真空とはそもそもどういう意味かご存知ですか？言葉の意味では「空気などの物質がそこに全く無い」状態のことですが、一般的には「大気圧より圧力の低い空間」の状態のことを指します。そんな真空状態には、不純物のないクリーンな環境、低い熱伝導、腐食や酸化の防止、宇宙空間の近似といった様々な特徴があり、日常生活の様々な製品の製造過程で真空技術が使われています。
身近なところに真空技術
アプリケーション例
- 食品
- コーティング
- 製薬
- 紙パルプ
- リチウムイオンバッテリー
- 半導体
真空乾燥 は、現代の産業では不可欠なプロセスです。特に食品業界ではエネルギーと時間の効率が高く、処理時間が大幅に短縮されます。また、熱を加えると劣化する可能性がある材料の乾燥にも安全です。真空乾燥を使用すると、サラダの味や健康基準を損なうことなく水分を安全に抜き取ることができます。
携帯電話は今まで以上に身近になり、日常生活の中で最も重要なアクセサリーとなっています。高度なポンプメカニズムと強化されたスクリュータイプのローター及びインテリジェントなオンボード制御の組み合わせにより、EdwardsのGXSは薄膜コーティングアプリケーションで活躍しています。携帯電話のケースやカバーに色を添え、表現の幅を広げ、あたなの人生を魅力的にするでしょう。
製薬アプリケーションの複雑な要求に対してEDSケミカルドライポンプは市場をリードする製品です。革新的なテクノロジーは最も過酷なプロセス環境でも、パフォーマンスと操作上の利点を提供します。例えば感熱性医薬品の乾燥など、熱を加えると製品が劣化する可能性がある材料の乾燥にも安心して使えます。
トイレットペーパーを作るには真空ポンプが必要だということをご存知ですか︖真空ポンプはトイレットペーパーとして巻かれる前に、紙パルプから水と化学物質を取り除くのに使われます。EdwardsのELRiシリーズは、このような湿気の多い用途に最適です。防塵・防滴機能を備え、長持ちするように設計されています。
リチウムイオンバッテリー用の結合剤や溶剤を含む、化学スラリーの混合は気泡を除去するために真空環境で行われます。エドワーズのGXSドライスクリュー真空ポンプは、高度な制御機能を備え、高品質な電極得るための均一で均質なペーストを作成する混合プロセスに最適なポンプです。
EUV露光装置
EUV露光装置は微細なパターンを形成するため、非常に高い精度が求められます。装置内に気体や微粒子が残っていると、ウエハー上に付着したりしてパターン形成に悪影響を及ぼす可能性があります。装置内を真空状態にし粒子の数を減らすことで、ウエハーへの影響を最小限に抑えることができます。
エドワーズが半導体業界にどのように貢献しているかの詳細は、動画をご覧ください。
