Đạt hiệu suất bơm đông lạnh ở các cấp độ mới
Bơm lạnh CTI-Cryogenics On-Board® IS 320F XVS duy trì truyền thống của Edwards trong việc cung cấp các bơm lạnh cấy ghép đáng tin cậy nhất và hiệu suất tốt nhất trên thị trường.
Bơm đông lạnh On-Board® IS 320F XVS được thiết kế để cung cấp hiệu suất bơm hydro cao nhất để cải thiện năng suất và thông lượng quy trình, cung cấp câu trả lời hoàn hảo cho những thách thức ứng dụng cấy ghép ion ngày nay.
Bộ điều khiển hệ thống thông minh tích hợp trong bơm lạnh đảm bảo chất lượng quy trình, tính nhất quán của chân không và thời gian hoạt động tốt hơn, đồng thời cung cấp thông tin hệ thống theo thời gian thực để kiểm soát tối ưu nhiệt độ mảng. Chất lượng chân không được tăng cường bằng cách tự động thích ứng với các điều kiện tải nhiệt/khí thay đổi.
- Hiệu suất chân không ổn định
- Cải thiện hiệu suất chân không
- Khả năng tương thích
- Giảm biến thiên tốc độ bơm H2 giữa các lần tái tạo
- Giảm tác động đến tốc độ bơm H2 do nhiễm bẩn kháng quang
- Nhiệt độ mảng ổn định tối ưu
- Tốc độ bơm H2 cao-15.500 L/S
- Công suất H2 cao - 40 STD-L
- Hệ thống bơm lạnh IS tích hợp
- Máy nén IS -1000, IS -2000V, IS -1800 XVS
