Atlas cung cấp hiệu suất xử lý vượt trội
Atlas™ từ Edwards cung cấp độ tin cậy vượt trội, khả năng xử lý bột tuyệt vời và khả năng chống ăn mòn, mang lại hiệu suất xử lý cho các ngành công nghiệp bán dẫn, màn hình phẳng, năng lượng mặt trời và MOCVD.
Công nghệ xử lý khí Atlas: một loạt các giải pháp xử lý khí đốt - cụ thể cho quy trình của bạn:
- Atlas TCS cho các loại khí CVD phổ biến (NF3/F2)
- Atlas TPU cho khí PFC (ClF3, C2F6, C3F8) trong quy trình CVD
- Atlas Kronis cho khí CVD k thấp trong các quy trình thế hệ tiếp theo
- Atlas Etch cho quy trình khắc bán con và hiển thị bảng phẳng (CF4, SF6 và PFC lưu lượng cao)
- Atlas Helios để xử lý an toàn các quy trình hydro trong epitaxy và MOCVD
Hệ thống Atlas™ có mức tiêu thụ nhiên liệu thấp so với các thiết bị xử lý khí thế hệ trước. Chúng tôi sử dụng công nghệ đốt bên trong Alzeta™ đã được chứng minh để giảm đáng kể chi phí sở hữu. Với một đến sáu cửa nạp với một số tùy chọn, bao gồm hệ thống quản lý nhiệt độ (TMS), hệ thống Atlas có thể xử lý lưu lượng lên đến 1.200 slm. Chúng được thiết kế để dễ sử dụng và cho phép bảo trì hiệu quả hơn.
Công nghệ đốt bên trong của Edwards
Được sử dụng bởi hầu hết các nhà sản xuất chất bán dẫn lớn, bộ đốt cháy bên trong đã trở thành tiêu chuẩn toàn cầu trong xử lý khí từ năm 1994.
Công nghệ đốt cháy độc đáo của chúng tôi hoạt động với nhiệt độ đốt cháy đồng nhất. Điều này đảm bảo phát thải nền rất thấp, và dòng khí vào ngăn vật liệu xử lý tiếp xúc với thành buồng, giảm thiểu tắc nghẽn do chất rắn. Thành phần độc quyền của vật liệu bộ đốt đảm bảo khả năng chống ăn mòn vượt trội và giúp cung cấp cho Atlas độ tin cậy và an toàn vượt trội.
Tại trung tâm đổi mới môi trường hiện đại của chúng tôi, chúng tôi có các giải pháp được điều chỉnh theo quy trình cho hiệu suất vượt trội, đã được chứng minh tại hiện trường và được bên thứ ba xác minh. DRE giảm thiểu thường mở rộng ra ngoài phạm vi pháp luật toàn cầu và địa phương:
SiH4 và các halogen khác dưới TLV
NF3: >99% / <TLV
F2:: >99% / <TLV
CF4: >90%
Các PFC khác: >99%
Với cơ sở lắp đặt rộng lớn, đội ngũ ứng dụng và hỗ trợ dịch vụ toàn cầu vô song, chúng tôi có thể cung cấp giải pháp tốt nhất được thiết kế cho nhu cầu quy trình của bạn. Liên hệ với đội ngũ của chúng tôi và chúng tôi có thể cùng nhau tìm ra giải pháp tối ưu.
