Your browser is not supported

Nous ne prenons plus en charge le navigateur que vous utilisez. Pour continuer à consulter notre site web, veuillez utiliser l'un des navigateurs pris en charge suivants.

Search Edwards Vacuum
Pompes turbomoléculaires

Nous nous soucions de la durabilité et unissons nos efforts pour que nos activités et nos méthodes de travail deviennent plus durables. Nous avons apporté plusieurs modifications majeures à la conception de nos produits en fonction de considérations environnementales. Lorsque nous concevons et développons nos produits, nous tenons compte des ressources nécessaires à sa conception et son utilisation. Nous veillons particulièrement à réduire la consommation d'eau et d'électricité, car l'utilisation efficace des ressources permet de réduire drastiquement le coût d'exploitation des installations.

Emissions de carbone réduites des produits de dernière génération

Pompes primaires

Réduction de la consommation d'énergie de nos clients dans l'industrie des semi-conducteurs. Les pompes à vide sont parmi les plus grandes consommatrices d'énergie pour un équipement qui peut, à son tour, représenter plus du tiers de la consommation d'énergie d'une usine (recherche SEMATECH Energy). Le parc mondial de pompes à vide pour semi-conducteurs consomme la même quantité d'énergie que la ville de Sheffield au Royaume-Uni ou de Plano au Texas (Etats-Unis).

Nous concevons nos solutions de façon à réduire la consommation d'énergie et des autres ressources, sans compromettre la fiabilité. Grâce à un processus de conception de plateforme, nos pompes primaires consomment moins d'énergie, génération après génération. Par exemple, les pompes sèches de dernière génération consomment environ 30 % moins d'énergie qu'auparavant. Actuellement, avec l'introduction du mode Active Utility Control (AUC), nous réduisons encore davantage la consommation d'énergie et des autres ressources lorsque les pompes sont mises en veille grâce à des signaux provenant de l'équipement de production.

Nous veillons à ce que les avantages de nos produits de dernière génération soient exploités au niveau de toute notre gamme de pompes. Ces avantages sont mis à la disposition des clients utilisant des pompes plus anciennes grâce aux programmes d'amélioration de l'efficacité énergétique d'Edwards.

Nous expliquons également à nos clients comment réduire la consommation d'énergie de nos équipements.

Pompes secondaires

La lutte contre le réchauffement climatique passe par la réduction de la consommation énergétique mondiale. En plus de réduire la consommation d'énergie de nos sites de production et de nos bureaux, nos gammes de pompes turbomoléculaires de dernière génération permettent d’aider nos clients à atteindre leurs objectifs de réduction de consommation d'énergie. Edwards propose des programmes d’amélioration permettant aux clients de bénéficier d'une technologie de pompe turbomoléculaire à haut rendement énergétique.

La transition des pompes à diffusion d'huile aux pompes turbomoléculaires STP a notamment les avantages suivants :

  • Réduction des coûts de fonctionnement (énergie et eau)
  • Aucun entretien annuel ou changement d'huile
  • Performances de pompage accrues
  • Réduction du niveau sonore et des vibrations
  • Encombrement réduit

Traitement des gaz

Les procédés de fabrication des semi-conducteurs nécessitent l'utilisation de gaz, par exemple les hydrocarbures fluorés et l'hexafluorure de soufre, qui présentent un risque environnemental élevé en raison de leur persistance et de leur potentiel de réchauffement de la planète (PRP) élevé. Ces substances peuvent avoir un PRP 1 000 fois supérieur à celui du dioxyde de carbone. Par exemple : si le CO2 a un potentiel de réchauffement de la planète (PRP) de 1 sur 100 ans, le SF6 a un PRP de 23 500 sur la même période, le NF3 de 16 100 et le CF4 de 6 630. (Source : cinquième rapport d'évaluation du GIEC, 2014.)

Nous aidons nos clients à atteindre des niveaux élevés de destruction et d'élimination de ces substances depuis le milieu des années 1990, grâce à notre technologie de traitement des gaz par combustion. Plus récemment, grâce à la technologie plasma, nos clients ont été en mesure d'obtenir des réductions de CO2 supérieures à 90 % sur l'ensemble des usines de fabrication, conformément aux objectifs du World Semiconductor Council. Pour la production de panneaux plats et de dispositifs environnementaux émergents, tels que les panneaux solaires et les éclairages à LED, nous avons développé les systèmes de traitement des gaz Spectra Z et Spectra G afin de faire face à des débits de gaz plus élevés.

Nos produits de traitement des gaz Atlas consomment jusqu'à 50 % de carburant en moins que les gammes précédentes. Edwards propose également la technologie Atlas dans le cadre d'un programme de mise à niveau qui permet d'améliorer l'efficacité énergétique des anciennes gammes de produits de traitement des gaz. L'association de pompes et de systèmes de traitement des gaz permet également de réaliser des économies d'énergie grâce à un « mode veille » innovant.