Your browser is not supported

Már nem támogatjuk az Az Ön által használt böngészőt. Kérjük, használja az alábbi támogatott böngészők egyikét oldalunk meglátogatásához

Search Edwards Vacuum
Ez a weboldal mesterséges intelligenciával lett lefordítva.
  1. ...
    • Semiconductor
    • Félvezetőipari szolgáltatások
    • Félvezetőgyártási vákuum- és gázkezelő berendezések korszerűsítése
    Porózus fej
    NÖVELJE A TERMELÉKENYSÉGET, MIKÖZBEN CSÖKKENTI A KÖLTSÉGEKET ÉS A KÖRNYEZETI HATÁSOKAT

    Folyamatos fejlesztési folyamatunk részeként fejlesztéseket tervezünk, hogy segítsünk ügyfeleinknek javítani gépeik teljesítményét, csökkenteni a birtoklási költségeket és elérni fenntarthatósági céljaikat. 

    A BERENDEZÉS TELJESÍTMÉNYÉNEK VÉDELME

    Frissítések a gép teljesítményének javítására és a műveletek termelékenységének növelésére

    Szerszámon történő részecskecsökkentés a Maglev turbószivattyúkhoz

    Ügyfeleink termelékenységének és hozamának javítására irányuló folyamatos küldetésünk részeként olyan megoldások sorozatát fejlesztettük ki, amelyek lehetővé teszik ügyfeleink számára, hogy csökkentsék a félvezető-alkalmazásokban a lapkákon lévő részecskék szennyeződését három szerszámon lévő technológia, az Anti-Recoil technológia, a rotorcsészefedél és a magas hőmérsékletű szivattyúk alkalmazásával.  

    Visszacsúszásgátló technológia 
    A termelés során a részecskék visszahúzódhatnak a turbószivattyúból a kamrába, ami szennyezheti a lapkákat és csökkentheti a termelékenységet. Anti-Recoil technológiánk jelentősen csökkenti a részecskeszennyeződést, mivel lehetővé teszi, hogy a részecskék könnyedén áthaladjanak a turbószivattyún a kipufogóba. 

    Forgórészfedél  
    A korrózió és a részecskék felhalmozódásának megelőzése érdekében (a turbószivattyú bemeneténél) korrózióálló rotorcsésze-burkolatot fejlesztettünk ki, amely megakadályozza a lerakódások kialakulását és a rozsdamentes acél komponensek korrózióját.

    Magas hőmérsékletű szivattyúk 
    A részecskeszennyeződés másik forrása a turbószivattyú belsejében történő lerakódás, amely lehetővé teszi a részecskék visszajutását a turbószivattyún keresztül a kamrába. A magas hőmérsékletű szivattyúk használatával a gáz útvonala rendkívül magas hőmérsékletre melegszik, ami csökkenti a lerakódások kialakulását. Ezek a szivattyúk speciális, nagy hőkibocsátású bevonattal rendelkeznek a kulcsfontosságú vákuumkomponenseken, például a forgórészen és az állórészen, és hőmérsékleti profiljukat folyamatosan optimalizálják a legjobb eredmények érdekében.

    Mindhárom részecskecsökkentési technológia beépíthető a szivattyú rendszeres szervizelése során a szerviztechnológiai központunkban, hogy az ügyfelek optimalizálhassák az új berendezések és a meglévő telepített bázisuk termelékenységét.

    Javítsa a félvezetők hozamát az EUV szivattyúfrissítésekkel

    A félvezetőgyártás versenyképes iparágában kulcsfontosságú a termelékenység maximalizálása a gyártási létesítmények energiaköltségeinek kezelése mellett. EUV szárazszivattyú-frissítéseinket úgy terveztük, hogy jelentősen javítsák berendezései teljesítményét, biztosítva az optimális félvezető-hozamnövekedést. A fejlett félvezetőipari berendezések szolgáltatásainak integrálásával korszerűsítéseink nemcsak a félvezetőgyártás hozamát növelik, hanem jelentős energiamegtakarításhoz is hozzájárulnak. Ez a holisztikus megközelítés a félvezetőgyártási folyamatok hozamának javítására biztosítja, hogy a gyártási létesítményei csúcshatékonysággal működjenek.

    XCEDE szárazszivattyú-védelem a zord gyártási folyamatokhoz

    Az XCEDE szárazszivattyú-védelmi technológiája megakadályozza a kritikus szivattyúkomponensek korrózióját, és megnöveli a szervizintervallumok közötti időt, maximalizálva az ügyfél rendelkezésre állását. Ez a technológia felülmúl minden versenytárs módszerét, mivel a felületkezelés és a precíziós mérnöki munka komplex kombinációját alkalmazza az Edwards iH, iXH és iXM szivattyúcsaládok szivattyúmechanizmusán belüli kémiai és mechanikai kopásának csökkentésére.

    ALACSONY TELJES BIRTOKLÁSI KÖLTSÉG

    A korszerűsítések célja a szervizelések közötti idő növelése és a berendezésflotta hatékonyságának növelése a teljes tulajdonlási költség csökkentése érdekében.

    Kipufogó porózus fej

    Az Edwards kifejlesztette a porózus fejet, egy olyan helyszíni javítást, amely szinterezett, porózus fémtömböt alkalmaz, amely egyenletesen eloszlatja a levegőt a felületen, csökkentve ezzel a por felgyülemlésének kockázatát. Helyettesíti a hagyományos kerámia szigetelőfejet.

