予測保全が半導体工場のメンテナンスを変革する方法 - 顧客事例

STMicroelectronics のヨーロッパの顧客の 1 つであるカタニアのメインサイトウエハー工場は、アナログおよび電力半導体製造の専門知識で知られています。イノベーションとオペレーショナルエクセレンスに強く焦点を当て、当社のお客様は、広範なポンプフリートを管理し、予定外のダウンタイムのリスクを低減するスマートな方法を探していました。

彼らは、予期しないポンプ故障によるプロセスツールのダウンタイムという重大な問題に直面していました。これらの不具合により、生産が中断され、コストが増加し、リソースに負担がかかりました。
従来のメンテナンス戦略では、事後の修正や予防的な交換のスケジュール設定など、計画外のダウンタイムを削減したり、資産の稼働率を最適化したりできませんでした。    

これらの課題に対処するため、ST の主要なカタニア拠点はエドワーズと提携し、真空ポンプからリアルタイムでデータを収集・分析する予測保全プラットフォーム を導入しました。これにより、工場は次のことが可能になりました。   

• 予測アルゴリズムを適用して、真空ポンプの問題が発生する前に予測します。   
• 故障のリスクを最小限に抑え、不要な交換を減らすために、的を絞った措置を講じます。   

ST 社は、予測保全に移行することで、ポンプの稼働時間、プロセスツールの可用性、運用効率をより適切に制御できるようになりました。   

この変化は一夜にして起こったわけではありません。ST とエドワーズは、テクニカルスペシャリストとデータサイエンティストのグループが支援する ST とエドワーズ地域チームのコラボレーションを通じて、この旅を始めました。   

この取り組みの一環として、エドワーズのチームはフリートモニタリングを適用し、一般的な故障モードの症状を正確に特定し、予測措置を実施しました。専門家主導の分析により、客観的でデータ駆動の意思決定が可能になり、是正メンテナンスの削減につながりました。これらの結果により、ST は、予防保守をスケジュールする前にポンプの状態を評価することで、エドワーズの予測保全をどのように使用して予防保守間の平均時間 (MTBPM) を改善できるかを探りました。   

この強力なコラボレーションにより、予定外の真空ダウンイベントが減り、修正介入が減り、 MTBPM 間隔が延長され、ツールの可用性が明らかに向上しました。    

• 過去 2年間で、予定外のイベントが 大半からわずか 10% まで減少しました。1年目と 2年目では、工場は平均で年間 10 回の是正メンテナンス (CM) を実施しました。4年目と 5年目までに、これは 1年あたりわずか 1.5 CM に削減され、そのうちの 1 つは外部要因によるものでした。   
• 予防的ポンプ交換の 50% 削減。資産稼働率が約 10，000 時間の MTBPM から 4年目から約 20，000 時間に改善され、予防的交換を効果的に半減しました。    
• 予期せぬ交換と予防的交換の両方が同時に減少しました。これは、予測保全の効果を証明するメンテナンス戦略における稀な成果です。 
• 予期せぬ事象を減らし、予測可能性を向上させ、チームがデータに基づいて予防的なメンテナンスの意思決定を行うことを可能にすることで、コスト削減 を実現します。   

この成果は、予測保全がプロセスツールの可用性を大幅に改善し、サブファブの運用効率を向上させ、資産の使用率を最適化するだけでなく、最も複雑な製造環境でも拡張可能であることを示しています。   

革新的なソリューションを採用するビジョンと勇気は、測定可能で持続的な結果をもたらしました。アルゴリズムを導入するための合意されたロードマップ があり、継続的な改善を保証しています。ST 社は、この新しい予測保全プラットフォームを導入し、機器の稼働率を最大化する準備が整いました。