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Restgasanalysatoren

Das perfekte Zusammenspiel aus hoher Leistung und Zugänglichkeit

RGA Restgasanalysatoren von Edwards

Unsere RGA-Geräte sind in zwei Modellen erhältlich. Beide sorgen mit ihrer hohe Leistung und Effizienz für einen einfachen und effektiven Betrieb   

Zur schnellen Übersicht sind die Einheiten jeweils mit einem eigenen Display versehen, auf dem sich die Hauptgastypen sowie der Gesamtdruck des Systems ablesen lassen, ohne dass ein Laptop angeschlossen werden muss.

PRA Primärgasanalysator

Er verfügt über ein perfektes Zusammenspiel aus hoher Leistung und Zugänglichkeit.

  • Erhältlich in vier Modellen, um Ihren Prozessanforderungen gerecht zu werden, egal, ob Sie nur ein Basismodell oder eines mit mehr Empfindlichkeit/Reichweite benötigen.
  • Ein PRA-Gerät ist der perfekte Ausgangspunkt für die Analyse Ihrer Prozesse.

WRA Restgasanalysator mit breitem Anwendungsbereich

Spitzenmodelle mit marktführenden Leistungsdaten.

  • Erhältlich in zwei Ausführungen – 1-200 oder 1-300 amu. So können Sie ein breites Spektrum an Gasen/Nebenprodukten in Ihren Prozessen messen. 
  • Hinzu kommt eine erhöhte Empfindlichkeit verglichen mit dem PRA, die noch präzisere Messungen ermöglicht.

Gesamtdruckmessung

für eine umfassende Prozesssteuerung

Doppel-Heizfaden

für höchste Zuverlässigkeit und Betriebszeit

Integriertes Display

für grundlegende Messungen ohne PC

Vom Kunden austauschbare Bauteile
Entgasungsfunktion
Schutz vor Ionenquelle und EM
RGAs analysieren Gase und deren Zusammensetzung, dies ist erforderlich für:

  • Lecksuche und -erkennung
  • Finden und Identifizieren von Verunreinigungen 
  • Prüfen der Gasreinheit
  • Produkt-/Prozessqualitätssicherung
  • Prozess- und Gerätediagnose und -steuerung
  • Optimieren von Prozessleistung und Ertrag

Die perfekte Lösung in einer Vielzahl von Anwendungen:

  • Halbleiterprozesse
  • Dünnfilm und Anzeige
  • Vakuumwärmebehandlung
  • Vakuumgefriertrocknung
  • Forschung und Entwicklung
  • Hochenergiephysik