Edwards CTI-Cryogenics IS Kryopumpensysteme bedienen sich innovativer, hocheffizienter Technologien, um unvergleichliche Vakuumleistung und Energieeffizienz zu erreichen.
Ein patentiertes Prozesssteuersystem überwacht und stellt einzelne Elemente des Kryopumpensystems ständig nach, um optimale systemweite Vakuumleistung für eine außergewöhnliche Prozesskonsistenz zu gewährleisten. On-Board IS-Kryopumpen bieten höchste Verfügbarkeit, beste Produktivität und die niedrigsten Gesamtbetriebskosten aller heute verfügbaren Kryopumpensysteme. Außerdem verfügen sie über ein schnell reagierendes globales Service- und Supportnetzwerk von Brooks.
Die integrierbare On-Board® IS 320FX-Kryopumpe wurde speziell für die Herausforderungen der zeitgemäßen Ionen-Implantation-Prozesse entwickelt. Sie verfügt über verbessertes Wasserstoffsaugvermögen und -kapazität, ohne Abstriche bei Qualität, Leistung und Zuverlässigkeit zu machen: Eigenschaften, die sie schon von der On-Board® IS 320FE-Kryopumpe kennen.
Die On-Board® IS XP-Kryopumpe liefert höhere Kapazitäten für PVD-Anwendungen, um maximale Produktivität zu erreichen und dabei die Prozesstransparenz aufrecht zu erhalten. Gleichzeitig arbeitet sie mit der bewährten Energieeffizienz, konstanter Leistung und verursacht nur geringe Betriebskosten, wie Sie das von On-Board® IS-Pumpen gewohnt sind.
