00.02 | 我們正在改變 subfab 的營運、裝備和維修模式。
利用 Ganymede 將製程效率和可靠性最大化。
愛德華最新的創新設計,透過提升製程穩定性、可靠性和效率,滿足半導體產業的需求。Ganymede 提供最先進的解決方案,可最佳化效能、縮短停機時間,並改善整體製程成果。
針對製程效率最佳化
Ganymede 專為支援半導體製造商的主要目標而設計,著重於穩定性、可重複性和改善良率。透過提供更長的「平均維修間隔時間」(MTBS)、更高的耐腐蝕性及更好的製程最佳化,確保製程持續保持一致性與可靠性。這可降低變異性,並將意外停機的風險降至最低,進而協助維持營運效率。
主要特點:
• 穩定性與可重複性:Ganymede 可確保穩定的效能,降低製程不穩定和中斷的可能性,進而在更長的時間內維持更順暢的運作
• 增強可靠性:Ganymede 具備更佳的抗腐蝕性與耐用設計,可應付半導體製造的嚴苛環境,確保在具挑戰性的條件下仍能維持可靠的效能
• 提高良率和產能:透過最佳化能源消耗與製程參數,Ganymede 有助於提高良率和產能,讓製程更有效率且更具成本效益
• 專為維修而設計:Ganymede 的設計重視可維修性,使維護更為快速簡便,進而減少停機時間,維持順暢的運轉。
解決重大挑戰
半導體製程經常面臨隨著時間而改變、設備意外停機及根本原因分析方面的挑戰。Ganymede 旨在提供可靠的解決方案,將變異性降至最低,並提高故障排除和有效解決問題的能力,以應對這些挑戰。這反過來也能帶來更穩定的效能和更高的整體生產力。
先進的設計也支援在多個生產廠區進行基準評定與最佳實務分享,讓製造商能夠比較資料,並透過協同合作改善製程成果。
Ganymede 提供以資料為導向的深入解析,讓製造商能夠最佳化製程,並提升整體營運效能。
著重於安全性和永續性
Ganymede 的泵浦系列以安全性和永續性為設計宗旨。經過最佳化的設計可減少高達 30% 的能源消耗,有助於降低範疇 2 的排放量,創造更永續的製造環境。Ganymede 還能減少對維修介入的需求,降低健康與安全事故的風險,同時將維護活動對環境的影響降至最低。
Ganymede 在降低耗水量、不含 PFAS 技術、不使用塑膠、採用可重複使用的包裝方面,進一步強化對環保責任的承諾。Ganymede 在整個設計中融入永續發展的特色,協助半導體製造商在維持高效能與高效率的同時,亦能達成其環保目標。
對未來創新的承諾
Ganymede 作為愛德華真空為規劃未來的半導體技術,以及因應不斷演變之應用挑戰所做投資的一部分,它代表在提供創新解決方案以滿足業界持續成長需求方面,向前邁進了一步。愛德華擁有可支援半導體製造商的全球據點和專業知識,致力於提供有助於推動業界長期成功的技術和服務。
Ganymede 旨在支援業界追求更高的穩定性、可靠性和永續性,使其成為製造商的關鍵解決方案,協助他們將製程最佳化並改善對環境的影響。
請在下方進一步瞭解 Ganymede,以及它如何協助半導體製造業推動製程效率、可靠性和永續性。