預測性維護如何改變半導體廠房維護 - 客戶案例

歐洲晶圓製造商大幅減少了非預期的泵浦故障

半導體工廠在壓力下運作，以維持高安全性、品質、生產力和可靠性。次工廠中的真空泵浦在維持連續生產方面扮演著關鍵角色。如果這些泵浦意外故障，影響可能會很嚴重：代價高昂的製程工具停機時間、生產延遲、晶圓損失以及維護成本增加。雖然傳統的維護策略（如反應性和預防性方法）至關重要，但在預防突然故障方面仍然存在差距。

STMicroelectronics 意大利卡塔尼亞工廠

防止晶圓生產中的真空泵浦停機

我們的歐洲客戶之一 STMicroelectronics 的卡塔尼亞主要晶圓製造廠，以其在類比和電力半導體製造方面的專業知名度而聞名。我們的客戶強調創新和卓越運營，正在尋找更智慧的方式來管理其龐大的泵浦機隊，並降低意外停機的風險。

他們面臨著一個關鍵問題：由於意外的泵浦故障而導致製程工具停機。這些故障中斷了生產、增加了成本，並使資源受壓。
傳統的維護策略，無論是被動修復還是排定的預防性更換，都沒有減少意外停機時間或最佳化資產利用率。

在泵浦問題發生之前進行偵測

為了解決這些挑戰，斯塔特的主要卡塔尼亞地點與愛德華合作，實施了預測性維護平台 ，收集並分析來自真空泵浦的即時資料。這讓製造廠能夠：

應用預測性演算法，在真空泵浦問題發生之前預測其發生。
採取有針對性的行動 ，將故障風險降至最低，並減少不必要的更換。

改用預測性維護，讓 ST 能更好地控制泵浦運作時間、製程工具可用性和運作效率。

實作

改變並未在一夜之間發生。ST 與愛德華在技術專家與資料科學家團隊的支援下，與 ST 與愛德華區域團隊共同展開合作。

作為這項旅程的一部分，愛德華團隊應用車隊監控以準確識別常見故障模式的症狀並實施預測性行動。由專家引導的分析可實現客觀、以資料為導向的決策 ，轉化為減少矯正性維護。這些結果導致 ST 探索愛德華預測性維護如何在排定預防性維護之前，評估泵浦狀況，以改善預防性維護之間的平均時間 (MTBPM) 。

這種強大的合作意味著減少了意外真空關閉事件 ，減少了糾正性干預、延長了 MTBPM 間隔時間，並明顯改善了工具可用性。

結果

延長 MTBPM 間隔時間和隨著時間的推移在 ST 進行的矯正性維護事件

意外事件大幅下降， 從過去兩年的大部分事件降至僅 10% 的總更換事件。在第 1 年和第 2 年，工廠平均每年進行 10 次矯正性維護 (CM) ；到第 4 年和第 5 年，每年僅減少 1.5 次 CM，其中一項是由外部因素造成的。
減少 50% 的預防性泵浦更換次數。資產利用率從第 4 年的 10，000 小時 (MTBPM) 提高至約 20，000 小時，有效地將預防性更換次數減半。
同時減少了意外和預防性更換 - 這是維護策略中罕見的成就，證明了預防性維護的有效性。
透過減少意外事件、提高可預測性 ，並使團隊能夠主動做出以資料為導向的維護決策來節省成本。

這項成就證明，預測性維護不僅能大幅改善製程工具的可用性、改善子製造廠的運作效率並最佳化資產利用率 ，而且還能在最複雜的製造環境中進行擴充。