통합을 가속화하고 시스템 가동을 개선합니다.
Edwards CTI-Cryogenics On-Board 진공 펌프는 통합을 더욱 빠르게 하고 시스템 가동을 개선합니다. 그리하여 신뢰성과 성능 면에서 세계적인 표준으로 알려져 있습니다.
완전 통합형 컨트롤 및 지원 주변 기기를 갖춘 On-Board 크라이오 펌프는 우수한 가동 시간 및 일관된 성능을 제공하여 전체 공구 생산성과 가동 시간을 향상시킵니다.
주요 기능
- Fast Regen™ 기능으로 재생 간에 크라이오 펌프 성능 연장
- 동시 재생 기능은 크라이오 펌프 네트워킹으로 구현되며, 전체 시스템 재생 속도 향상
- 내장 마이크로프로세서 컨트롤이 성능을 높이고 진단 루틴을 수행하며 통신 기능 제공
- 정교한 소프트웨어와 사용하기 쉬운 그래픽 사용자 인터페이스로 성능과 작동이 개선되었습니다.
| On-Board 크라이오 모델 | 4F | 8 | 8F | 10 | 10F | 250F | 400 | 500 |
| 펌핑 속도 - 리터/초 | ||||||||
| 수증기 | 1,100 | 4,000 | 4,000 | 9,000 | 9,500 | 6,500 | 17,500 | 30,000 |
| 공기 | 370 | 1,500 | 1,500 | 3,000 | 3,600 | 2,200 | 6,000 | 10,000 |
| 수소 | 370 | 2,500 | 2,200 | 5,000 | 6,000 | 3,200 | 12,000 | 12,000 |
| 아르곤 | 310 | 1,200 | 1,200 | 2,500 | 3,000 | 1,800 | 5,000 | 8,400 |
| 용량 - 표준 리터 | ||||||||
| 아르곤 | 210 | 1,000 | 1,000 | 2,000 | 2,000 | 1,000 | 2,500 | 6,000 |
| 수소(5x10-6 Torr) | 3 | 17 | 12 | 24 | 24 | 16 | 42 | 45 |
| 공칭 재생 시간(냉간) | ||||||||
| 첫 번째 및 두 번째 단계 | 75min | 2.5시간 | 2.5시간 | 2.5시간 | 2.5시간 | 3.3시간 미만 | 3시간 | 3.8시간 미만 |
| 두 번째 단계 | 1시간 미만 | 1시간 미만 | 1시간 미만 | 1시간 미만 | 1시간 미만 | 1.5시간 미만 | 1.5시간 미만 | - |
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