Die Kryopumpensysteme Edwards CTI-Cryogenics IS bedienen sich innovativer, hocheffizienter Technologien, um unvergleichliche Vakuumleistung und Energieeffizienz zu erreichen.
Ein patentiertes verteiltes Steuersystem überwacht und stellt einzelne Elemente des Kryopumpensystems ständig nach, um optimale systemweite Vakuumleistung für eine außergewöhnliche Prozesskonsistenz zu gewährleisten. On-board IS-Kryopumpen bieten höchste Verfügbarkeit, beste Produktivität und die niedrigsten Gesamtbetriebskosten aller heute verfügbaren Kryopumpensysteme. Außerdem verfügen sie über ein schnell reagierendes globales Service- und Supportnetzwerk von Edwards.
Die Kryopumpe On-Board® IS 320FX wurde speziell für die Herausforderungen der heutigen Ionen-Implantationsprozesse entwickelt. Sie bietet eine verbesserte Geschwindigkeit und Kapazität beim Pumpen von Wasserstoff und liefert dabei die Qualität, Leistung und Zuverlässigkeit, die Sie erwarten.
Die Kryopumpe On-Board® IS XP-bietet eine höhere Kapazität für PVD-Anwendungen, um maximale Produktivität bei gleichzeitiger Beibehaltung der Prozesstransparenz zu erreichen. Gleichzeitig bietet sie die bewährte Energieeffizienz, konsistente Leistung und niedrigen Betriebskosten, die Sie von der On-Board® IS erwarten.
