Integrierte IS-Kryopumpen

Innovative Kryotechnologie sorgt für hohe Effizienz

Unvergleichliche Vakuumleistung und Energieeffizienz

 Ein patentiertes Prozesssteuersystem überwacht und stellt einzelne Elemente des Kryopumpensystems ständig nach, um optimale systemweite Vakuumleistung für eine außergewöhnliche Prozesskonsistenz zu gewährleisten. On-Board IS-Kryopumpen bieten höchste Verfügbarkeit, beste Produktivität und die niedrigsten Gesamtbetriebskosten aller heute verfügbaren Kryopumpensysteme. Außerdem verfügen sie über ein schnell reagierendes globales Service- und Supportnetzwerk von Brooks.


Wichtigste Leistungsmerkmale

 
  • Das patentierte Prozesssteuersystem überwacht und stellt einzelne Elemente des Kryopumpensystems ständig nach
  • Hält optimale systemweite Vakuumleistung aufrecht, sorgt für außergewöhnliche Prozesskonsistenz
  • Schnellste Regenerationsraten in Einzel- und Mehrpumpenkonfigurationen
  • Geringer Energie- und Kühlwasserverbrauch ohne Kompromisse bei der Vakuumleistung
  • Einfache Systemintegration
  • Schnelle Installation in der Produktion
  • Verbesserte Fernüberwachung für vorbeugende und vorausschauende Wartung

Die integrierbare On-Board® IS 320FX-Kryopumpe wurde speziell für die Herausforderungen der zeitgemäßen Ionen-Implantation-Prozesse entwickelt. Sie verfügt über verbessertes Wasserstoffsaugvermögen und -kapazität, ohne Abstriche bei Qualität, Leistung und Zuverlässigkeit zu machen: Eigenschaften, die sie schon von der On-Board® IS 320FE-Kryopumpe kennen. 

  • Speziell für Ionen-Implantationsanwendungen entwickelt
  • Optimiert für Werkzeugdurchsatz
  • Intelligente „selbstanpassende“ Technologie
  • Niedrigere Betriebskosten
  • Längere Betriebszeiten

 

Die On-Board® IS XP-Kryopumpe liefert höhere Kapazitäten für PVD-Anwendungen, um maximale Produktivität zu erreichen und dabei die Prozesstransparenz aufrecht zu erhalten. Gleichzeitig arbeitet sie mit der bewährten Energieeffizienz, konstanter Leistung und verursacht nur geringe Betriebskosten, wie Sie das von On-Board® IS-Pumpen gewohnt sind. 

  • Verfügt über Kapazitätsreserven für zukünftige Prozessverbesserungen
  • Geringere Betriebskosten
  • Längere Betriebszeiten
  • Intelligente „selbstanpassende“ Technologie für einheitliche Vakuumleistung