加速整合並改善系統運作
愛德華 CTI-Cryogenics On-Board 真空泵浦可加速整合並改善系統運作，是目前全球公認的可靠性和效能標準。
On-Board 低溫泵浦的完全控制整合和支援周邊裝置，提供出色的運作時間和穩定效能，增加整體工具的生產力及運轉時間。
關鍵特性
- Fast Regen™ 功能提升了低溫泵浦兩次再生間表現 。
- 經由網路連線方式實現了低溫泵浦同時再生能力，並且加速整體系統再生。
- 嵌入式微製程控制器有助於增強性能、執行診斷例行工作，並提供相關訊號能力。
- 精密軟體和易於使用的圖形化介面可大幅提升操作效能愛德華 CTI-Cryogenics 系列的其他低溫泵浦
| On-Board 低溫泵浦機型 | 4F | 8. | 8F | 10 | 10F | 250F | 400 | 500 |
| 抽氣速度 - 升/秒 | ||||||||
| 水氣 | 1,100 | 4,000 | 4,000 | 9,000 | 9,500 | 6,500 | 17,500 | 30,000 |
| 空氣 | 370 | 1,500 | 1,500 | 3,000 | 3,600 | 2,200 | 6,000 | 10,000 |
| 氫氣 | 370 | 2,500 | 2,200 | 5,000 | 6,000 | 3,200 | 12,000 | 12,000 |
| 氬 | 310 | 1,200 | 1,200 | 2,500 | 3,000 | 1,800 | 5,000 | 8,400 |
| 容量 - 標準公升 | ||||||||
| 氬 | 210 | 1,000 | 1,000 | 2,000 | 2,000 | 1,000 | 2,500 | 6,000 |
| 氫 (5x10-6 Torr) | 3 | 17 | 12 | 24 | 24 | 16 | 42 | 45 |
| 標稱再生時間 (冷對冷) | ||||||||
| 第一與第二段 | 75 分鐘 | 2.5 小時 | 2.5 小時 | 2.5 小時 | 2.5 小時 | <3.3 小時 | 3 小時 | <3.8 小時 |
| 第二段 | <1 小時 | <1 小時 | <1 小時 | <1 小時 | <1 小時 | <1.5 小時 | <1.5 小時 | - |
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