VERHOOG DE PRODUCTIVITEIT EN VERLAAG TEGELIJKERTIJD DE KOSTEN EN DE MILIEU-IMPACT
Als onderdeel van ons continue verbeteringsproces ontwerpen we upgrades om onze klanten te helpen de prestaties van hun machines te verbeteren, de eigendomskosten te verlagen en hun duurzaamheidsdoelstellingen te bereiken.
- Bescherming van de apparatuurprestaties
- Lagere totale gebruikskosten
- Milieuvriendelijk
BESCHERMING VAN DE APPARATUURPRESTATIES
Upgrades die zijn ontworpen om de prestaties van uw machine te verbeteren en de productiviteit van uw bedrijf te verhogen
On-tool upgrades voor deeltjesreductie voor Maglev turbopompen
In onze voortdurende missie om de productiviteit en opbrengst van onze klanten te verbeteren, hebben we een reeks oplossingen ontwikkeld die onze klanten in staat stellen om deeltjesverontreiniging op wafers in halfgeleidertoepassingen te verminderen door gebruik te maken van drie technologieën op het gereedschap, onze anti-terugslagtechnologie, een rotorbekerdeksel en het gebruik van hogetemperatuurpompen.
Terugslagbeveiligingstechnologie
Tijdens de productie kunnen deeltjes van de turbopomp in de kamer worden teruggeworpen, waardoor de wafers mogelijk worden verontreinigd en de productiviteit afneemt. Onze Anti-Recoil-technologie vermindert de verontreiniging door deeltjes aanzienlijk door ze gemakkelijk door de turbopomp in de uitlaat te laten stromen.
Deksel rotorbeker
Om corrosie en ophoping van deeltjes op de rotorbeker (bij de inlaat van de turbopomp) te voorkomen, hebben we een corrosiebestendige rotorbekerafdekking ontwikkeld die zowel de vorming van afzettingen als corrosie van de roestvrijstalen componenten voorkomt.
Hogetemperatuurpompen
Een andere bron van deeltjesverontreiniging is afzetting in de turbopomp, waardoor deeltjes ook terug door de turbopomp en in de kamer kunnen komen. Door gebruik te maken van hogetemperatuurpompen wordt het gaspad verwarmd tot extreem hoge temperaturen, waardoor de vorming van afzettingen wordt verminderd. Deze pompen hebben een speciale coating met hoge warmteafgifte op belangrijke vacuümcomponenten, zoals de rotor en stator, en hun temperatuurprofiel wordt voortdurend geoptimaliseerd voor de beste resultaten.
Alle drie de deeltjesreductietechnologieën kunnen worden geïnstalleerd tijdens een regelmatig pomponderhoud in ons Service Technology Centre om ervoor te zorgen dat klanten de productiviteit van nieuwe apparatuur en hun bestaande installaties kunnen optimaliseren.
Verbeter de opbrengst van halfgeleiders met EUV-pompupgrades
In de competitieve sector van de halfgeleiderproductie is het van cruciaal belang om de productiviteit te maximaliseren en tegelijkertijd de energiekosten in productiefaciliteiten te beheren. Onze EUV-drooglopende pompupgrades zijn ontworpen om de prestaties van uw apparatuur aanzienlijk te verbeteren en een optimale verbetering van de opbrengst van halfgeleiders te garanderen. Door de integratie van geavanceerde diensten voor halfgeleiderapparatuur verhogen onze upgrades niet alleen de opbrengst in de halfgeleiderproductie, maar dragen ze ook bij aan aanzienlijke energiebesparingen. Deze holistische benadering van de opbrengstverbetering in halfgeleiderprocessen zorgt ervoor dat uw productiefaciliteiten optimaal presteren.
XCEDE-drooglopende pompbescherming voor zware productieprocessen
De drooglopende pompbeschermingstechnologie van de XCEDE voorkomt corrosie van kritieke pompcomponenten en verlengt de tussentijd tussen onderhoudsintervallen, waardoor de bedrijfstijd van de klant wordt gemaximaliseerd. Deze technologie presteert beter dan alle concurrerende methoden door een complexe combinatie van oppervlaktebehandeling en precisietechniek te gebruiken om de chemische en mechanische slijtage in het pompmechanisme voor de Edwards iH-, iXH- en iXM-pompfamilies te verminderen.
LAGERE TOTALE GEBRUIKSKOSTEN
Upgrades zijn ontworpen om de tussentijd tussen onderhoudsbeurten te verlengen en de efficiëntie van uw apparatuur te verhogen voor lagere totale eigendomskosten.
Reductie poreuze kop
Edwards ontwikkelde de poreuze kop, een upgrade voor buitendienst die gebruik maakt van een gesinterd, poreus metalen blok, dat een luchtspoeling gelijkmatig over het oppervlak verspreidt om het risico op poederophoping te verminderen. Het vervangt de traditionele keramische isolatorkop.
