Сухие насосы для производства полупроводников

Мировой стандарт в области инноваций для вакуумных систем

Высокая экологичность и надежность при сниженной стоимости владения

Использование сухих насосов iXM с низким энергопотреблением позволяет существенно оптимизировать технологический процесс за счет увеличения времени бесперебойной работы, снижения воздействия на окружающую среду и сокращения затрат при эксплуатации критически важного оборудования.

  • Энергоэффективный механизм Рутса позволяет снизить потребляемую мощность почти на 60 %, уменьшает вредное воздействие на окружающую среду и снижает стоимость владения
  • Благодаря газовому уплотнению и более точному тепловому расчету коррозионная стойкость новых насосов в четыре раза выше, чем у изделий предыдущих серий
  • Улучшенные возможности работы с порошковыми материалами обеспечивают максимальную надежность и продлевают срок службы насосов, используемых для многослойного травления, а также позволяют снизить потребление энергии в процессе химического осаждения из газовой фазы (CVD)
  • Компактная и легкая конструкция в сочетании с исключительно низким уровнем шума и вибрации обеспечивает большую универсальность применения
  • Варианты исполнения с применением технологии Xcede, обеспечивающей повышенную коррозионную стойкость.

Сухие насосы iXH устанавливают новые стандарты технологических возможностей, надежности и сокращения стоимости владения для оборудования, используемого в тяжелых условиях.

  • Широкий диапазон рабочих температур позволяет оптимизировать работу насоса, чтобы сократить осаждение побочных продуктов из конденсата и материала покрытия
  • Сухие насосы iXH Mk2 отличаются еще большим сроком службы в самых жестких условиях, а их применение значительно повышает эффективность использования энергии
  • Инновационная технология уплотнения насоса позволяет увеличить продолжительность технологического процесса и снизить вероятность утечек
  • Варианты исполнения с применением технологии Xcede, обеспечивающей повышенную коррозионную стойкость.

Компактные сухие насосы iXL с низким энергопотреблением для облегченных режимов работы, например при обработке полупроводниковых пластин, в процессе физического осаждения из газовой фазы (PVD), а также для применения в метрологии.

  • Быстрая откачка камеры и чрезвычайно низкое энергопотребление 
  • Сухие насосы iXL600(N) и iXL1000(N) — одни из самых компактных и малошумных насосов для облегченных режимов работы 
  • Насосы iXL600M и iXL1000M изготовлены из закаленной стали и специально разработаны для травления диэлектриков (оксидов) и других аналогичных задач 
  • Сухие насосы iXL600(N) и iXL1000(N) отличаются высокой скоростью откачки и низким энергопотреблением
  • iXL900R — самый быстрый из насосов, предназначенных для использования с загрузочными шлюзами при производстве плоских дисплеев (FPD). Использование этого нового насоса позволяет клиентам значительно снизить эксплуатационные расходы и сократить продолжительность монтажа. Этот насос особенно хорошо подходит для камер с загрузочным шлюзом самых больших размеров, которые используются в процессе физического осаждения из газовой фазы (PVD). Кроме того, на каждую камеру потребуется меньшее количество насосов. Преимущества — сокращение времени монтажа, снижение энергопотребления, уменьшение расходов на создание системы и ее техническое обслуживание.
  • Функция Green Mode позволяет снизить потребление энергии в холостом режиме, тем самым улучшая экологические показатели предприятия и оптимизируя его расходы