Quels sont les défis auxquels l’EUV est confronté dans la fabrication de grands volumes ?

La demande mondiale de semi-conducteurs est à un niveau historiquement élevé et les clients d’Edwards se concentrent sur l’optimisation de la production pour répondre à la demande et obtenir un bon retour sur investissement durable.

Edwards comprend la nécessité d’optimiser la disponibilité et le rendement des EUV et est idéalement positionnée, avec plus de 20 ans de données de vide et de traitement et d’analyse des performances, pour aider ses clients à atteindre leurs objectifs de productivité et de durabilité.

Soutenu par des capacités de fabrication de pointe et une infrastructure de service mondiale, Edwards propose la solution EUV complète tout en créant de la valeur environnementale et sociale non seulement pour ses clients, mais aussi pour toutes les parties prenantes impliquées.

David Engerran explore les défis de l’EUV HVM et la manière dont Edwards les résout.

Comme nous le savons, la fabrication de semi-conducteurs prend plusieurs mois, les wafers passant par de nombreux outils de processus.

Les outils de lithographie sont les plus avancés et l’un des goulots d’étranglement potentiels les plus stratégiques dans chaque usine. D’autant plus qu’aujourd’hui, pour fabriquer les semi-conducteurs les plus avancés, l’EUV est nécessaire. La lithographie ultraviolette extrême permet aux fabricants de poursuivre la réduction de la taille des caractéristiques et des dispositifs, ce qui a défini les progrès dans la fabrication de semi-conducteurs depuis ses débuts.

Le rendement global du système est essentiellement fixe, de sorte que les efforts pour garantir le retour sur investissement doivent se concentrer sur l’optimisation de la disponibilité du système, la minimisation des coûts d’exploitation et la réduction de l’impact environnemental des processus de fabrication.

VIDÉO ET TRANSCRIPTION

David Engerran explore les défis de l’EUV HVM et la manière dont Edwards les résout.

Le défi du processus

Comprendre le défi du procédé du point de vue du vide et du traitement est un aspect clé pour optimiser la disponibilité des outils. L’éclairage EUV à longueur d’onde plus courte permet de créer des caractéristiques plus petites, mais rend également le système de lithographie beaucoup plus complexe. La lumière EUV est fortement absorbée par n’importe quelle matière et nécessite l’utilisation d’optiques réfléchissantes de précision et le confinement sous vide de l’ensemble du trajet du faisceau.

Pour s’assurer que ces composants optiques critiques restent exempts de contaminants, l’hydrogène est utilisé dans le procédé EUV pour réagir avec les matériaux du procédé, les retirer de l’équipement et les transporter vers le système de vide. C’est là que les systèmes de vide et de traitement sont nécessaires pour gérer ces débits élevés d’hydrogène, de manière sûre et efficace.

Comment Edwards résout-elle ces défis ?

L’art de l’innovation réside dans la recherche de moyens de garantir la sécurité du personnel de la Fab, de la communauté environnante et de l’environnement, tout en améliorant l’efficacité et en réduisant les coûts d’exploitation.

L’EUV utilise une quantité importante d’hydrogène, ce qui met l’accent sur la sécurité et l’environnement en raison de sa nature inflammable dans l’air. Les systèmes EUV d’Edwards utilisent des pompes à vide spécialement conçues pour le procédé EUV, avec des pièges intégrés pour capturer les composés réagi. L’ensemble du système comprend des capteurs de sécurité pour s’assurer qu’aucun mélange inflammable n’est présent dans le système. Traditionnellement, l’utilisation de systèmes de traitement à combustible a été utilisée pour brûler l’hydrogène en aval des pompes à vide, mais cette méthode nécessite beaucoup d’énergie et de ressources et nécessite une maintenance continue.

Notre nouvelle approche sans combustible s’éloigne du traitement par combustible et offre une dilution sûre de l’hydrogène à des niveaux nettement inférieurs à la plage inflammable. Tout en garantissant la sécurité à tout moment et en réduisant considérablement les besoins en énergie.

Heureusement, l’hydrogène lui-même n’a pas d’impact négatif sur l’environnement. Une fois que sa concentration est inférieure au niveau minimal d’inflammabilité, elle est assez sûre. La gestion de l’hydrogène sans carburant repose sur une compréhension approfondie des niveaux d’inflammabilité, des technologies de dilution et des normes de sécurité de l’industrie. L’opération critique est la dilution de l’hydrogène avec de l’air, une approche contre-intuitive. Cependant, en maintenant la voie critique, où le mélange est inflammable, très courte et soigneusement surveillée, le gaz est rapidement dilué à des concentrations non inflammables qui peuvent être transportées en toute sécurité à travers le Fab et libérées directement dans l’atmosphère.

La gestion de l’hydrogène sans carburant élimine le coût du carburant et les émissions de carbone d’une combustion contrôlée et le coût élevé de l’azote pour la dilution. Soutenu par des capacités de fabrication de pointe et une infrastructure de service mondiale, Edwards propose la solution EUV complète, tout en veillant à créer de la valeur environnementale et sociale, non seulement pour ses clients, mais aussi pour toutes les parties prenantes impliquées.

Soutenu par des capacités de fabrication de pointe et une infrastructure de service mondiale, Edwards propose la solution EUV complète tout en créant de la valeur environnementale et sociale, non seulement pour ses clients, mais pour toutes les parties prenantes.