Lebih hijau dan lebih boleh dipercayai dengan kos pemilikan yang lebih rendah
Rangkaian pam kering inovatif kami membawa teknologi terkini yang direka untuk meningkatkan persekitaran pembuatan semikonduktor dan elektronik anda.
Setiap julat telah direka khusus untuk memberikan kelebihan dalam prestasi alam sekitar, kebolehpercayaan dalam keadaan yang sukar dan kelincahan dalam aplikasi beban ringan.
- iXM siri – penggunaan tenaga rendah, prestasi tinggi
- iXH siri untuk persekitaran yang keras
- iXL siri untuk aplikasi beban ringan
Pam kering siri tenaga rendah Edwards iXM dapat membawa peningkatan proses yang sebenar dengan masa operasi yang lebih tinggi, impak alam sekitar yang dikurangkan dan manfaat kos untuk aplikasi kritikal anda.
- Mekanisme akar yang cekap tenaga dapat mengurangkan kuasa input sehingga 60%, mengurangkan impak terhadap alam sekitar dan menurunkan kos pemilikan.
- Teknologi penghalang gas dan penambahbaikan reka bentuk terma membolehkan ketahanan terhadap kakisan 4x lebih tinggi berbanding siri kami yang sebelumnya.
- Ciri-ciri pengendalian serbuk yang canggih memberikan kebolehpercayaan maksimum dan jangka hayat pam yang lebih lama untuk proses etsa berlapis banyak.
- Pengurangan penggunaan tenaga untuk proses CVD
- Reka bentuk yang padat dan ringan, digabungkan dengan bunyi dan getaran yang sangat rendah, memberikan anda lebih banyak kesesuaian.
- J series iXM tersedia dengan teknologi XCEDE untuk ketahanan terhadap kakisan yang lebih baik.
Jajaran pam kering iXH menetapkan piawaian baru untuk keupayaan proses yang keras, kebolehpercayaan dan kos pemilikan yang lebih rendah.
- Julat suhu yang luas membolehkan anda mengoptimumkan pam untuk pengumpulan produk sampingan yang minimum daripada pemeluwapan dan pelapisan.
- Pam kering iXH Mk2 memberikan jangka hayat yang lebih lama dalam proses yang paling keras dan dapat memberikan peningkatan yang ketara dalam kecekapan tenaga.
- Teknologi penyegel pam yang inovatif dapat memanjangkan jangka hayat proses dan mengurangkan risiko kebocoran anda.
- Tersedia dengan teknologi XCEDE untuk ketahanan terhadap kakisan yang lebih baik.
Seri iXL adalah rangkaian pam kering kompak berkecekapan rendah untuk aplikasi beban ringan seperti pengendalian wafer, PVD, dan metrologi.
- Pam ruang cepat dan penggunaan kuasa yang sangat rendah
- Pam kering iXL600(N) dan iXL1000(N) adalah antara pam terkecil dan paling senyap yang tersedia untuk aplikasi beban ringan.
- Varian iXL600M dan iXL1000M telah diproses dengan ketahanan tinggi dan direka khas untuk pengukiran dielektrik (oksida) dan aplikasi serupa yang lain.
- Pam kering iXL600(N) dan iXL1000(N) menawarkan kelajuan pam yang tinggi dan penggunaan tenaga yang rendah.
- iXL900R adalah pam loadlock terpantas yang tersedia dalam kelasnya untuk aplikasi loadlock FPD. Pelanggan dapat mengurangkan kos operasi dan masa pemasangan mereka dengan ketara menggunakan pam baru ini, yang sangat sesuai untuk bilik loadlock terbesar yang digunakan untuk aplikasi pemendapan wap plasma (PVD). Selain itu, pelanggan akan memerlukan lebih sedikit pam bagi setiap ruang kunci beban, yang mengurangkan masa pemasangan, kos sistemisasi, penyelenggaraan dan penggunaan utiliti.
- Mod Hijau membolehkan penggunaan utiliti yang dikurangkan semasa tempoh tidak aktif, mengurangkan kos dan membantu meningkatkan prestasi alam sekitar anda.