Gyorsítsa fel az integrációt és javítsa a rendszer működését
Az Edwards CTI-Cryogenics On-Board vákuumszivattyúk felgyorsítják az integrációt és javítják a rendszer működését - a megbízhatóság és a teljesítmény tekintetében világszínvonalúak.
A teljesen integrált vezérlőkkel és támogató perifériákkal rendelkező On-Board krioszivattyúk kiváló üzemidőt és egyenletes teljesítményt biztosítanak a szerszámok általános termelékenységének és üzemidejének növelése érdekében.
Főbb tulajdonságok
- Fast Regen™ funkció, amely meghosszabbítja a krioszivattyú teljesítményét a regenerációk között
- A krioszivattyúk hálózatba kapcsolásával elérhető egyidejű regenerálási képesség felgyorsítja a teljes rendszer regenerálását
- Beágyazott mikroprocesszoros vezérlés a teljesítmény javítása, a diagnosztikai rutinok végrehajtása és a kommunikációs képesség biztosítása érdekében
- Kifinomult szoftver és egyszerűen használható grafikus felhasználói felületek a teljesítmény és a működés jelentős javítása érdekében
Beépített cryopumpa modell | 4F | 8 | 8F | 10 | 10F | 250F | 400 | 500 |
Szivattyúzási sebesség - liter/mp | ||||||||
Vízgőz | 1,100 | 4,000 | 4,000 | 9,000 | 9,500 | 6,500 | 17,500 | 30,000 |
Levegő | 370 | 1,500 | 1,500 | 3,000 | 3,600 | 2,200 | 6,000 | 10,000 |
Hidrogén | 370 | 2,500 | 2,200 | 5,000 | 6,000 | 3,200 | 12,000 | 12,000 |
Argon | 310 | 1,200 | 1,200 | 2,500 | 3,000 | 1,800 | 5,000 | 8,400 |
Kapacitás - standard liter | ||||||||
Argon | 210 | 1,000 | 1,000 | 2,000 | 2,000 | 1,000 | 2,500 | 6,000 |
Hidrogén (5x10-6 Torr) | 3 | 17 | 12 | 24 | 24 | 16 | 42 | 45 |
Névleges regenerálási idő (hidegtől hidegig) | ||||||||
Első és második fokozat | 75 perc | 2,5 óra | 2,5 óra | 2,5 óra | 2,5 óra | <3,3 óra | 3 óra | <3,8 óra |
2. fokozat | <1 óra | <1 óra | <1 óra | <1 óra | <1 óra | <1,5 óra | <1,5 óra | - |