Les systèmes de pompe cryogénique IS CTI-Cryogenics d’Edwards font entrer cette technologie innovante dans une nouvelle dimension en affichant des performances de vide et une efficacité énergétique incomparables.
Un système de commande réparti breveté surveille et adapte en permanence les éléments individuels du système de pompe cryogénique pour obtenir des performances de vide optimales et une uniformité de procédé exceptionnelle. Les pompes cryogéniques IS On-Board assurent le temps d’utilisation le plus élevé, la meilleure productivité et les coûts de possession globaux les plus bas de tous les systèmes de pompe cryogénique disponibles actuellement. De plus, elles bénéficient du réseau international de maintenance et de support très réactif de Brooks.
Spécialement conçue pour répondre aux enjeux des procédés actuels d’implantation ionique, la pompe cryogénique IS 320FX On-Board® possède une vitesse et une capacité de pompage de l’hydrogène améliorées, tout en continuant de présenter les avantages bien connus de la pompe cryogénique IS 320FE On-Board® en matière de qualité, de performance et de fiabilité.
La pompe cryogénique IS XP On-Board® permet, dans le cadre d’applications PVD, d’obtenir une productivité maximale tout en conservant la transparence des procédés. En parallèle, elle vous fait bénéficier de l’efficacité énergétique, des performances constantes et des coûts de possession que vous êtes en droit d’attendre d’une pompe IS On-Board®.
