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Edwards On-Board ISクライオポンプ

On-Board ISクライオポンプ

高効率を実現する革新的な極低温技術

比類のない真空性能とエネルギー効率

特許取得済みの分散コントロールシステムは、クライオポンプシステムの個々の要素を常に監視、調整し、システム全体で最適な真空性能を維持することで、優れたプロセス一貫性を実現します。On-Board ISクライオポンプは、反応の早いEdwardsのグローバルサービスおよびサポートネットワークのサポートにより、市販されているクライオポンプシステムの中で最高の稼働時間、生産性、および最小限の総所有コストを達成します。

 

主な機能

  • 特許取得済みの分散コントロールシステムは、クライオポンプシステムの個々の要素を常に監視および調整します。
  • システム全体で最適な真空性能を維持し、優れたプロセス一貫性を実現します。
  • 単一および複数ポンプ構成による最速の再生成
  • 真空性能を損なうことなく、エネルギーと冷却水の低消費を実現
  • 簡単なシステム統合
  • 迅速な設備設置
  • 予防保守と予測保守両方のためのリモート監視を強化
 

On-Board® IS 320FXクライオポンプは、今日のイオン注入プロセスの課題に対処するために特別に開発され、これまで通りの品質、性能、信頼性を維持しながら、水素排気速度と容量が強化されています。 

  • イオン注入用途のための専用設計
  • ツール処理能力を最適化
  • インテリジェントな「自己調整」テクノロジー
  • 低い所有コスト
  • 長い稼働時間

 

On-Board® IS XPクライオポンプは、PVD用途の処理能力を向上させ、プロセスの透明性を維持しながら最大限の生産性を実現すると同時に、On-Board® ISによる実証済みのエネルギー効率、一貫した性能、低い所有コストを達成します。 

  • 将来的なプロセス改善のための能力オーバーヘッドの提供
  • 低い所有コスト
  • 稼働時間を増加
  • 安定した真空性能を発揮するインテリジェントな「自己調整」テクノロジー