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渦輪泵浦

我們關心永續發展,並致力於確保我們所處理的工作和進行的方式能更符合永續發展的目標。我們在產品設計方面已根據環境考量進行了幾項重大的變更。有效運用資源是我們產品設計與開發的關鍵,可為客戶降低擁有成本,特別是著重於降低電與水的消耗量。

最新一代產品減少碳排放

初級泵浦

降低客戶在半導體產業製程泵浦中的能源耗用,因為這是製程工具中最大的能源使用者之一,可能佔用晶圓廠能源使用的三分之一以上 (SEMATECH Energy 研究)。半導體真空泵浦全球裝機量消耗的能源與英國 Sheffield 市或美國德州 Plano 市相當。

我們的設計在不犧牲可靠性的前提下兼顧節能及降低公用設施成本。我們後繼的每一代初級泵浦都使用平台設計程序,可減少能源消耗量。例如,最新一代乾式泵浦使用的能源比之前少了大約 30%。現在,隨著主動式公用設施控制 (AUC) 的推出,當泵浦閒置時,我們可使用工具的訊號進一步減少能源和公用設施的消耗量。

我們確保在我們的泵浦產品系列中充分發揮最新一代平台技術的各種優點。採用舊世代泵浦的客戶也能透過愛德華的節能升級計畫獲得這些優點。

我們也會建議客戶如何將我們設備使用的能源降至最低。

二級泵浦

降低全球能源消耗是打擊全球暖化的關鍵。除了將我們生產設施和辦公室消耗的能源降至最低之外,我們最新一代的渦輪分子泵浦產品系列還能讓客戶達成他們的節能目標。愛德華提供升級計畫,讓客戶能夠改用節能渦輪分子泵浦技術。

例如,從油擴散泵浦改用 STP 渦輪分子泵浦的優點:

  • 降低公用設施成本 (電與水)
  • 無需每年進行保養或換油
  • 提高泵浦效能
  • 極低環境噪音和低振動
  • 減少空間需求

廢氣處理

半導體製程使用氟碳化物和六氟化硫等氣體,由於這些氣體的持久性和高全球暖化潛能 (GWP),因此造成高度環境疑慮。這些物質的 GWP 可能為二氧化碳的 1000 倍。例如:如果 CO2 在 100 年間的全球暖化潛能 (GWP) 為 1,則同一段期間內 SF6 的 GWP 為 23,500,NF3 的 GWP 為 16,100,而 CF4 的 GWP 為 6,630。(資料來源:IPCC Fifth Assessment Report, 2014)。

我們自 1990 年代中期即開始協助客戶運用燃燒式廢氣處理技術,達成高度濾除這些物質的效率。近期則透過採用電漿技術,我們的客戶已經達成在整座晶圓廠 CO2 減量 >90%,符合世界半導體理事會的目標。為了生產平面顯示器和太陽能板和 LED 照明等新興環境裝置,我們已開發出 Spectra Z 與 Spectra G 廢氣處理系統,以因應提高的氣流。

相較於先前的產品系列,我們的 Atlas 廢氣處理產品耗用的燃料減少達 50%。愛德華也以節能升級方式提供 Atlas 技術至先前的廢氣處理產品系列。結合了泵浦與廢氣處理系統,我們也得以運用創新的「閒置模式」技術來節省能源。