Inlineventile für Vakuumsysteme

Einlass und Auslass auf einer Achse

Warum ein Inlineventil?

Bei Inlineventilen liegen Einlass und Auslass auf derselben Achse, sodass der Durchflusspfad bei geöffnetem Ventil gerade verläuft.

Inlineventile sind in verschiedenen Größen und Ausführungen erhältlich (z. B. manuell, magnetgesteuert oder pneumatisch), die von Ihrem Systemdesign und den für die Maschine verfügbaren Einrichtungen bestimmt werden.  

Die Wahl zwischen Winkel- und Inlineventil ist abhängig von den spezifischen Anforderungen des Vakuumsystems und dem verfügbaren Einbauraum.

IBV ISO-KF – Kugelventil

Kugelventile eignen sich für Anwendungen, bei denen schnelles Handeln und Pumpen mit vollem Durchgang gefragt sind. Die Ventile der IBV-Serie vereinen diese praktischen Alltagsmerkmale mit Benutzerfreundlichkeit und Wirtschaftlichkeit in einer hochwertigen Konstruktion. Sie werden aus 316L-Edelstahl mit PTFE-Sitzen hergestellt und bieten robuste Leistung bei verschiedensten Vakuumeinsätzen.

Niedrige Anschaffungskosten
Praktische Größen NW16, NW25, NW40, NW50
Optionale BSP-Ausführungen mit Gewinde
Einfacher manueller Betrieb
Hohe Leitfähigkeit mit vollem Durchgang

Speedivalves

SP Speedivalves sind Inline-Absperrventile mit Membranabdichtung. Die Konstruktion besteht im Wesentlichen aus einer flexiblen Elastomermembran, die durch einen Gewindemechanismus gegen einen leicht polierten Sitz abgedichtet ist. Der Mechanismus wird durch die Membran vom System isoliert, wodurch das Ventil extrem robust und schmutztolerant ist.

Das Ventil hat NW-Flansche und kann leitungsgebunden eingebaut oder plattenmontiert werden.

(SP40K: nur leitungsgebundener Einbau)

Einfache Bedienung mit Anzeige des Öffnungszustands (SP10K bis SP25K)
Leckdichtheit bis mindestens 10^‑6 mbar ls^‑1/8 x 10^‑7 Torr ls^‑1
Membran isoliert Mechanismus vollständig vom Vakuumsystem
Extrem robust und schmutztolerant
Geeignet für 9 bar Überdruck (SP10K bis SP40K bar, mit Co-Seal-Abdichtung)

IPVMK – Inline-Absperrventile für manuellen Betrieb

Das IPVMK ist ein schnell ansprechendes, hebelbetätigtes Faltenbalg-Winkelventil mit Aluminium- oder Edelstahlgehäuse. Der Hebel ist mit einem selbstschmierenden Kunststoff-Nockenkolben verbunden. Er betätigt den Ventilschaft und die Ventilplatte über PTFE-Lager. Die O-Ring-Nut in der Ventilplatte wird entlüftet, um Gasausstoß zu verhindern. Die Ventile sind für den Betrieb bei bis zu 10^{‑ 9} mbar/8 x 10^‑10 Torr und bis zu 2.100 mbar/1.575 Torr (30 psi) Druck ausgelegt.

Einfache Handhabung
Faltenbalgmechanismus
Hohe Leitfähigkeit

IPVPL – pneumatische Inline-Absperrventile

Die einfachwirkenden Inline-Zylinder mit Federrückstellung in der IPVPK-Serie sind für die Hochgeschwindigkeitsbetätigung von Standard-Pneumatikleitungen ausgelegt und werden in NW16, 25, 40 und 50 angeboten. Sie haben ein Aluminium- oder Edelstahlgehäuse mit O-Ring (Wellendichtung, nur Aluminium) oder mit Faltenbalg.

Die Ventile sind für eine lange Lebensdauer ausgelegt: Die mittlere Betriebsdauer zwischen Ausfällen (MTTF) beträgt 5.000.000 Zyklen bei den Ausführungen mit Faltenbalg und O-Ring und ermöglicht lange Wartungsintervalle.

Elektrische und visuelle Anzeige des Ventilzustands
Schnell ansprechend – 20 ms Schließzeit (PV16)
Aluminium oder Edelstahl
Wellenabdichtung wahlweise mit Faltenbalg oder O-Ring beim Aluminiumgehäuse

IPVEK – Inline-Absperrventile mit Magnetsteuerung

Die Ventile der IPVEK-Serie sind kompakte, leichte elektromagnetische Vakuumventile für den Einsatz in Vakuum-Rohrsystemen mit bis zu 1 x 10^‑9 mbar. Eine doppelt gewickelte Spule in Kombination mit einem elektronischen Schaltkreis sorgt für niedrigen Energieverbrauch, niedrige Betriebstemperaturen und eine längere Lebensdauer.

Die magnetgesteuerten Inline-Faltenbalgventile der IPVEK-Serie haben ein Aluminiumgehäuse (A) oder ein Edelstahlgehäuse (S) mit einer mittleren Gesamtbetriebsdauer zwischen Ausfällen (MTTF) von bis zu 500.000 Zyklen.

Transiente hohe Leistung beim Öffnen – elektronisch geschaltet
Niedriger Energieverbrauch beim Offenhalten
Schutzart IP55
Fettfreies Vakuum
Mittlere Betriebsdauer zwischen Ausfällen (MTTF): bis zu 500.000 Zyklen

SIPVP – Softstart-Absperrventile

Pneumatisch betriebene Softstart-Inlineventile mit austauschbaren Blenden für das kontrollierte Abpumpen in Prozessen, bei denen turbulenter Durchfluss zu Problemen mit Partikelverunreinigung führen kann. Die Kombination aus Slave- und Masterventil ermöglicht langsames Anfangspumpen, um Störungen zu minimieren. Das Slave- und das Masterventil benötigen separate pneumatische Anschlüsse.

Mittlere Betriebsdauer zwischen Ausfällen (MTTF): 5.000.000 Zyklen
Prozessangepasstes kontrolliertes Abpumpen
Aluminiumgehäuse
Schnell ansprechende Ventile bei Stromausfall
Mit austauschbaren Blenden in 5 mm, 6 mm und 7 mm

Wie funktionieren Softstart-Absperrventile der SIPVP-Serie?

Bei geöffnetem Slaveventil strömt das Gas mit niedriger Geschwindigkeit zwischen den beiden Ventilseiten durch austauschbare Blenden, wodurch langsames Pumpen ermöglicht wird. Sobald der eingestellte Solldruck erreicht wurde, wird das Masterventil über ein vom Benutzer bereitgestelltes Signal geöffnet, das Pumpen mit vollem Durchgang ermöglicht.

Die Faltenbalgventile arbeiten einfachwirkend mit pneumatischem Öffnen und federbetätigtem Schließen. Sie werden mit drei austauschbaren Blenden geliefert, damit Sie die Pumpeigenschaften an Ihren Prozess anpassen können. Zur Anzeige des Ventilzustands ist standardmäßig ein Mikroschalter im Lieferumfang enthalten.

Ventil und Mikroschalter können auf 100 ˚C erwärmt werden, um die Entgasung zu beschleunigen und zu verhindern, dass Prozessgase im Inneren des Ventils kondensieren.

Anwendungen für SIVP-Ventile

Obwohl das Ventil hauptsächlich für die Halbleiterindustrie entwickelt wurde, kann es auch in anderen Anwendungen, die kontrolliertes Abpumpen erfordern, verwendet werden.