Edwards CTI-Cryogenics 8200 Compressor Data sheet
Rangkaian pemampat Edwards CTI-Cryogenics
Edwards CTI-Cryogenics menawarkan pilihan pemampat yang direka untuk memberikan prestasi optimum dengan Cryopump On-Board, Cryo-Torr Cryopump dan/atau Pam Air On-Board.
Penukar frekuensi kuasa cryopump bersepadu memastikan prestasi maksimum cryopump dalam aplikasi 50 dan 60 Hz untuk semua pam vakum Edwards.
Pemampat 8200
Direka untuk memberikan prestasi optimum dengan Cryopump Dalam Talian, Pam Air Dalam Talian dan Cryo-Torr Cryopump, pemampat ini menyokong semua pam sehingga saiz lapan inci. Oleh kerana 8200 direka untuk fleksibiliti, anda boleh meletakkan pemampat di mana sahaja yang paling sesuai untuk operasi sistem anda.
Pemampat 9600
Direka khas untuk hayat guna yang panjang, kebolehpercayaan tinggi dan kemudahan penggunaan, pemampat ini memberikan prestasi cemerlang dengan semua Cryo-Torr Cryopumps, On-Board Cryopumps, On-Board Waterpumps dan On-Board TurboPlus Vacuum Pumps. 9600 menyokong konfigurasi pam tunggal dan berkumpulan serta serasi dengan pemasangan pam CTI-Cryogenics di seluruh dunia.
Pemampat 9700A
Dengan peningkatan output helium, Pemampat 9700A adalah ideal untuk mengendalikan pelbagai cryopump. Dalam banyak aplikasi pelbagai cryopump dan waterpump, satu Pemampat 9700A menyediakan penyelesaian pemampat tunggal. Pemampat 9700A, yang mengurangkan penggunaan tenaga, pengagihan air dan jejak apabila dibandingkan dengan aplikasi pemampat berganda, adalah serasi dengan Cryo-Torr dan Cryopump On-Board.
Pemampat IS
Pemampat IS-1000 - teknologi pemampat pintar dan cekap tinggi untuk Cryopump IS On-Board. Pemampat IS-1000 menyokong sehingga enam Cryopump IS-8F On-Board dalam ruang yang sama seperti Pemampat 9600.
Pemampat IS-2000V - memberikan penggunaan kuasa terendah pada semua fasa operasi melalui gabungan tekanan lebih tinggi, teknologi putar dan penghantaran helium yang boleh disesuaikan sejajar dengan objektif SEMI S-23. IS-2000V menggantikan dua pemampat IS-1000 On-Board. Pemampat helium kapasiti tinggi ini direka untuk menyokong aplikasi Cryopump IS On-Board. Penukar frekuensi kuasa cryopump bersepadu memastikan prestasi cryopump maksimum dalam aplikasi 50 dan 60 Hz.
