Edwards CTI-Cryogenics ISクライオポンプシステムは、革新的な高効率技術を活用して、比類のない真空性能とエネルギー効率を実現します。
特許取得済みの分散コントロールシステムは、クライオポンプシステムの個々の要素を常に監視、調整し、システム全体で最適な真空性能を維持することで、優れたプロセス一貫性を実現します。On-Board ISクライオポンプは、反応の早いEdwardsのグローバルサービスおよびサポートネットワークのサポートにより、市販されているクライオポンプシステムの中で最高の稼働時間、生産性、および最小限の総所有コストを達成します。
On-Board® IS 320FXクライオポンプは、今日のイオン注入プロセスの課題に対処するために特別に開発され、これまで通りの品質、性能、信頼性を維持しながら、水素排気速度と容量が強化されています。
On-Board® IS XPクライオポンプは、PVD用途の処理能力を向上させ、プロセスの透明性を維持しながら最大限の生産性を実現すると同時に、On-Board® ISによる実証済みのエネルギー効率、一貫した性能、低い所有コストを達成します。
