On-board ISクライオポンプ

高効率を実現する革新的な極低温技術

比類のない真空性能とエネルギー効率

 特許取得済みの分散コントロールシステムは、クライオポンプシステムの個々の要素を常に監視および調整し、優れたプロセス一貫性のためにシステム全体で最適な真空性能を維持します。On-Board ISクライオポンプは、Brooksの応答性の高いグローバルサービスおよびサポートネットワークに支えられて、今日利用可能なクライオポンプシステムの中で最高の稼働時間、最高の生産性、および総所有コスト最小化を実現します。

主な特徴

 
  • 特許取得済みの分散コントロールシステムは、クライオポンプシステムの個々の要素を常に監視および調整します。
  • システム全体で最適な真空性能を維持し、優れたプロセス一貫性を実現します。
  • 単一および複数ポンプ構成で最速の再生成
  • 真空性能を損わず、エネルギーと冷却水の低消費量を実現
  • 簡単なシステム統合
  • 迅速な本番取り付け
  • 予防保守と予測保守両方のためのリモート監視の強化

On-Board®IS 320FXクライオポンプは、今日のイオン注入プロセスの課題に対処するために特別に開発され、On-Board® 320FEクライオポンプから期待されるすべての品質、性能、信頼性の利点を維持しながら、水素排気速度と容量を強化したものです。 

  • イオン注入用途のための特別設計
  • ツール排気量のために最適化
  • インテリジェントな「自己調整」テクノロジー
  • 低い所有コスト
  • アップタイムの増加

 

On-Board®IS XPクライオポンプは、PVD用途の処理能力を向上させ、プロセスの透明性を維持しながら最大限の生産性を実現します。同時に、On-Board®ISに期待される証明済みのエネルギー効率、一貫したパフォーマンス、低所有コストを活用します。 

  • 将来のプロセス改善のための能力オーバーヘッドの提供
  • 所有コストを低減
  • アップタイムを増加
  • 一貫性のある真空性能のためのインテリジェントな「自己調整」テクノロジー