Ekologičtější a spolehlivější s nižšími náklady na vlastnictví
Naše inovativní řada suchých vývěv přináší špičkovou technologii určenou pro vylepšení výrobního prostředí pro výrobu polovodičů a elektroniky.
Každá řada byla speciálně navržena tak, aby přinesla výhody z hlediska ochrany životního prostředí, spolehlivosti v náročných podmínkách a svižnosti v málo náročných provozech.
- Řada iXM – nízká spotřeba energie, vysoký výkon
- Řada iXH pro náročná prostředí
- Řada iXL pro lehký provoz
Nízkoenergetické suché vývěvy řady iXM od společnosti Edwards mohou zefektivnit výrobní procesy, a to díky delší provozuschopnosti, nižšímu dopadu na životní prostředí a snížení nákladů na nejkritičtější aplikace.
- Pomocí energeticky úsporného Rootsova mechanismu lze snížit příkon až o 60 %, což zapříčiní také omezení dopadu na životní prostředí a snížení nákladů na vlastnictví
- Technologie plynové bariéry a vylepšení v oblasti tepelné konstrukce zajišťují 4krát vyšší odolnost proti korozi oproti našim předchozím řadám
- Pokročilé funkce manipulace s práškem zajišťují maximální spolehlivost a delší životnost čerpadla pro procesy leptání více vrstev
- Nižší spotřeba energie pro procesy CVD
- Zvyšuje všestrannost díky kompaktnímu a lehkému provedení, které se vyznačuje mimořádně nízkou hlučností a vibracemi
- Řada iXM je k dispozici s technologií XCEDE, která zvyšuje odolnost proti korozi.
Řada suchých vývěv iXH stanovuje nové standardy výkonnosti při náročném provozu, spolehlivosti a nízkých nákladů na vlastnictví
- Díky širokému teplotnímu rozsahu lze výkon čerpadel optimalizovat, aby nedocházelo k nadbytečnému hromadění vedlejšího produktu při kondenzaci nebo pokovování
- Suché vývěvy iXH Mk2 poskytují ještě vyšší životnost v těch nejnáročnějších podmínkách a mohou také podstatně vylepšit energetickou účinnost
- Inovativní technologie těsnění vývěv může prodloužit životnost a snížit riziko úniku
- K dispozici s technologií XCEDE, která posiluje odolnost proti korozi
Řada nízkoenergetických kompaktních suchých vývěv iXL je určená pro lehký provoz a může být využita například při manipulaci s destičkami polovodičů, fyzikální depozici z plynné fáze (PVD) nebo metrologii.
- Rychlé odsátí komory a mimořádně nízká spotřeba energie
- Suché vývěvy iXL600(N) a iXL1000(N) patří mezi nejmenší a nejtišší vývěvy, které jsou v dnešní době pro lehký provoz k dispozici
- Vývěvy iXL600M a iXL1000M jsou ozkoušené v praxi a zkonstruované pro použití při dielektrickém (oxidačním) leptání a podobných aplikacích
- Vývěvy iXL600(N) a iXL1000(N) jsou vybaveny vysokou rychlostí odsávání a nízkou spotřebou energie
- Vývěva iXL900R je nejrychlejší vývěva pro "loadlock" FPD aplikace ve své třídě. Tato nová vývěva, která zákazníkům umožní výrazně snížit provozní náklady a dobu instalace, je vhodná zejména do největších "loadlock" komor, v nichž probíhá fyzikální depozice z plynné fáze (PVD). Zákazníci navíc do každé "loadlock" komory budou potřebovat menší množství vývěv, což sníží dobu instalace, náklady na systemizaci a údržbu a spotřebu energie.
- Pomocí ekologického režimu lze omezit použití vývěv během chodu naprázdno, což má za následek snížení nákladů a podpoření výkonu v oblasti ochrany životního prostředí