Soluciones para cámaras
Baja vibración y sin necesidad de mantenimiento
Si necesita un rendimiento constante y confiable sin mantenimiento, nuestra gama de bombas turbomoleculares STP Maglev marca la pauta. El rotor está completamente suspendido por cojinetes magnéticos, lo que es perfecto para aplicaciones que exigen altos tiempos de funcionamiento, un bombeo libre de hidrocarburos, muy poco mantenimiento y baja vibración.
Serie Advanced de alto rendimiento
La serie Advanced ofrece altos niveles de rendimiento, perfectos para sus procesos de decapado y ECV de semiconductores:
- Tamaño compacto
- Velocidades de rendimiento de 300 l/s a 4500 l/s.
- Producción de hasta 6 slm y un rendimiento mejorado de H2, N2 y Ar
- Controlador y fuente de alimentación completamente integrados
- Vacío ultraalto
- Serie de vacío ultraalto y baja vibración
Controlador y fuente de alimentación completamente integrados
Esta solución de bomba turbo todo en uno elimina el cable de conexión y el bastidor que se requieren normalmente:
- Tamaño reducido, lo que ahorra espacio en el inmueble, además de tiempo y costos en la instalación
- La fuente de alimentación integrada reduce el consumo de energía en hasta un 32 % en flujos altos de gas
- Funciona con velocidades de rendimiento de 300 l/s a 4500 l/s
Vacío ultraalto
La serie de vacío ultraalto ofrece confiabilidad, rendimiento, limpieza y niveles de vibración bajos inigualables y líderes en su tipo:
- La corriente continua elimina la necesidad de utilizar baterías
- El controlador de medio bastidor cuenta con sintonización automática y funciones de diagnóstico avanzadas
- Velocidades desde 300 l/s hasta 1000 l/s y <10-10 mbar de presión máxima en la brida CF
- También está disponible la versión “C” para procesos más difíciles
Serie de vacío ultraalto y baja vibración
La versión de vacío ultraalto con baja vibración incorpora todas las características de la serie de vacío ultraalto, más un aislador de vibración incorporado para ofrecerle una vibración ultrabaja.
Esta solución de bomba turbo todo en uno elimina el cable de conexión y el bastidor que se requieren normalmente:
- Tamaño reducido, lo que ahorra espacio en el inmueble, además de tiempo y costos en la instalación
- La fuente de alimentación integrada reduce el consumo de energía en hasta un 32 % en flujos altos de gas
- Funciona con velocidades de rendimiento de 300 l/s a 4500 l/s
La serie de vacío ultraalto ofrece confiabilidad, rendimiento, limpieza y niveles de vibración bajos inigualables y líderes en su tipo:
- La corriente continua elimina la necesidad de utilizar baterías
- El controlador de medio bastidor cuenta con sintonización automática y funciones de diagnóstico avanzadas
- Velocidades desde 300 l/s hasta 1000 l/s y <10-10 mbar de presión máxima en la brida CF
- También está disponible la versión “C” para procesos más difíciles
La versión de vacío ultraalto con baja vibración incorpora todas las características de la serie de vacío ultraalto, más un aislador de vibración incorporado para ofrecerle una vibración ultrabaja.
- Edwards STP iXA4506 Large Capacity Turbopump Datasheet 245.8 kB, PDF
