Osiągnij nowy poziom wydajności pomp kriogenicznych
Kriopompa CTI-Cryogenics On-Board IS XVS 320F kontynuuje tradycję firmy Edwards dostarczania najbardziej niezawodnych i wydajnych kriopomp implantacyjnych na rynku.
Kryopompa On-Board® 320F XVS została zaprojektowana z myślą o zapewnieniu najwyższej wydajności pompowania wodoru w celu zwiększenia wydajności i przepustowości procesu, oferując idealną odpowiedź na współczesne wyzwania związane z implantami jonowymi. Inteligentne sterowanie systemem zintegrowane z pompą kriogeniczną zapewnia lepszą jakość procesu, spójność próżni i czas sprawnego działania, jednocześnie dostarczając informacji o systemie w czasie rzeczywistym w celu optymalnej kontroli temperatury macierzy. Jakość próżni jest poprawiana dzięki automatycznej adaptacji do zmieniających się warunków obciążenia termicznego/gazowego.
Cechy i zalety produktu
- Stabilna wydajność próżniowa
- Wyższa wydajność próżniowa
- Kompatybilność systemu
- Zmniejszone wahania prędkości pompowania H2 między regeneracjami
- Mniejszy wpływ na prędkość pompowania H2 dzięki zanieczyszczeniu fotorezystancją
- Zoptymalizowane stabilne temperatury matrycy
- Wysoka prędkość pompowania H2 - 15 500 l/s
- Wysoka wydajność H2 - 40 STD-L
- Wysoka prędkość pompowania H2 - 15 500 l/s
- Wysoka wydajność H2 - 40 STD-L