Tijdens het bestrijdingsproces kunnen vaste stoffen, gewoonlijk poeders, zich ophopen in ongewenste delen van het systeem, zoals de onderkant van de inlaatkop. Deze ophoping van poeder leidt tot een verstopping die de stroom van procesgassen verhindert, waardoor frequente geplande onderhoudsinterventies nodig zijn. In een jaar van zware processen kan deze poederophoping meer dan negen onderhoudsonderbrekingen veroorzaken, wat leidt tot hogere eigendomskosten door het gebruik van arbeid en reserveonderdelen.
Klanten die de upgrade van de poreuze kop gebruiken, zijn van tien onderhoudsintervallen per jaar overgestapt naar gemiddeld slechts twee. Dit heeft gemiddeld 64 uur stilstandtijd per jaar weggenomen voor klanten zonder een back-up reductiesysteem, wat resulteert in een extra doorvoer van $1,5 miljoen.
Klanten met een back-up bestrijdingssysteem zien aanzienlijke besparingen op reserveonderdelen, onderhoudsarbeid en een hogere energie-efficiëntie door hun afhankelijkheid van hun back-upsysteem te verminderen.
Liner Pro: een brander van de volgende generatie
Halfgeleiderfabrieken staan onder constante druk om het risico op onverwachte downtime te verminderen, onderhoudskosten onder controle te houden en de operationele efficiëntie te verbeteren. Liner Pro is een robuuste bestrijdingsvoering die is ontworpen om de terugkerende uitdagingen van het onderhoud van brandervoeringen in bestrijdingssystemen aan te pakken. Het is nu ook een herbruikbaar onderdeel om uw duurzaamheidsinspanningen te ondersteunen. Door de Liner Pro te integreren in een serviceplan kunt u uw activiteiten stroomlijnen, de totale eigendomskosten verlagen en hoge prestaties handhaven in veeleisende processen.
Dienstverlening
Vloten met machines die meer dan vijf jaar in gebruik zijn, lopen het risico op onverwachte storingen in hun kritieke elektronica, ongeacht hun mechanische prestaties, die voornamelijk worden behouden door effectieve onderhoudsregimes.
De oplossing van Edwards Life Services is een geweldige optie om machines te vernieuwen en de levensduur van uw vloot te verlengen. Life Services dekt alle belangrijke elektronische onderdelen van het systeem met uitgebreide garanties, zodat uw apparatuur jarenlang blijft werken.
Life Services is beschikbaar via ons wereldwijde netwerk van Service Technology Centres.
MILIEUVERBETERINGEN
Upgrades die zijn ontworpen om de levensduur van uw apparatuur en de milieu-impact ervan te verlengen en u te helpen uw duurzaamheidsdoelstellingen te bereiken.
De energiekosten in de productie verlagen met onze energiebesparende upgrades
Deze Edwards-upgrade van de iXH1210 drooglopende pomp is eenvoudig te vervangen, zonder extra werk voor teams ter plaatse en zonder verlies van stilstandtijd tijdens het upgradeproces.
Het levert bijna een derde van uw energiekosten op en helpt uw milieu-impact te beperken door meer koolstofuitstoot te besparen, wat bijdraagt aan uw milieudoelstellingen. Geen wonder dat we het de energiebesparende upgrade noemen.
Stelt u zich nu voor dat u die getallen vermenigvuldigt met het aantal pompen dat in uw fabriek kan worden geüpgraded?
Bovendien hoeven onze klanten geen kapitaal te plannen voor nieuwe pompen, aangezien de upgrade kan worden gerealiseerd via het upgradeproces van Edwards Intelligent Service.
Upgrade energiebesparende EUV-pomp
In de productie van halfgeleiders wordt duurzaamheid steeds belangrijker. Onze EUV-drooglopende pompupgrades zijn ontworpen om duurzaamheid te ondersteunen door het energieverbruik in EUV-processen en het stroomverbruik van EUV's aanzienlijk te verminderen. Door uw pompen te upgraden, kunt u de energieprestaties van het proces optimaliseren, aanzienlijke energiebesparingen realiseren en tegelijkertijd de productiviteit verhogen.
Lees meer over EUV-energiebesparing in ons succesverhaal hieronder:
Warmtewisselaars
Koelwaterverontreiniging in de hele fabriek is een risico dat wordt gecreëerd door bestrijdingssystemen zonder strikte onderhoudsschema's. In veel systemen zijn warmtewisselaars kwetsbaar voor corrosieschade door zure proceschemie die een lek in het proceskoelwater van de fabriek kan veroorzaken. Deze verontreiniging kan andere proceshulpmiddelen beschadigen die hetzelfde koelwatercircuit gebruiken. Het vormt ook een risico voor het milieu omdat het gevaarlijk is om het af te voeren.
De Field Service Upgrade Kit voor warmtewisselaars is een effectieve oplossing om de bestaande gesoldeerde warmtewisselaar om te bouwen naar een nieuw plaat- en pakkingontwerp, zonder aanzienlijke wijzigingen aan het systeem. Het biedt een betere weerstand tegen zuuraantasting in vergelijking met originele warmtewisselaars, wat een langere levensduur van ongeveer vijf tot tien keer biedt en het risico op verontreiniging van het Fab-koelwater vermindert.
