Zawory liniowe do systemów próżniowych

Wlot i wylot wyrównane

Speedivalve ISO-KF

Dlaczego warto wybrać zawór liniowy?

Zawory liniowe mają wlot i wylot wyrównane wzdłuż tej samej osi, co oznacza, że droga przepływu pozostaje prosta, gdy zawór jest w pozycji otwartej. 

Zawory liniowe są dostępne w różnych rozmiarach i konstrukcjach, w tym ręczne, elektromagnetyczne lub pneumatyczne, co zależy od konstrukcji systemu i dostępnych urządzeń maszyny.  

Wybór pomiędzy zaworami kątowymi i liniowymi zależy od konkretnych wymagań systemu próżniowego i dostępnej przestrzeni montażowej. 

Zawór kulowy IBV ISO-KF

Zawory kulowe są popularne w zastosowaniach, w których wymagane jest szybkie działanie i przepompowywanie pełnej średnicy. Nasze zawory serii IBV łączą w sobie te praktyczne cechy codziennego użytku z łatwością obsługi i oszczędnością w konstrukcji o wysokiej specyfikacji. Wykonane ze stali nierdzewnej 316L z gniazdami z PTFE zapewniają solidne działanie w szerokim zakresie zastosowań próżniowych.

  • Niskie koszty inwestycji
  • Wygodne rozmiary NW16, NW25, NW40, NW50
  • Opcjonalne wersje gwintowane BSP
  • Łatwa obsługa ręczna
  • Pompowanie z pełnym otworem o wysokiej przewodności
IBV
SP10K

Zawory Speedivalves

Zawory SP Speedi to membranowe zawory odcinające z uszczelnieniem liniowym. Konstrukcja składa się głównie z elastycznej membrany elastomerowej, która jest uszczelniona na lekko polerowanym gnieździe za pomocą mechanizmu gwintowanego. Mechanizm jest odizolowany od systemu przez membranę, co sprawia, że zawór jest niezwykle wytrzymały i „brudny”.

Zawór kończy się w kołnierzach NW i może być montowany na rurociągu lub panelu.

(SP40K obsługuje tylko rurociągi)

  • Łatwa obsługa z wizualnym wskazaniem otwarcia zaworu (od SP10K do SP25K)
  • Szczelność wyższa niż 10-6 mbar ls -1 / 8 x 10-7 Torr ls -1
  • Membrana całkowicie oddziela mechanizm od systemu próżniowego
  • Niezwykle wytrzymały i odporny na „brudny” system
  • Wytrzymuje nadciśnienie 9 barów (od SP10K do SP40K, z uszczelnieniem Co-Seal)

Ręczne zawory odcinające IPVMK

IPVMK to szybko działający, mieszkowy, kątowy zawór dźwigniowy, dostępny z korpusem aluminiowym lub ze stali nierdzewnej. Dźwignia, połączona z samosmarującym plastikowym tłokiem krzywkowym, uruchamia trzonek zaworu i płytkę zaworu poprzez łożyska PTFE. Rowek o-ringu płytki zaworu jest odpowietrzany, aby zapobiec wybuchom gazu. Zawory są przeznaczone do pracy przy ciśnieniu do 10 - 9 mbar / 8 x 10 -10 Torr i do 2100 mbar / 1575 Torr (30 psi). 

  • Łatwy sposób użycia
  • Mechanizm mieszkowy
  • Wysoka przewodność
IPV16MKA
IPV16PKA

Pneumatyczne zawory odcinające IPVPL

Rodzina jednostronnie działających siłowników liniowych IPVPK ze sprężynowym zaworem powrotnym została zaprojektowana z myślą o szybkim uruchamianiu ze standardowych przewodów pneumatycznych i jest dostępna w rozmiarach NW16, 25, 40 i 50. Są one dostępne z korpusami z aluminium lub stali nierdzewnej z pierścieniem O-ring (uszczelnienie wału, tylko aluminium) lub uszczelnieniem mieszkowym.

