真空システムコントローラ

真空測定用に最適化された制御システム

圧力管理を正確に行い、真空システムにシームレスに組み込めるように設計された、当社の高度な真空システムコントローラーをご確認ください。

当社のコントローラーは、正確な測定値と最適な性能を提供するように設計されています。

真空システムコントローラーは、圧力を維持して調整するために不可欠です

このコントローラーは、さまざまなタイプの真空ゲージ、プライマリーポンプ、バッキングポンプとシームレスに連携し、正確な圧力測定値と効率的なシステム性能を確保します。科学実験の管理でも、産業用真空プロセスでも、最適な結果を得るには、適切な真空システムコントローラーを選択することが重要です。

当社はお客様のシステムに直接組み込めるできるデジタルゲージとアナログD-Subゲージを提供し、デジタルコントローラーを必要としないシームレスな統合を実現します。アナログゲージRJ45は、ADC、TAG、TICなど、すべての電流コントローラーに対応しているため、既存の設定に簡単に組み込むことができます。

さまざまな真空システムコントローラとその特長、そして真空環境を正確かつ確実に制御するための各種ゲージとの統合方法についてご紹介します。次の表は、ゲージと適切なコントローラーを一致させるためのクイックリファレンスです。シームレスな統合と最適な性能を実現します。

	3ヘッド機器 TIC	6ヘッド機器 TIC	6ヘッド機器 TIC CAPMAN	100 W/200 W TIC ターボおよび機器	ADC	ADCe	TAG	PGC201	PGC202
APG200	x	x	x	x	x	x	x
AIM200	x	x	x	x		x	x
WRG200	x	x	x	x	x	x	x
Barocel*			x
APGX-H	x	x	x	x	x	x	x
AIGX	x	x	x	x
WRH**	x	x	x	x
ASG2***	x	x	x	x		x	x
CPG35K								x
IG40BAおよびIG40EX									x

*キャパシタンスマノメータでは、6ヘッド機器TIC CAPMANが必要です。
**WRHでは、TICアダプタ（D14750300）が必要です。
***ASG2では、RJ45アダプタ（D40003160）が必要です

ADCアクティブデジタルコントローラー

アクティブデジタルコントローラー（ADC）は、明るいLEDディスプレイとシンプルなプッシュボタンコントロールを備えたコンパクトな1線式真空ゲージコントローラーです。

エドワーズの互換性のあるゲージを自動的に認識し、適切なルックアップテーブルをロードして、圧力を共通の真空ユニットに表示します。

ADCには、標準バージョンとMkII拡張バージョンがあります。MkIIは、リレーとアナログ出力にリンクされた可変セットポイントを持つ2つのゲージをサポートしています。このため、直感的なプラグアンドプレイ操作、広い圧力範囲、高視認性ディスプレイにより、幅広いラボ用途および産業用途に最適です。

アクティブデジタルコントローラー

TICコントローラー

TICコントローラーは、大型のグラフィカルディスプレイと直感的なユーザーインターフェイスを備えた、汎用性の高いコンパクトなシステムコントローラーです。

Windows™ベースのPCプログラムを使用して、完全なリモート制御とデータロギングを実行できます。

プラグアンドプレイ機能と標準のRS232/485通信を備えた小規模プロセスに最適です。

TICシリーズには、主に次の3種類のコントローラーがあります。

TICインスツルメントコントローラー：ゲージコントローラー（3および6ゲージタイプ）、およびBarocelキャパシタンスマノメータゲージで使用する6ゲージCAPMANタイプ

TICターボコントローラー：100 Wおよび200 Wタイプのポンプコントローラーで、1つのターボ分子ポンプを接続し、冷却通気弁サポートをコントローラーから直接提供します。200 Wモデルには、さらにバッキングポンプ接続が追加されています

TICターボおよびインスツルメントコントローラー：ポンプおよびゲージコントローラーで、100 Wまたは200 Wのタイプが用意されており、TICインスツルメントコントローラーとTICターボコントローラーの両方の機能が組み合わされています

TICターボおよびインスツルメントコントローラー

PGCパッシブゲージコントローラー

パッシブゲージの電子機器は、独立したコントローラー内に収められているため、照射環境への対応が可能です。

同シリーズには、2種類のコントローラーが用意されており、アナログ/デジタル出力、オンボードセットポイントにより、幅広いシステムに組み込む方法を選択できます。

PGC201 – 2つのピラニゲージ（PRG20K）と1つの冷陰極ゲージ（CPG35K）を駆動させます。
PGC202 – 2つのピラニゲージ（PRG20K）と1つの熱陰極ゲージ（IG40BAまたはIG40EX）を駆動させます。

パッシブゲージコントローラー

TAGターボおよびアクティブゲージコントローラー

ターボおよびアクティブゲージ（TAG）コントローラーは、エドワーズのすべてのEXTおよびnEXTのターボ分子ポンプに対応するコンパクトでコスト効率の高いシステムコントローラーです。

ポンプ速度や真空圧を表示する大型のLEDディスプレイと、使いやすいプッシュボタン式インターフェイスを備えています。

ベンチトップやモバイルプラットホームに最適なTAGコントローラーは、バッキングポンプ、通気弁、エアクーラ、エドワーズのアクティブゲージを稼働させることができます。スタート/ストップ機能、速度表示、性能監視などの包括的なポンプ制御を提供し、さまざまな真空用途に対応する汎用性の高い選択肢となっています。