    A kezelési folyamat során szilárd anyagok, jellemzően porok halmozódhatnak fel a rendszer nemkívánatos területein, például a bemeneti fej alján.  Ez a porfelhalmozódás olyan eltömődéshez vezet, amely megakadályozza a folyamatgázok áramlását, és gyakori tervezett szervizbeavatkozásokat okoz. Ez a porfelhalmozódás egy év alatt több mint kilenc szervizmegszakítást okozhat, ami a munkaerő és a pótalkatrészek használatának köszönhetően megnöveli a tulajdonlási költségeket.

    A porózus fejet frissítő ügyfelek évente tíz szervizintervallumról átlagosan kettőre váltottak. Ez évente átlagosan 64 órányi szerszámleállást eredményezett a tartalék gázkezelő rendszer nélküli ügyfelek számára, ami 1,5 millió $-nyi további átbocsátást eredményezett. 

    A tartalék kipufogógáz-kezelő rendszerrel rendelkező ügyfelek jelentős megtakarításokat tapasztalnak a pótalkatrészek, a karbantartási munka és az energiahatékonyság terén, mivel kevesebbet függenek a tartalék rendszerüktől.

    Életmentő szolgáltatások

    Az öt évnél hosszabb ideig használt gépekkel rendelkező flottáknál a kritikus elektronika váratlan meghibásodásának kockázata áll fenn, függetlenül a mechanikai teljesítményüktől, amelyet elsősorban hatékony karbantartási rendszerek biztosítanak. 

    Az Edwards Life Services megoldás nagyszerű lehetőség a gépek felújítására és flottája élettartamának meghosszabbítására. Az Élettartam-szolgáltatások kiterjesztett garanciával fedezik a rendszer minden fontos elektronikus alkatrészét, így berendezése éveken át működőképes marad. 

    A Life Services a szerviztechnikai központjaink globális hálózatán keresztül érhető el.

    KÖRNYEZETVÉDELMI FEJLESZTÉSEK

    A berendezésflotta élettartamának és környezeti hatásainak növelésére tervezett korszerűsítések segítenek fenntarthatósági céljai elérésében.

    Csökkentse a gyártás energiaköltségeit energiatakarékos korszerűsítéseinkkel

    Az Edwards iXH1210 szárazszivattyú-frissítése egyszerű cserélhetőséget kínál, a helyszíni csapatok számára nincs szükség további munkára, és a frissítési folyamat során nincs állásidő-veszteség.  

    Az üzemeltetési energiaköltségek majdnem egyharmadát teszi ki, és a nagyobb szén-dioxid-kibocsátás megtakarításával hozzájárul a környezetvédelmi célok eléréséhez. Nem csoda, hogy ezt nevezzük energiatakarékos frissítésnek. 

    Képzelje el, hogy szorozza meg ezeket a számokat a gyárában korszerűsíthető szivattyúk számával?

    További előnye, hogy ügyfeleinknek nem kell tőkebefektetést tervezniük az új szivattyúkra, mivel a korszerűsítés az Edwards intelligens szervizfrissítési folyamatán keresztül érhető el.

    EUV energiatakarékos szivattyú korszerűsítése

    A félvezetőgyártásban a fenntarthatóság egyre fontosabbá válik. EUV szárazszivattyú-fejlesztéseink az EUV folyamatok energiafogyasztásának és az EUV energiafogyasztásának jelentős csökkentésével támogatják a fenntarthatóságot. A szivattyúk korszerűsítésével optimalizálhatja a folyamat energiateljesítményét, jelentős energiamegtakarítást érhet el, miközben növeli a termelékenységet.

    Tudjon meg többet az EUV energiamegtakarításról az alábbi ügyfélsikertörténetünkből: 

    Hőcserélők

    A gyár egészére kiterjedő hűtővíz-szennyeződés kockázatot jelent a szigorú karbantartási ütemterv nélküli kipufogógáz-kezelő rendszerek esetében. Számos rendszerben a hőcserélők érzékenyek a savas folyamatkémia által okozott korróziós károkra, amelyek szivárgást okozhatnak az üzem folyamat-hűtővizében. Ez a szennyeződés károsíthatja az ugyanazt a hűtővízkört használó egyéb folyamateszközöket. Ezenkívül veszélyt jelent a környezetre, mivel veszélyesen ártalmatlanítható. 

    A hőcserélő helyszíni szervizjavító készlet hatékony megoldás, amely a meglévő forrasztott hőcserélőt új lemez- és tömítéskialakítássá alakítja át a rendszer jelentős módosítása nélkül. Az eredeti hőcserélőkkel összehasonlítva jobb savállóságot biztosít, körülbelül ötször-tízszeres élettartamot biztosít, és csökkenti az üzemi hűtővíz szennyeződésének kockázatát.

    Liner Pro: a következő generációs égőfej-átalakítás

    A félvezetőgyárak állandó nyomás alatt állnak, hogy csökkentsék a váratlan leállások kockázatát, szabályozzák a karbantartási költségeket és javítsák a működési hatékonyságot. A Liner Pro egy robusztus kipufogógáz-kezelő bélés, amelyet úgy terveztek, hogy megfeleljen a kipufogógáz-kezelő rendszerekben az égetőbetétek karbantartásával kapcsolatos ismétlődő kihívásoknak. Mostantól újrafelhasználható komponens is, amely támogatja fenntarthatósági törekvéseit. A Liner Pro szerviztervbe történő integrálásával korszerűsítheti a műveleteket, csökkentheti a teljes tulajdonlási költséget, és fenntarthatja a nagy teljesítményt a nagy igénybevételt jelentő folyamatokban.

    map placeholder image
    REGISZTRÁCIÓ

    Szeretne e-mailben értesítést kapni?