Unsere Produkte

Nachhaltigkeit ist uns ein Anliegen und wir arbeiten ständig daran, unsere Produkte und Prozesse nachhaltiger zu gestalten. Aufgrund umweltpolitischer Überlegungen haben wir mehrere große Verfahrensänderungen im Bereich der Produktentwicklung durchgeführt. Die effiziente Nutzung von Ressourcen spielt bei Entwurf und Entwicklung unserer Produkte eine wichtige Rolle und kann – vor allem im Hinblick auf Strom- und Wasserverbrauch – die Betriebskosten des Kunden senken.

Aktuelle Produkte mit verringertem CO2-Ausstoß

Vorpumpen

In der Halbleiterindustrie sind Prozesspumpen für Prozesswerkzeuge wahre Energiefresser, weshalb Prozesswerkzeuge für über ein Drittel des Energieverbrauchs eines Werks (laut SEMATECH) verantwortlich sein können. Alle weltweit installierten Halbleiter-Vakuumpumpen haben etwa den Energieverbrauch wie eine Großstadt mit einer halben Million Einwohnern.

Wir legen bei der Produktentwicklung Wert auf den geringen Energieverbrauch unserer Pumpen, ohne Einbußen hinsichtlich der Zuverlässigkeit hinzunehmen. Durch unser plattformbasiertes Design verbraucht jede nachfolgende Pumpengeneration weniger Energie als die vorherige. Beispielsweise verbrauchen unsere trockenlaufenden Pumpen der neuesten Generation um etwa 30 % weniger Energie als ihre Vorgängermodelle. Dank der neuen aktiven Versorgungssteuerung („Active Utility Control“, AUC), die mit dem Werkzeug kommuniziert, konnten wir den Ressourcenverbrauch der Pumpen im Leerlauf sogar noch weiter senken.

Natürlich fließen die Erkenntnisse aus unserer aktuellen Plattformtechnologie auch in die anderen Pumpenbaureihen ein. Und dank unserer Aufrüstprogramme zur Erhöhung der Energieeffizienz können auch Betreiber älterer Pumpenmodelle aktuelle Technik und ihre Vorzüge für sich nutzen.

Außerdem beraten wir Sie gerne, wie Sie den Energieverbrauch unserer Produkte minimieren können.

Hochvakuumpumpen

Die Senkung des weltweiten Energieverbrauchs ist der Schlüssel im Kampf gegen die Klimaerwärmung. Unsere Turbomolekularpumpen der aktuellen Generation minimieren nicht nur den Energieverbrauch unserer Produktionsstätten und Büros, sondern Sie ermöglichen auch unseren Kunden, ihre eigenen Energieziele zu erreichen. Mit unseren Aufrüstprogrammen können Kunden zur energieeffizienten Turbomolekulartechnologie wechseln.

Hier einige Beispiele für die Vorteile, die ein Wechsel von Öldiffusionspumpen zu STP-Turbomolekularpumpen mit sich bringt:

  • Geringere Strom- und Wasserkosten
  • Jährliche Wartung oder Ölwechsel entfällt
  • Verbesserte Pumpleistung
  • Sehr geringe Geräusch- und Vibrationsentwicklung
  • Kompaktere Bauform

Abgasreinigung

Bei Halbleiterfertigungsprozessen kommen Gase wie Fluorkohlenwasserstoffe und Schwefelhexafluoride zum Einsatz, die aufgrund ihrer Beständigkeit und ihres hohen Treibhauspotenzials („Global Warming Potential“, GWP) stark umweltgefährdend sind. Die GWP-Werte dieser Stoffe können tausende Male höher sein als der Wert von Kohlenstoffdioxid. Beispiel: CO2 hat einen GWP-Wert von 1 über einen Zeitraum von 100 Jahren. Über denselben Zeitraum hat SF6 einen GWP-Wert von 23.500, NF3 von 16.100 und CF4 von 6.630.  (Quelle: IPCC Fifth Assessment Report, 2014).


Mit unserer Abgasreinigungstechnologie unterstützen wir bereits seit Mitte der 90er-Jahre unsere Kunden dabei, das Schädigungspotenzial dieser Stoffe wirksam zu verringern. In jüngster Zeit konnten einige Kunden durch Einsatz unserer Plasmatechnologie den CO2-Ausstoß ganzer Werksanlagen sogar um über 90 % senken, was den Zielvorgaben des World Semiconductor Council entspricht. Für die Fertigung von Flachbildschirmen und neuen umweltfreundlichen Produkten, z. B. Solarmodulen oder LED-Beleuchtung, haben wir die Abgasreinigungssysteme „Spectra Z“ und „Spectra G“ entwickelt, um dem höheren Gasdurchsatz gerecht zu werden.


Unsere Atlas-Abgasreinigungsprodukte verbrauchen bis zu 50 % weniger Kraftstoff als Geräte früherer Baureihen. Edwards bietet auch Atlas-Technologie als energieeffizientes Upgrade für ältere Baureihen von Abgasreinigungsprodukten an. Durch die Kombination von Pumpen und Abgasreinigungssystemen sparen wir durch innovative „Leerlaufmodus"-Technologie auch Energie.