Zawory zostały zaprojektowane z myślą o długiej żywotności, z MTTF wynoszącym 5 000 000 cykli zarówno dla wersji mieszkowej, jak i uszczelnionej pierścieniem O-ring, zapewniając długie okresy międzyserwisowe.

  • Elektryczne i wizualne wskazanie stanu zaworu
  • Szybkie działanie - 20 ms do zamknięcia (PV16)
  • Dostępne w wersji z aluminium lub stali nierdzewnej
  • Wybór uszczelnienia wału z uszczelką mieszkową lub o-ringiem z korpusami aluminiowymi

Zawory odcinające liniowe IPVEK sterowane elektromagnesem

Zawory serii IPVEK to kompaktowe, lekkie elektromagnetyczne zawory próżniowe nadające się do stosowania w rurociągach próżniowych o ciśnieniu do 1 x 10 -9 mbar. Cewka z podwójnym uzwojeniem w połączeniu z elektronicznym obwodem przełączającym zapewnia niskie zużycie energii, niskie temperatury robocze i dłuższą żywotność.

Zawory liniowe IPVEK sterowane elektromagnesem są dostępne z korpusami aluminiowymi (A) lub ze stali nierdzewnej (S), z całkowitym MTTF do 500 000 cykli.

  • Przejściowa wysoka moc otwierania - przełączana elektronicznie
  • Niskie zużycie energii w położeniu podtrzymania otwarcia
  • Stopień ochrony obudowy IP55
  • Próżnia beztłuszczowa
  • MTTF do 500 000 cykli
IPV16EKA
SIPVP

Zawory odcinające łagodnego rozruchu SIPVP

Płynny rozruch, sterowane pneumatycznie zawory liniowe z wymiennymi dyszami do kontrolowanego odpompowywania w procesach, w których turbulentny przepływ może powodować problemy z zanieczyszczeniem cząstkami stałymi. Połączenie zaworu podrzędnego i nadrzędnego umożliwia powolne pompowanie początkowe w celu zminimalizowania zakłóceń. Zarówno zawory podrzędne, jak i nadrzędne wymagają oddzielnych połączeń pneumatycznych.

  • MTTF 5 000 000 cykli
  • Sterowane odpompowywanie w celu dopasowania do procesu
  • Korpusy aluminiowe
  • Szybko działające zawory w przypadku awarii zasilania
  • Dostarczane z wymiennymi dyszami 5 mm, 6 mm i 7 mm

Jak działają zawory odcinające płynnego rozruchu SIPVP?

Gdy zawór podrzędny jest otwarty, gaz przepływa z niską prędkością między dwiema stronami zaworu przez wymienne otwory, umożliwiając powolne pompowanie. Po osiągnięciu określonego przez użytkownika poziomu ciśnienia zawór główny jest otwierany za pomocą sygnału dostarczonego przez użytkownika, umożliwiając pompowanie pełnej średnicy.

Zawory z uszczelnieniem mieszkowym są jednostronnego działania z otwieraniem pneumatycznym i zamykaniem sprężynowym. Są one dostarczane z trzema wymiennymi dyszami, aby umożliwić dostosowanie charakterystyki pompowania do procesu. Standardowo dostarczany jest mikroprzełącznik wskazujący stan zaworu.

Zarówno zawór, jak i mikroprzełącznik można wypiec do 100 ̊C, aby przyspieszyć odgazowywanie i zapobiec skraplaniu się gazów procesowych wewnątrz zaworu.

Odpowiednie zastosowania zaworów SIVP

Chociaż zawór został zaprojektowany głównie dla przemysłu półprzewodnikowego, może być również używany w innych zastosowaniach wymagających kontrolowanego odpompowywania.

Pracownicy Edwards stojący na korytarzu z uśmiechem
USŁUGI SERWISOWE

Dowiedz się więcej o naszej ofercie rozwiązań serwisowych