我們的產品

我們關心永續議題,努力落實我們所作的事和作事的方法都能變得更加永續。由於環境保護考量,我們已在產品設計方面做了幾處重大改變。在我們設計與研發產品時,能否有效充分利用資源十分重要。我們特別著重降低水電消耗量,如此即可降低客戶的擁有成本。

最新一代產品可降低碳排放

主要泵浦

減少半導體產業客戶需使用的能源。製程機台中最耗電的設備之一便是製程腔體真空泵浦,佔晶片製造廠所用能源的三分之一以上 (SEMATECH 能源研究)。全球的半導體真空泵浦累積裝機量相當於英國 Sheffield 和美國德州 Plano 所使用的電力。

我們的設計可節能、降低基本資源消耗量,同時不影響產品穩定性。利用平台設計流程,每代主要泵浦消耗的能源都比上一代更少。最新一代乾式泵浦的能耗比起上一代少 30%。現在,我們推出主動式水電控制 (AUC),即可在泵浦待機時,使用此工具的訊號大幅減少電能與其他基本能源的消耗量。

我們也會確認所有系列的泵浦都已使用最新的技術平台,並從中獲益。使用舊版泵浦的客戶可利用愛德華節能升級方案,得到最新效益。

我們也會建議客戶如何使用我們的設備,將能耗降至最低。

輔助泵浦

對抗全球暖化的關鍵就是降低全球的能源消耗量。我們最新一代的渦輪分子泵浦系列不僅可以協助客戶達成降低能源消耗的目標,亦可將我們的製造廠區和辦公室所用的能源降至最低。愛德華提供升級計畫,供客戶換用能源效率較佳的渦輪分子泵浦。

將油擴散泵浦換為 STP 渦輪分子泵浦有許多好處,例如:

  • 降低水電費
  • 無須每年維護或換油
  • 提升泵浦效能
  • 極低噪音、低震動
  • 減少所需空間

廢氣處理

半導體製程需使用氣體,例如碳氟化合物、六氟化硫。這類氣體具有很高的全球暖化潛勢 (GWP),持續性長,會嚴重影響環境, 全球暖化潛勢是二氧化碳的 1000 倍。 舉例來說: 假設二氧化碳的全球暖化潛勢 (GWP) 經歷 100 年為 1,在相同的期間內,六氟化硫的全球暖化潛勢為 23,500,三氟化氮的全球暖化潛勢為 16,100,四氟化碳的全球暖化潛勢為 6,630。 舉例來說: 假設二氧化碳的全球暖化潛勢 (GWP) 經歷 100 年為 1,在相同的期間內,六氟化硫的全球暖化潛勢為 23,900,三氟化氮的全球暖化潛勢為 10,970,四氟化碳的全球暖化潛勢為 6,500。

自 1990 年代中期開始,我們已經使用燃燒式廢氣處理科技,協助顧客有效高度去除這類物質。最近我們運用電漿科技,已經協助客戶在整個晶片製造廠內降低 > 90% 的二氧化碳,符合世界半導體理事會 (World Semiconductor Council) 的目標。至於平面顯示器與新興的環保裝置,如太陽能板與 LED 照明,我們已開發 Spectra Z 和 Spectra G 廢氣處理系統來處理更大的氣流量。

Atlas 系列廢氣處理產品所使用的燃料,較上一個世代減少 50%。愛德華也提供 Atlas 科技,透過結合泵浦與廢氣處理系統,升級上一個系列的廢氣處理產品,並運用待機模式以節省能源。