我们的产品

我们关注可持续发展,我们正在努力确保我们所做的事以及我们的工作方式变得更具可持续性。在环境考量的推动下,我们对产品设计作出了几步重大修改。资源的有效利用在我们的产品设计和开发中至关重要,降低客户的拥有成本,特别侧重降低耗电量和耗水量。

最新一代产品减少碳排放

主泵

减少客户在半导体行业中的能耗:过程泵是能耗最大的流程工具之一,其能耗可以占工厂总能耗的三分之一以上(引自 SEMATECH“能量调查”)。半导体真空泵的全球用户群消耗的能源与英国谢菲尔德或美国德克萨斯州普莱诺市相当

我们的设计可在节能和降低公共设施成本的同时而不影响其可靠性。采用平台设计流程,我们每一代主泵都使能耗更少。例如,最新一代的干泵能耗就比上一代低约 30%。现在,随着多功能控制 (AUC) 的推出,当泵处于闲置状态时,我们使用该工具发出的信号可以进一步减少对能源和公共设施的消耗。

我们确保我们的全系列泵产品都利用了我们最新一代平台技术的优势。通过 Edwards 的能效升级计划,使用旧版泵产品的客户可从中获益。

我们还建议客户如何最大限度地降低设备能耗。

次级泵

减少全球能源消耗是应对全球变暖的关键。除了最大限度地降低我们的生产设施及办公室的能耗外,我们最新一代的涡轮分子泵系列使我们的客户能够实现其节能目标。Edwards 提供的升级计划使客户能够改用节能涡轮分子泵技术。

例如,由油扩散泵改用 STP 涡轮分子泵的优势:

  • 降低公共设施成本(电力和水)
  • 无需年度维护或换油
  • 提高泵送性能
  • 环境噪音极低,振动小
  • 减少空间需求

尾气处理

半导体制造工艺使用的气体(如全氟化碳和六氟化硫),由于其持久性和高全球变暖潜能值 (GWP) 而被列为环境高危物质。这些物质的 GWP 可能是二氧化碳的 1000 倍。 例如: 如果二氧化碳在 100 年内的全球变暖潜能值 (GWP) 为 1,在同一时期内—— SF6 的 GWP 为 23,500,NF3 的 GWP 为 16,100,而 CF4 的 GWP 为 6,630。 例如: 如果二氧化碳在 100 年内的全球变暖潜能值 (GWP) 为 1,在同一时期内—— SF6 的 GWP 为 23,900,NF3 的 GWP 为 10,970,而 CF4 的 GWP 为 6,500

自 20 世纪 90 年代中期以来,我们一直在使用我们的燃烧尾气处理技术帮助客户对这些物质实现高级破坏性去除的目标。最近,通过等离子技术,我们的客户已经能够在全部车间中实现 >90% 的二氧化碳减排——符合“世界半导体理事会”的目标。对于平板显示器和新兴环保设备(例如太阳能电池板和 LED 照明等)的生产,我们开发了 Spectra Z 和 Spectra G 尾气处理系统,以应对更高的气体流量。

Atlas 系列尾气处理产品使用的燃料比之前的系列减少了 50%。Edwards 还提供 Atlas 技术,通过结合泵和尾气处理系统,对先前的尾气处理产品系列进行能效升级;通过采用“闲置”模式技术,我们也实现了节能。