Giải pháp trên buồng
Rung động thấp và không cần bảo trì
Nếu bạn cần hiệu suất ổn định, đáng tin cậy và không cần bảo trì, dòng bơm turbo phân tử STP Maglev của chúng tôi sẽ thiết lập tiêu chuẩn. Rôto được treo hoàn toàn bằng ổ trục từ tính - hoàn hảo cho các ứng dụng đòi hỏi thời gian hoạt động cao, bơm không chứa hydrocacbon, bảo trì tối thiểu và rung động thấp.
Dòng sản phẩm công suất cao tiên tiến
Dòng Advanced cung cấp công suất cao, hoàn hảo cho các quy trình khắc chất bán dẫn và CVD của bạn:
- Kích thước nhỏ gọn
- Tốc độ thông lượng từ 300 l/giây đến 4.500 l/giây
- Thông lượng lên đến 6 slm và tăng hiệu suất H2, N2 và Ar
- Bộ điều khiển và nguồn điện tích hợp đầy đủ
- Chân không cực cao
- Dòng chân không siêu cao rung thấp
Giải pháp bơm turbo tất cả trong một này loại bỏ cáp kết nối và giá đỡ thường được yêu cầu:
- Giảm diện tích, tiết kiệm bất động sản nhà máy có giá trị, thời gian lắp đặt và chi phí
- Nguồn điện tích hợp giúp giảm mức tiêu thụ năng lượng lên đến 32% ở lưu lượng khí cao
- Hoạt động với tốc độ thông lượng từ 300 l/giây đến 4.500 l/giây
Dòng chân không siêu cao cung cấp độ tin cậy, hiệu suất, độ sạch và mức độ rung thấp hàng đầu:
- Nguồn DC loại bỏ nhu cầu sử dụng pin
- Bộ điều khiển nửa giá có tính năng tự động điều chỉnh và các tính năng chẩn đoán nâng cao
- Tốc độ từ 300 l/giây đến 1.000 l/giây và áp suất cuối <10-10 mbar CF flange
- Phiên bản "C" dành cho quy trình khắc nghiệt cũng có sẵn
Phiên bản chân không siêu cao rung thấp kết hợp tất cả các tính năng của dòng chân không siêu cao, cộng với bộ cách ly rung tích hợp để mang lại cho bạn hiệu suất rung cực thấp.
- Edwards STP iXA4506 Large Capacity Turbopump Datasheet 245.8 kB, PDF