Gemeinsame Datennutzung und die Kosten der Untätigkeit
VIDEO & TRANSKRIPT
Sehen Sie sich den vollständigen Webcast an, in dem Erik Collart dazu referiert, wie Kunden Daten nutzen, um die Effektivität der SubFab zu verbessern.
Warum ist das Vakuumsystem so wichtig für den Erfolg von Halbleiterfabriken?
Der Hauptgrund ist, dass viele kritische Prozessschritte in der Halbleiterfertigung ein Hochvakuum oder sehr kontrollierte Umgebungsbedingungen erfordern. Daher ist das Vakuum ein wichtiger Prozessparameter und immer aktiv. Die Pumpen werden bei Prozesswerkzeugen nur sehr selten abgeschaltet, das Vakuumsystem ist also allgegenwärtig. Es gibt Tausende von trockenlaufenden Pumpen und in der Regel Hunderte von Abgasreinigungsanlagen.
In der Fabrik selbst finden sich Hunderte von Turbomolekularpumpen, Kryopumpen, Kompressoren; dann gibt es Wärmemanagement-Systeme und andere Nebenanlagen, sowie etliche Kilometer Vor- und Abgasleitungen.
Und schließlich sind alle Systeme miteinander verbunden, was bedeutet, dass sie sich zum einen gegenseitig und dann auch den Prozess beeinflussen. Es ist sehr wichtig, dass wir Daten aus diesem kritischen System in der Fabrik erfassen.
Auf der vorherigen Folie habe ich darauf hingewiesen, dass es wichtig ist, Daten von der SubFab zu erfassen. Aber ist es genug, damit die SubFab den Erfolg der Fabrik vorantreiben kann?
Ein Schwerpunkt für viele in der Halbleiterindustrie ist die intelligente Fertigung, aber was bedeutet das im Zusammenhang mit der SubFab?
Technische Definitionen für die intelligente Fertigung: Die meisten beschreiben automatisierte Aktionen und Interaktionen zwischen Maschinen und IoT, Hardware und Software, Dies befeuert eine Vision der autonomen Fertigungsumgebung mit sehr wenig menschlicher Interaktion.
Die SubFab ist jedoch eine komplexe Umgebung, in der Menschen, Maschinen, Daten und Prozesse eng miteinander interagieren. Daher geht es bei uns weniger darum, Automatisierung zu erreichen, sondern vielmehr darum, die Lücke zwischen automatisierten Maschinen und kreativen Menschen zu schließen, die komplexe Probleme lösen und kontinuierliche Verbesserungen vorantreiben können.
Unser Ansatz besteht daher darin, Risiken und Unsicherheiten zu reduzieren und Mehrwert zu schaffen, indem wir wie beschrieben eine intelligente Fertigung und Prinzipien einer schlanken und zirkulären Wirtschaft einsetzen, um Maschinen, Menschen, Daten und Prozesse effektiv zusammenzuführen. Wir nennen dies operative Exzellenz.
Was sind also die wichtigsten Herausforderungen für SubFab und Fabrik?
Wie sorgen wir dafür, dass Maschinen, Prozesse, Daten und Menschen effektiv interagieren, um Risiken und Unsicherheiten zu reduzieren? Ich habe dies in drei Herausforderungen unterteilt.
Erfassung
Sie müssen alle Daten von der Vakuum- und der Abgasreinigungsanlage erfassen. Das ist viel schwerer als es klingt. SubFab- und Fabrik-Anlagen sind vielfältig, es gibt viele unterschiedliche Lieferanten und die Komplexität kann ebenfalls stark variieren.
Verbindung
Hier haben Sie ein First-Mile-Problem. Sie benötigen die Netzwerkinfrastruktur, um eine Verbindung zu den Geräten herstellen zu können, aber dann weiter vorne haben Sie auch ein Verbindungsproblem, wenn Sie eine Verbindung zu verschiedenen Software-, Prozess- und Hardware-Wartungsplattformen, FTC, NBS usw. herstellen möchten.
Kontext
Es ist notwendig, Daten aus verschiedenen Quellen zu kombinieren. Und natürlich ist dies der Punkt, an dem Menschen ins Spiel kommen. Außerdem müssen Sie eine dynamische Prozessumgebung berücksichtigen, die von Menschen und deren Handlungen gesteuert wird. Schlussendlich stellen die Mitarbeiter ihre Fachkenntnisse zur Verfügung und können die Wissenskette nutzen, die Sie benötigen, um all diese Daten in verwertbare Erkenntnisse umzuwandeln.
Natürlich sind Erfassung, Verbindung und Kontext eigentlich nur der Beginn der intelligenten Fertigung. Wenn wir Mehrwert aus Daten ziehen möchten, müssen wir diese Daten in verwertbare Erkenntnisse und Informationen umwandeln können.
