Hỗ trợ năng suất của khách hàng
Tối đa hóa thời gian hoạt động của SubFab
Trong thế giới kết nối nhanh chóng ngày nay, chúng tôi hiểu nhu cầu tối đa hóa năng suất của khách hàng. Chúng tôi làm điều này bằng cách đảm bảo rằng công nghệ của họ là công nghệ đầu tiên ra thị trường, đồng thời tiếp tục phấn đấu để giảm rủi ro và thách thức môi trường mà quy trình sản xuất có thể mang lại.
Các giải pháp tích hợp của Edwards đánh giá toàn bộ nhu cầu quản lý chân không và khí thải của khách hàng, dựa trên kinh nghiệm toàn cầu của chúng tôi, với các công nghệ tiên tiến nhất trong ngành. Các hệ thống tích hợp của chúng tôi mang lại lợi thế về khả năng lặp lại sản phẩm và dịch vụ cũng như tiết kiệm không gian. Chúng giúp cải thiện năng suất, an toàn và đảm bảo môi trường. Các hệ thống tích hợp của chúng tôi cũng mang lại lợi ích trực tiếp về tốc độ lắp đặt và thiết lập nhanh hơn, tiết kiệm quy mô và tăng cường an toàn.
- EUV
- EZENITH
- Regis
Quy trình sáng tạo của quang khắc cực tím, được gọi là EUVL hoặc EUV, là công nghệ quang khắc thế hệ tiếp theo mà các nhà sản xuất chip bán dẫn hàng đầu dự định sử dụng trong sản xuất các thành phần bán dẫn tiên tiến nhất. Công nghệ này có tầm quan trọng lịch sử, vì nó cho phép tiếp tục mở rộng Định luật Moore. Thách thức ngay lập tức đối với EUV là thời gian hoạt động của dụng cụ. Giải pháp phân xưởng tích hợp đầy đủ của chúng tôi sẽ mang lại lợi ích đáng kể cho quá trình sản xuất in litho EUV. Với hơn 10 năm cho phép EUV từ góc độ phụ của nhà máy, các giải pháp công nghệ tiên tiến hàng đầu và khả năng hệ thống hóa của chúng tôi tiếp tục phấn đấu để cho phép thời gian hoạt động và năng suất tối đa của quy trình EUV trong một môi trường được quản lý an toàn.
Chúng tôi hiểu rõ những thách thức
- Kiểm soát rủi ro
Sử dụng kinh nghiệm toàn cầu của chúng tôi để đảm bảo sự thành công của khách hàng
- Tiết kiệm năng lượng
Dòng chảy cao hơn không đồng nghĩa với các dụng cụ lớn hơn
Tái chế/Tái sử dụng
- Quy mô
Khả năng và kinh nghiệm thích ứng với nhu cầu của khách hàng. Lưu lượng kép không có nghĩa là tăng gấp đôi quy mô của công ty sản phẩm có kinh nghiệm hệ thống, đội ngũ tài khoản, hỗ trợ dịch vụ và chuyên môn toàn cầu
Hệ thống EUV của Edwards
EZENITH cung cấp danh mục hệ thống tiên tiến cung cấp các giải pháp quản lý chân không và khí thải tích hợp đầy đủ cho tất cả các ứng dụng quy trình bán dẫn của bạn. Hệ thống EZENITH độc đáo trong việc cung cấp:
- Quản lý chân không và khí thải tập trung vào quy trình
- Tích hợp đầy đủ các thành phần
- Hỗ trợ mỗi chức năng với Giao diện Điều khiển Tích hợp mạnh mẽ
- Được thiết kế để sử dụng không gian hiệu quả - tiết kiệm đến 70%
- Phân phối nội bộ đầy đủ, quy định và giám sát các dịch vụ giảm hơn 60% kết nối tiện ích đồng thời đảm bảo hoạt động trơn tru và đáng tin cậy
Chỉ với một máy bơm và thiết bị xử lý khí, bạn vẫn chưa sẵn sàng để chạy quy trình của mình. Bạn sẽ cần kết nối khí xả của bơm, kết nối bộ gia nhiệt đường dây ở nơi cần thiết, chạy các đường dây nước, xả và điện, sau đó chuẩn bị tất cả các tín hiệu điều khiển. Bạn cũng sẽ phải xem xét vỏ bọc kép, phát hiện rò rỉ khí và cách bạn muốn tiến hành kiểm tra rò rỉ sau khi bảo trì dụng cụ. Tất cả những điều này sẽ khiến bạn mất thời gian và tiền bạc để thiết kế. Chúng tôi hiểu vấn đề, vì vậy chúng tôi đã phát triển các giải pháp tích hợp, quy trình cụ thể.
Các hệ thống tích hợp của chúng tôi đã được thiết kế sẵn cho hầu hết các quy trình bán dẫn. Bộ gia nhiệt khí thải được thiết lập cho nhiệt độ chính xác để giảm thiểu chi phí và tối đa hóa thời gian hoạt động. Chúng tôi đặt cổng kiểm tra rò rỉ và van cổng ở nơi cần thiết. Toàn bộ hệ thống được đóng kín và quan trọng nhất là bạn chỉ cần cung cấp một trong các tiện ích cần thiết. Chúng tôi phân phối khí, nước, điện và tín hiệu điều khiển ở nơi cần thiết và tạo ra một hệ thống sẵn sàng để sử dụng.
Regis (Hệ thống phun khí phản ứng) là một hệ thống phản ứng hóa học, sử dụng công nghệ plasma từ xa để tăng tuổi thọ bơm.
Regis thế hệ mới nhất có thiết kế buồng phản ứng độc đáo đảm bảo các khí quy trình được phản ứng hiệu quả trước khi vào bơm, kéo dài tuổi thọ bơm lên hơn 300 ngày.
So với Regis thế hệ trước, diện tích lắp đặt đã giảm 26,5%. Hệ thống Regis mới kết hợp với bơm chân không khô hạng nặng, cung cấp thời gian hoạt động bơm tối đa và độ ổn định quy trình cho một loạt các quy trình.
Tính năng & Lợi ích
- Chi phí sở hữu thấp:
ReGIS kéo dài tuổi thọ bơm lên 300 ngày trở lên
Tối ưu hóa dòng NF3 bằng cách sử dụng các nghiên cứu FTIR để giảm thiểu CoO.
Hiệu quả phản ứng tăng 100% nhờ thiết kế buồng phản ứng mới.
- Tối đa hóa thời gian hoạt động của dụng cụ:
Hoạt động liên tục trực tuyến.
Giảm thời gian ngừng hoạt động của dụng cụ do thay bơm thường xuyên.
- Hệ thống kín hoàn toàn với cổng hút tủ đi kèm.
- Điều khiển PLC:
Khả năng đánh lửa Plasma của Công cụ Kiểm soát Tín hiệu ReGIS.
Cải thiện độ an toàn
Giám sát toàn bộ hệ thống.
- Cho phép ổn định quy trình:
Không làm giảm hiệu suất.
Không có thay đổi về độ dẫn điện.
Edwards Regis