Grönare och mer tillförlitlig med lägre ägandekostnad
Vårt innovativa sortiment av torrpumpar ger dig toppmodern teknik utformad för att förbättra din halvledar- och elektroniktillverkningsmiljö.
Varje serie har utformats specifikt för att ge fördelar när det gäller miljöprestanda, tillförlitlighet, driftsäkerhet och smidighet i lätta tillämpningar.
- iXM-serien – låg energiförbrukning, hög prestanda
- iXH-serien för krävande miljöer
- iXL-serien för lätta tillämpningar
Edwards torrpumpar i iXM-serien med lågenergipumpar kan ge verkliga processförbättringar med ökad drifttid, minskad miljöpåverkan och kostnadsfördelar för dina mest kritiska tillämpningar.
- Energieffektiv rotmekanism kan minska ineffekten med upp till 60 %, vilket minskar miljöpåverkan och sänker ägandekostnaden
- Förbättringar av gasbarriärteknik och termisk design möjliggör 4 gånger högre korrosionsbeständighet än vår tidigare serie
- Avancerade pulverhanteringsfunktioner ger maximal tillförlitlighet, driftsäkerhet och längre livslängd för flerskikts etsningsprocesser
- Minskad strömförbrukning för CVD-processer
- Kompakt och lätt design i kombination med exceptionellt lågt buller och låga vibrationer ger dig större mångsidighet
- iXM-serien finns med XCEDE-teknik för förbättrad korrosionsbeständighet.
Torrpumpsserien iXH sätter nya standarder för tuffa processer, tillförlitlighet, driftsäkerhet och lägre ägandekostnader.
- Brett temperaturområde gör att du kan optimera pumpen för minimal ansamling av biprodukter från kondensering och beläggning
- Torrpumparna iXH Mk2 ger ännu längre livslängd i de tuffaste processerna och kan ge betydande förbättringar av energieffektiviteten
- Innovativ pumptätningsteknik kan förlänga processens livslängd och minska risken för läckage
- Finns med XCEDE-teknik för förbättrad korrosionsbeständighet.
iXL-serien är en serie kompakta torrpumpar med låg energiförbrukning för lätta tillämpningar som waferhantering, PVD och metrologi.
- Snabb nedpumpning av kammaren och extremt låg energiförbrukning
- Torrpumparna iXL600(N) och iXL1000(N) är bland de minsta och tystaste pumparna som finns för lätta tillämpningar
- iXL600M- och iXL1000M-varianterna är processhärdade och särskilt utformade för dielektrisk (oxid) etsning och andra liknande tillämpningar
- Torrpumparna iXL600(N) och iXL1000(N) har hög pumphastighet och låg energiförbrukning
- iXL900R är den snabbaste slusspumpen i sin klass för FPD-slusstillämpningar. Kunderna kan avsevärt minska sina driftskostnader och installationstider med denna nya pump, som är särskilt lämplig för de största slusskamrarna som används för plasmaångdeponering (PVD). Dessutom behöver kunderna färre pumpar per slusskammare, vilket minskar installationstiden, systemiseringskostnaderna, underhållet och energiförbrukningen.
- Ett grönt läge möjliggör minskad användning av energi under stilleståndsperioder, vilket sänker kostnaderna och bidrar till att förbättra miljöprestandan