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On-board IS-Kryopumpen von Edwards

On-board IS-Kryopumpen

Innovative Kryotechnologie sorgt für hohe Effizienz

Unvergleichliche Vakuumleistung und Energieeffizienz

Ein patentiertes verteiltes Steuersystem überwacht und stellt einzelne Elemente des Kryopumpensystems ständig nach, um optimale systemweite Vakuumleistung für eine außergewöhnliche Prozesskonsistenz zu gewährleisten. On-board IS-Kryopumpen bieten höchste Verfügbarkeit, beste Produktivität und die niedrigsten Gesamtbetriebskosten aller heute verfügbaren Kryopumpensysteme. Außerdem verfügen sie über ein schnell reagierendes globales Service- und Supportnetzwerk von Edwards.

 

Merkmale

  • Das patentierte verteile Steuersystem überwacht und stellt einzelne Elemente des Kryopumpensystems ständig nach
  • Hält optimale systemweite Vakuumleistung aufrecht, sorgt für außergewöhnliche Prozesskonsistenz
  • Schnellste Regenerationsraten in Einzel- und Mehrpumpenkonfigurationen
  • Geringer Energie- und Kühlwasserverbrauch ohne Kompromisse bei der Vakuumleistung
  • Einfache Systemintegration
  • Schnelle Installation in der Produktion
  • Verbesserte Fernüberwachung für vorbeugende und vorausschauende Wartung
 

Die Kryopumpe On-Board® IS 320FX wurde speziell für die Herausforderungen der heutigen Ionen-Implantationsprozesse entwickelt. Sie bietet eine verbesserte Geschwindigkeit und Kapazität beim Pumpen von Wasserstoff und liefert dabei die Qualität, Leistung und Zuverlässigkeit, die Sie erwarten. 

  • Speziell für Ionen-Implantationsanwendungen entwickelt
  • Optimiert für den Tool-Durchsatz
  • Intelligente „selbstanpassende“ Technologie
  • Niedrige Gesamtbetriebskosten
  • Höhere Betriebszeit

 

Die Kryopumpe On-Board® IS XP-bietet eine höhere Kapazität für PVD-Anwendungen, um maximale Produktivität bei gleichzeitiger Beibehaltung der Prozesstransparenz zu erreichen. Gleichzeitig bietet sie die bewährte Energieeffizienz, konsistente Leistung und niedrigen Betriebskosten, die Sie von der On-Board® IS erwarten. 

  • Verfügt über Kapazitätsreserven für zukünftige Prozessverbesserungen
  • Niedrige Gesamtbetriebskosten
  • Höhere Betriebszeit
  • Intelligente „selbstanpassende“ Technologie für konsistente Vakuumleistung

 

Weitere Kryopumpen aus der Edwards CTI-Cryogenics-Reihe