Speedivalve - Datasheet
真空系統的直列式閥
入口和出口對齊
為何選擇直列式閥？
直列式閥的入口和出口沿著同軸對齊，這表示當閥位於開啟位置時，流量路徑會保持筆直。
直列式閥有多種尺寸與設計，包括手動、電磁圈或氣動式，這些會由您的系統設計和機器可用的設施決定。
角閥與直列式閥的選擇取決於真空系統的特定需求，以及安裝時的可用空間。
IBV ISO-KF 球閥
球閥在需要快速動作和全量式抽氣的應用中非常受歡迎。我們的 IBV 系列閥門在高規格設計中結合了這些實用的日常功能，以及易用性和經濟性。採用 316L 不鏽鋼製造，PTFE 座椅能在各種真空作業中提供堅實性能。
- 低資本
- 便利的 NW16、NW25、NW40、NW50 尺寸
- 選配 BSP 螺紋版本
- 簡單易用的手動操作
- 高氣導全量式抽氣
Speedivalve
SP Speedivalve 是隔膜密封的直列隔離閥。此構造基本上包含彈性體隔膜，以螺紋機構密封在微拋光座椅上。此機制透過隔膜與系統隔離，進而形成一個極其堅固且可耐受「髒污」系統的閥門。
閥門終止於 NW 法蘭，並可支撐管線或安裝面板。
(僅支援 SP40K 管線)
- 方便操作，可目視指示閥開啟 (SP10K 至 SP25K)
- 密封性優於 10‑6 mbar ls‑1 / 8 x 10‑7 Torr ls‑1
- 隔膜將機構與真空系統完全隔離
- 極其堅固且可耐受「髒污」系統
- 可承受 9 巴過壓 (SP10K 至 SP40K，配有共同密封件)
IPVMK 手動操作直列式隔離閥
IPVMK 是快速作動、波紋管式密封的直角槓桿閥，可選配鋁製或不鏽鋼本體。連接至自動潤滑塑膠凸輪‑活塞的操縱桿，可透過 PTFE 軸承致動閥桿和閥板。閥板 O 形環溝槽設有排氣孔，可防止氣體暴衝。這些閥的設計可向下操作至 10‑ 9 mbar/ 8 x 10‑10 Torr，最高可達 2100 mbar/1575 Torr (30 psi) 的壓力。
- 使用簡易
- 波紋管式密封機構
- 高氣導率
IPVPL 氣動操作直列式隔離閥
IPVPK 系列的直列式單動汽缸彈簧復位管線閥，專為從標準氣動管線進行高速致動而設計，提供 NW16、25、40 和 50 的尺寸。其可選配鋁製或不鏽鋼本體，以及 O 形環 (僅限軸封、鋁製) 或波紋管式密封。
這些閥門專為長壽命工作而設計，波紋管和 O 形環密封版本的 MTTF 為 5,000,000 個週期，可提供較長的維修間隔。
- 閥門狀態的電子與視覺指示
- 快速作動 – 20 毫秒關閉 (PV16)
- 提供鋁製或不鏽鋼材質
- 可選擇含鋁本體的波紋管或 O 形環軸密封
IPVEK 電磁圈操作直列式隔離閥
IPVEK 系列的閥門體積精巧，輕量的電磁真空閥，適合低至 1 x 10‑9 mbar 的真空管線系統使用。雙繞組線圈結合電子交換電路，可確保低能耗、低操作溫度與延長運轉壽命。
波紋管式密封、IPVEK 電磁圈操作直列式閥可選配鋁製 (A) 或不鏽鋼 (S) 本體，整體 MTTF 最高達 500,000 個週期。
- 瞬變高功率開啟 – 電子交換
- 「保持開啟」位置能耗低
- 外殼防護等級達 IP55
- 無潤滑脂真空
- MTTF 最高 500000 個週期
SIPVP 軟啟動隔離閥
軟啟動、氣動操作、具有可互換孔口的直列式閥，用於在紊流可能導致顆粒污染問題中控制製程抽真空。從閥和主閥組合允許緩慢的初始抽氣，以將干擾降至最低。從閥和主閥都需要單獨的氣動連接。
- 5,000,000 個週期的 MTTF
- 受控抽真空以配合製程
- 鋁製本體
- 電源故障時快速作動閥門
- 提供 5 公釐、6 公釐和 7 公釐可互換孔口
SIPVP 軟啟動隔離閥如何運作？
當從屬閥打開時，氣體通過可互換孔口在閥的兩側之間以低速率流動，允許緩慢抽氣。達到使用者指定的預定壓力等級後，主閥會透過使用者提供的訊號開啟，以進行全量式抽氣。
波紋管式密封閥可透過氣動開啟和彈簧閉合進行單次作動。它們配有三個可互換的孔口，使抽氣特性能夠與您的製程配對。標準配備微型開關以指示閥門狀態。
閥門和微型開關都可以烘烤至 100˚C，藉此加速排氣，並防止製程氣體在閥內凝結。
適用於 SIVP 閥的應用
此閥設計主要用於半導體產業，也可用於其他需要受控抽真空的應用。
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