Növelje a rendszer áteresztőképességét és a folyamat termelékenységét
Az optimális termelékenység eléréséhez a vákuumtechnológiai alkalmazások széles körében nagy vízszivattyúzási sebesség szükséges.
Az Edwards CTI-Cryogenics On-Board® IS egyfokozatú cryopumpák jelentősen növelik a turbószivattyúk vízszivattyúzási sebességét, ami jelentős előrelépést tesz lehetővé a rendszerátbocsátásban és a folyamat termelékenységében, függetlenül attól, hogy transzfer-, gyártósori vagy folyamatkamra-alkalmazásokban használják őket.
A nagy vízszivattyúzási sebesség számos vákuumtechnológiai folyamatban javítja a végtermék minőségét, javítja az általános hozamot, és jelentősen csökkenti mind a hulladékot, mind magát a termelési költséget.
Az On-Board® IS egyfokozatú krioszivattyúk számos konfigurációban kaphatók, hogy megfeleljenek a legtöbb alkalmazási követelménynek. Különböző méretekben kaphatók in-line és in-situ konfigurációban is.
Főbb tulajdonságok
- Másodpercenként több mint 16 000 liter vízgőzt szivattyúz, javítva a folyamat minőségét és csökkentve a ciklusidőt számos alkalmazásban
- Szénhidrogéngáz-szennyeződések széles körének szivattyúzása, a turbószivattyúkhoz képest ötször-tízszer nagyobb szennyezőanyag-szivattyúzási sebességgel, miközben csökkenti a végtermék hibáit
- Nyolcszorosára növeli a turbószivattyú vízgőz-szivattyúzási sebességét terhelésre zárt átvitel vagy folyamatkamra használata esetén
- A legalacsonyabb vibráció, mint az On-Board® cryopump termékcsalád
- Alacsony költségű és minimális helyigényű működés, mivel nincs szükség nagy, szorosan kapcsolódó kompresszorra - gyakran működtethető a meglévő héliumrendszerrel
- Különböző méretekben elérhető in-line vagy in-situ konfigurációkban a felhasználói követelményeknek megfelelően
- Egyszerű telepítés
