データ共有と非対応のコスト
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サブファブの有効性を向上させるために顧客がどのようにデータを活用しているかについてのエリック・コラートのレビューは、ウェブキャスト全文をご覧ください。
なぜ真空システムは製造工場の成功にとって非常に重要なのでしょうか？
その主な理由は、半導体製造における多くの重要なプロセスステップでは、高真空または非常に制御された周囲条件が必要であるためです。 したがって、真空は重要なプロセスパラメータであり、常にオンになっています。プロセスツールでポンプのスイッチを切ることはめったにありません。 また、真空システムはラルキと広範囲にわたります。数千台のドライポンプがあり、通常は数百台の除害ツールがあります。
工場自体には、何百台ものターボポンプ、クライオポンプ、コンプレッサー、熱管理システム、その他の補助システム、さらには何マイルものフォアラインと排気ラインがあります。
最後に、すべてのシステムは相互に接続されているため、相互に影響を及ぼし、プロセスに影響を及ぼします。 ファブのこの重要なシステムからデータを収集することが非常に重要です。
前のスライドでは、サブファブからデータを収集することが重要であると述べましたが、サブファブをファブの成功の原動力にするにはこれで十分です。
現在、半導体業界の多くの人にとって、スマート製造が中心となっていますが、これは SufFab の文脈で何を意味しますか？
スマートマニュファクチャリングの技術的定義。ほとんどは、機械と IOT、ハードウェア、ソフトウェア間の自動化されたアクションと相互作用を説明します。 つまり、人間の関わりがほとんどない自律型製造環境のビジョンにつながります。
しかし、サブファブは、人、機械、データ、プロセスが密接に相互作用する複雑な環境です。 したがって、私たちの課題は、オートメーション化を達成することではなく、オートメーション化された機械と、複雑な問題を解決して継続的な改善を推進できるクリエイティブな人間とのギャップを埋めることです。
したがって、当社のアプローチは、リスクと不確実性を低減し、説明したようにスマートマニュファクチャリング、リーンおよび循環型経済の原則を使用して機械を製造することで価値を創造することです。, 人、データ、プロセスが効果的に連携します。 これをオペレーショナル・エクセレンスと呼びます。
では、サブファブとファブの主な課題は何でしょうか？
機械、プロセス、データ、人々が効果的に相互作用し、リスクと不確実性を低減します。 これを 3 つの課題に分けました。
コレクション
真空および除害装置からすべてのデータを収集する必要があります。 聞こえるよりもはるかに難しいです。 サブファブとファブ設備は多様で、多くの異なるサプライヤーがあり、複雑さも大きく異なる場合があります。
接続
ここで最初のマイルの問題があります。 機器に接続するにはネットワークインフラが必要ですが、さらに上流では接続の問題もあります。異なるソフトウェア、プロセス、ハードウェアメンテナンスプラットフォーム、 FTC、 NBS などに接続する場合
背景
異なるソースからのデータを組み合わせる必要があります。 もちろん、ここに人間が関わります。また、ダイナミックなプロセス環境も考慮する必要があります。 また、ダイナミックなプロセス環境は、主に人とその行動によって推進されます。最後に、担当者は主題に関する専門知識を提供し、ドメインの知識サプライチェーンを使用できるようになります。このサプライチェーンでは、すべてのデータを実用的な洞察に変換する必要があります。
もちろん、コレクション、つながり、接点は、スマートマニュファクチャリングの始まりにすぎません。 データから価値を得るには、そのデータを実用的な洞察や情報に変えなければなりません。
