älteren Produkten verbunden werden soll, wird das Schnittstellenkabel BGV Mk2 TIM benötigt. Zu den älteren Produkten gehören IGX, GX (oder iQ und iH per iTIM-Modul).

HVA – Schieberventile für Ultrahochvakuum und hohe Einbrenntemperaturen

GV1040M

GV – manuelle und pneumatische Schieberventile

Die Faltenbalg-Schieberventile GV-Serie aus Edelstahl wurden für Anwendungen entwickelt, die Dichtheit im gesamten System und einen minimalen Gehalt an Kohlenwasserstoff in der Restatmosphäre erfordern.

Diese hochwertigen Ventile vereinen Hochvakuumintegrität mit maximaler Leitfähigkeit. Sie werden mit den Flanschoptionen ISO, CF (metallgekapselt) für Anwendungen mit extremem Hochvakuum und erhöhten Einbrenntemperaturen angeboten.

Die Edelstahl-Ventilgehäuse sind vakuumgelötet. Bei diesem speziellen Verfahren erfolgt das Einbrennen bei 1.100 ˚C, sodass potenzielle Lecks nahezu unmöglich sind und das Produkt eine geringe Ausgasung aufweist.

Ein lasergeschweißter Edelstahlbalg dichtet den Stellantrieb effektiv vom Ventil ab. Dieses Konzept vereinfacht die Wartung und ermöglicht das Entfernen des Schieber- und Gestängemechanismus bei eingebautem Ventil.

Entnahme von Schieber- und Gestängemechanismus im eingebauten Zustand für einfache Wartung
Keine potenziellen Lecks dank vakuumgelöteter Fertigung
Elektropolierte Oberfläche innen und außen
Kompakte Bauweise mit hoher Leitfähigkeit
Manuell oder pneumatisch lieferbar
Mikroschalter-Positionsanzeige bei pneumatischer Ausführung serienmäßig, geeignet für Magnetfelder
Lange Nutzungszeiten zwischen Wartungsarbeiten
Schwingungs- und stoßarm
Ausrichtung frei wählbar
Großes Bohrungsspektrum von 40 mm/1,56 Zoll bis 320 mm/12,48 Zoll.
Flanschoptionen ISO, CF (metallgekapselt)
Auf 1.100 ˚C vakuumgelötet zum Schutz vor potenziellen Lecks.