Atlas offre prestazioni di abbattimento senza eguali
Atlas™ di Edwards offre un'eccezionale affidabilità, un eccellente trattamento delle polveri e resistenza alla corrosione, garantendo prestazioni di abbattimento per l'industria dei semiconduttori, degli schermi piatti, del solare e del MOCVD.
Tecnologia di abbattimento Atlas: una gamma di soluzioni per la riduzione dei gas di combustione, specifiche per il tuo processo:
- Atlas TCS per gas CVD comuni (NF3/F2)
- Atlas TPU per gas PFC (ClF3, C2F6, C3F8) nei processi CVD
- Atlas Kronis per i gas CVD a basso contenuto di k nei processi di nuova generazione
- Atlas Etch per processi di incisione di semiconduttori e schermi piatti (CF4, SF6 e PFC ad alto flusso)
- Atlas Helios per il trattamento sicuro dei processi a idrogeno in epitassia e MOCVD
I sistemi Atlas™ hanno un basso consumo di combustibile rispetto ai dispositivi di abbattimento dei gas della generazione precedente. Utilizziamo la collaudata tecnologia del combustore a combustione interna di Alzeta™ per ottenere una riduzione significativa dei costi di proprietà. Con da uno a sei ingressi e una serie di opzioni, tra cui un sistema di gestione della temperatura (TMS), i sistemi Atlas sono in grado di trattare una capacità di flusso fino a 1200 slm. Sono progettati per essere facili da usare e consentire una manutenzione più efficiente.
Tecnologia di combustione interna di Edwards
Utilizzato dalla maggior parte dei principali produttori di semiconduttori, il combustore a combustione interna è diventato uno standard mondiale nell'abbattimento dei gas dal 1994.
La nostra esclusiva tecnologia di combustione funziona con una temperatura di combustione uniforme, che garantisce emissioni di fondo molto basse, mentre il flusso di gas interno impedisce il contatto del materiale di processo con le pareti della camera, riducendo al minimo l'ostruzione da parte dei solidi. L'esclusiva composizione del materiale del combustore garantisce un'eccellente resistenza alla corrosione e contribuisce a fornire all'Atlas affidabilità e sicurezza senza pari.
Presso il nostro centro di innovazione ambientale all'avanguardia, disponiamo di soluzioni ottimizzate per i processi in grado di garantire prestazioni eccezionali, collaudate sul campo e verificate da terze parti. Le DRE di abbattimento si estendono generalmente oltre la legislazione globale e locale:
SiH4 e altri alogenuri al di sotto del valore TLV
NF3 : >99% /
F2 : : >99% /
CF4 : >90%
Altri PFC : >99%
Grazie a un'ampia base di installazione, a un team di applicazioni e assistenza globali senza eguali, siamo in grado di offrire la soluzione migliore progettata per le tue esigenze di processo. Mettiti in contatto con il nostro team e possiamo lavorare insieme per una risoluzione definitiva.
