Edwards CTI-Cryogenics ISクライオポンプシステムは、革新的な高効率技術を活用して、比類のない真空性能とエネルギー効率を提供します。
特許取得済みの分散コントロールシステムは、クライオポンプシステムの個々の要素を常に監視および調整し、優れたプロセス一貫性のためにシステム全体で最適な真空性能を維持します。On-Board ISクライオポンプは、Brooksの応答性の高いグローバルサービスおよびサポートネットワークに支えられて、今日利用可能なクライオポンプシステムの中で最高の稼働時間、最高の生産性、および総所有コスト最小化を実現します。
On-Board®IS 320FXクライオポンプは、今日のイオン注入プロセスの課題に対処するために特別に開発され、On-Board® 320FEクライオポンプから期待されるすべての品質、性能、信頼性の利点を維持しながら、水素排気速度と容量を強化したものです。
On-Board®IS XPクライオポンプは、PVD用途の処理能力を向上させ、プロセスの透明性を維持しながら最大限の生産性を実現します。同時に、On-Board®ISに期待される証明済みのエネルギー効率、一貫したパフォーマンス、低所有コストを活用します。
