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Über Prozesskammerlösungen

Unsere wartungsfreie Maglev-Turbomolekularpumpenreihe STP setzt Maßstäbe für konsistente und zuverlässige Leistung. Der Rotor ist vollständig magnetgelagert – damit sind diese Pumpen die erste Wahl für Anwendungen, die hohe Verfügbarkeit und kohlenwasserstofffreies Pumpen bei minimalem Wartungsaufwand und sehr geringen Vibrationen erfordern.

Fortschrittliche Hochdurchsatz-Serie

Die Advanced-Reihe bietet hohen Durchsatz und ist perfekt für Ihre Ätz- und CVD-Prozesse in der Halbleiterindustrie geeignet:

  • Kleine Stellfläche
  • Durchsatzleistungen von 300 l/s bis 4.500 l/s
  • Durchsatz bis zu 6 slm und verbesserte H2-, N2- und Ar-Leistung

  • Voll integrierter Controller und Stromversorgung
  • Ultrahochvakuum
  • Vibrationsarme Ultrahochvakuum-Baureihe
Voll integrierter Controller und Stromversorgung

Diese All-in-One-Turbopumpenlösung macht das sonst übliche Anschlusskabel und Gestell überflüssig:

  • Reduzierte Stellfläche, Einsparung wertvollen Fabrikraums, sparen bei Installationszeit und -kosten
  • Die eingebaute Stromversorgung reduziert den Energieverbrauch bei hohem Gasdurchsatz um bis zu 32 %.
  • Durchsatzleistungen von 300 l/s bis 4.500 l/s
Ultrahochvakuum

Die Baureihe für Ultrahochvakuum bietet unübertroffene Zuverlässigkeit, Leistung, Reinheit und erstklassig niedrige Schwingungen:

  • Gleichstromversorgung macht Batterien überflüssig.
  • Controller in halber Einbauhöhe mit Auto-Tuning und erweiterten Diagnosefunktionen
  • Geschwindigkeiten von 300 l/s bis 1.000 l/s und <10–10 mbar Enddruck, CF-Flansch
  • Die „C“-Version für raueste Verfahrensbedingungen ist ebenfalls erhältlich.
Vibrationsarme Ultrahochvakuum-Baureihe

Die vibrationsarme Ultrahochvakuum-Variante umfasst alle Merkmale der Ultrahochvakuum-Baureihe sowie einen integrierten Schwingungsdämpfer, der Ihnen eine extrem geringe Vibration garantiert.

Diese All-in-One-Turbopumpenlösung macht das sonst übliche Anschlusskabel und Gestell überflüssig:

  • Reduzierte Stellfläche, Einsparung wertvollen Fabrikraums, sparen bei Installationszeit und -kosten
  • Die eingebaute Stromversorgung reduziert den Energieverbrauch bei hohem Gasdurchsatz um bis zu 32 %.
  • Durchsatzleistungen von 300 l/s bis 4.500 l/s

Die Baureihe für Ultrahochvakuum bietet unübertroffene Zuverlässigkeit, Leistung, Reinheit und erstklassig niedrige Schwingungen:

  • Gleichstromversorgung macht Batterien überflüssig.
  • Controller in halber Einbauhöhe mit Auto-Tuning und erweiterten Diagnosefunktionen
  • Geschwindigkeiten von 300 l/s bis 1.000 l/s und <10–10 mbar Enddruck, CF-Flansch
  • Die „C“-Version für raueste Verfahrensbedingungen ist ebenfalls erhältlich.

Die vibrationsarme Ultrahochvakuum-Variante umfasst alle Merkmale der Ultrahochvakuum-Baureihe sowie einen integrierten Schwingungsdämpfer, der Ihnen eine extrem geringe Vibration garantiert.

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