Pompes cryogéniques IS On-Board

Technologie cryogénique innovante à hautes performances

Performances de vide et efficacité énergétique incomparables

 Un système de commande réparti breveté surveille et adapte en permanence les éléments individuels du système de pompe cryogénique pour obtenir des performances de vide optimales et une uniformité de procédé exceptionnelle. Les pompes cryogéniques IS On-Board assurent le temps d’utilisation le plus élevé, la meilleure productivité et les coûts de possession globaux les plus bas de tous les systèmes de pompe cryogénique disponibles actuellement. De plus, elles bénéficient du réseau international de maintenance et de support très réactif de Brooks.


Caractéristiques principales :

 
  • Système de commande réparti breveté surveillant et adaptant en permanence les éléments individuels du système de pompe cryogénique
  • Obtention de performances de vide optimales et d’une uniformité de procédé exceptionnelle
  • Régénérations les plus rapides dans des configurations à simple pompe ou à plusieurs pompes
  • Faible consommation d’énergie et d’eau de refroidissement sans transiger avec les performances de vide
  • Intégration aisée du système
  • Installation rapide de la production
  • Contrôle à distance amélioré à la fois pour l’entretien préventif et prédictif

Spécialement conçue pour répondre aux enjeux des procédés actuels d’implantation ionique, la pompe cryogénique IS 320FX On-Board® possède une vitesse et une capacité de pompage de l’hydrogène améliorées, tout en continuant de présenter les avantages bien connus de la pompe cryogénique IS 320FE On-Board® en matière de qualité, de performance et de fiabilité. 

  • Spécialement conçue pour des applications à implantation ionique
  • Optimisée pour le débit de l’outil
  • Technologie d’« auto-réglage » intelligente
  • Faibles coûts de possession
  • Augmentation du temps d’utilisation

 

La pompe cryogénique IS XP On-Board® permet, dans le cadre d’applications PVD, d’obtenir une productivité maximale tout en conservant la transparence des procédés. En parallèle, elle vous fait bénéficier de l’efficacité énergétique, des performances constantes et des coûts de possession que vous êtes en droit d’attendre d’une pompe IS On-Board®

  • Présente des capacités générales adaptables à de futures améliorations de procédé
  • Faibles coûts de possession
  • Temps d’utilisation accru
  • Technologie d’« auto-réglage » intelligente permettant des performances de vide constantes