Groener en betrouwbaarder met lagere eigendomskosten
Ons innovatieve assortiment droge pompen biedt u geavanceerde technologie die is ontworpen om uw productieomgeving voor halfgeleiders en elektronica te verbeteren.
Elk assortiment is speciaal ontworpen om voordelen te bieden op het gebied van milieuprestaties, betrouwbaarheid in zware omstandigheden en wendbaarheid in lichte toepassingen.
- iXM-serie – laag energieverbruik, hoge prestaties
- iXH-serie voor zware werkomgevingen
- iXL-serie voor lichte toepassingen
De iXM-serie droge pompen met laag energieverbruik van Edwards kan echte procesverbeteringen opleveren met een hogere bedrijfstijd, een lagere milieu-impact en kostenvoordelen voor uw meest kritische toepassingen.
- Het energiezuinige wortelmechanisme kan het ingangsvermogen tot 60% verminderen, waardoor de impact op het milieu en de eigendomskosten worden verlaagd
- Verbeteringen aan de gasbarrièretechnologie en het thermische ontwerp maken een 4x betere corrosiebestendigheid mogelijk dan onze vorige serie
- Geavanceerde poederverwerkingsfuncties zorgen voor maximale betrouwbaarheid en een langere levensduur van de pomp voor meerlaagse etsprocessen
- Lager stroomverbruik voor CVD-processen
- Het compacte en lichte ontwerp, in combinatie met een uitzonderlijk laag geluidsniveau en lage trillingen, biedt u meer veelzijdigheid
- De iXM-serie is verkrijgbaar met XCEDE-technologie voor een verbeterde corrosiebestendigheid.
De iXH-serie droge pompen stelt nieuwe normen voor de capaciteit van zware processen, betrouwbaarheid en lagere eigendomskosten.
- Met het brede temperatuurbereik kunt u de pomp optimaliseren voor minimale ophoping van bijproducten door condensatie en plating
- iXH Mk2-drooglopende pompen bieden een nog langere levensduur bij de zwaarste processen en kunnen aanzienlijke verbeteringen in energie-efficiëntie opleveren
- Innovatieve pompafdichtingstechnologie kan de levensduur van het proces verlengen en het risico op lekkage verminderen
- Verkrijgbaar met XCEDE-technologie voor verbeterde corrosiebestendigheid.
De iXL-serie is een reeks compacte droge pompen met laag energieverbruik voor lichte toepassingen zoals wafer handling, PVD en metrologie.
- Snel afpompen van de kamer en extreem laag energieverbruik
- De iXL600(N) en iXL1000(N) drooglopende pompen behoren tot de kleinste en stilste pompen die beschikbaar zijn voor lichte toepassingen
- De iXL600M- en iXL1000M-varianten zijn procesgehard en speciaal ontworpen voor diëlektrisch (oxide) etsen en andere soortgelijke toepassingen
- De iXL600(N) en iXL1000(N) droge pompen hebben een hoge pompsnelheid en een laag energieverbruik
- De iXL900R is de snelste loadlockpomp die momenteel in zijn klasse verkrijgbaar is voor FPD-loadlocktoepassingen. Klanten kunnen hun bedrijfskosten en installatietijden aanzienlijk verlagen met deze nieuwe pomp, die bijzonder geschikt is voor de grootste loadlockkamers die worden gebruikt voor plasmadampafzettingstoepassingen (PVD). Bovendien hebben klanten minder pompen per sluiskamer nodig, wat de installatietijd, de systemisatiekosten, het onderhoud en het verbruik van nutsvoorzieningen verlaagt.
- Een Green Mode maakt een lager gebruik van nutsvoorzieningen tijdens stilstand mogelijk, waardoor de kosten dalen en de milieuprestaties worden verbeterd