Tăng tốc độ tích hợp và cải thiện hoạt động của hệ thống
Bơm chân không On-Board CTI-Cryogenics của Edwards tăng tốc độ tích hợp và cải thiện hoạt động của hệ thống - được biết đến là tiêu chuẩn thế giới về độ tin cậy và hiệu suất.
Bơm lạnh tích hợp, với bộ điều khiển tích hợp đầy đủ và các thiết bị ngoại vi hỗ trợ, cung cấp thời gian hoạt động vượt trội và hiệu suất nhất quán để tăng năng suất và thời gian hoạt động tổng thể của dụng cụ.
Các đặc điểm chính
- Khả năng Fast Regen™ giúp mở rộng hiệu suất bơm lạnh giữa các lần tái tạo
- Khả năng tái tạo đồng thời, được kích hoạt bằng cách nối mạng bơm lạnh của bạn, giúp tăng tốc độ tái tạo hệ thống tổng thể
- Bộ điều khiển bộ vi xử lý nhúng để tăng cường hiệu suất, thực hiện các quy trình chẩn đoán và cung cấp khả năng giao tiếp
- Phần mềm tinh vi và giao diện người dùng đồ họa dễ sử dụng giúp cải thiện đáng kể hiệu suất và hoạt động
| Mô hình bơm lạnh tích hợp | 4F | 8 | 8F | 10 | 10F | 250F | 400 | 500 |
| Tốc độ bơm - lít/giây | ||||||||
| Hơi nước | 1.100 | 4.000 | 4.000 | 9.000 | 9.500 | 6.500 | 17.500 | 30.000 |
| Không Khí | 370 | 1.500 | 1.500 | 3.000 | 3.600 | 2.200 | 6.000 | 10.000 |
| Hydrô | 370 | 2.500 | 2.200 | 5.000 | 6.000 | 3.200 | 12.000 | 12.000 |
| Agon | 310 | 1.200 | 1.200 | 2.500 | 3.000 | 1.800 | 5.000 | 8.400 |
| Dung tích - lít tiêu chuẩn | ||||||||
| Agon | 210 | 1.000 | 1.000 | 2.000 | 2.000 | 1.000 | 2.500 | 6.000 |
| Hydro (5x10 -6 Torr) | 3 | 17 | 12 | 24 | 24 | 16 | 42 | 45 |
| Thời gian tái sinh danh nghĩa (lạnh đến lạnh) | ||||||||
| Giai đoạn thứ nhất và thứ hai | 75 phút | 2,5 giờ | 2,5 giờ | 2,5 giờ | 2,5 giờ | <3,3 giờ | 3 giờ | <3,8 giờ |
| Bước thứ hai | <1 giờ | <1 giờ | <1 giờ | <1 giờ | <1 giờ | <1,5 giờ | <1,5 giờ | - |