Your browser is not supported

Вы используете браузер, который мы больше не поддерживаем. Чтобы продолжить навигацию по нашему веб-сайту, выберите один из следующих поддерживаемых браузеров.

Продукция, разработанная на заказ
Узнать больше
Диффузионные насосы
Узнать больше
Насосы с масляным уплотнением
Узнать больше
Механические бустерные насосы
Узнать больше
Промышленные безмасляные насосы
Узнать больше
Малые сухие насосы
Узнать больше
Турбомолекулярные насосы
Узнать больше
Измерение вакуума
Узнать больше
Обнаружение течей
Узнать больше
Анализаторы остаточного газа
Узнать больше
Химические сухие насосы
Узнать больше
Компоненты вакуумных систем
Узнать больше
Вакуумные насосы для создания сверхвысокого вакуума
Узнать больше
Водокольцевые насосы
Узнать больше
iTrap
Узнать больше
Турбомолекулярные насосные станции
Узнать больше
Криогенные чиллеры
Узнать больше
Криогенные насосы
Узнать больше
Сухие насосы для производства полупроводников
Узнать больше
Решения по охране окружающей среды - Очистка отработавших газов
Узнать больше
Интегрированные решения
Узнать больше

Сухие насосы для производства полупроводников

Мировой стандарт в области инноваций для вакуумных систем

Высокая экологичность и надежность при сниженной стоимости владения

Использование сухих насосов iXM с низким энергопотреблением позволяет существенно оптимизировать технологический процесс за счет увеличения времени бесперебойной работы, снижения воздействия на окружающую среду и сокращения затрат при эксплуатации критически важного оборудования.

  • Энергоэффективный механизм Рутса позволяет снизить потребляемую мощность почти на 60 %, уменьшает вредное воздействие на окружающую среду и снижает стоимость владения
  • Благодаря газовому уплотнению и более точному тепловому расчету коррозионная стойкость новых насосов в четыре раза выше, чем у изделий предыдущих серий
  • Улучшенные возможности работы с порошковыми материалами обеспечивают максимальную надежность и продлевают срок службы насосов, используемых для многослойного травления, а также позволяют снизить потребление энергии в процессе химического осаждения из газовой фазы (CVD)
  • Компактная и легкая конструкция в сочетании с исключительно низким уровнем шума и вибрации обеспечивает большую универсальность применения
  • Варианты исполнения с применением технологии Xcede, обеспечивающей повышенную коррозионную стойкость.

Сухие насосы iXH устанавливают новые стандарты технологических возможностей, надежности и сокращения стоимости владения для оборудования, используемого в тяжелых условиях.

  • Широкий диапазон рабочих температур позволяет оптимизировать работу насоса, чтобы сократить осаждение побочных продуктов из конденсата и материала покрытия
  • Сухие насосы iXH Mk2 отличаются еще большим сроком службы в самых жестких условиях, а их применение значительно повышает эффективность использования энергии
  • Инновационная технология уплотнения насоса позволяет увеличить продолжительность технологического процесса и снизить вероятность утечек
  • Варианты исполнения с применением технологии Xcede, обеспечивающей повышенную коррозионную стойкость.

Компактные сухие насосы iXL с низким энергопотреблением для облегченных режимов работы, например при обработке полупроводниковых пластин, в процессе физического осаждения из газовой фазы (PVD), а также для применения в метрологии.

  • Быстрая откачка камеры и чрезвычайно низкое энергопотребление 
  • Сухие насосы iXL600(N) и iXL1000(N) — одни из самых компактных и малошумных насосов для облегченных режимов работы 
  • Насосы iXL600M и iXL1000M изготовлены из закаленной стали и специально разработаны для травления диэлектриков (оксидов) и других аналогичных задач 
  • Сухие насосы iXL600(N) и iXL1000(N) отличаются высокой скоростью откачки и низким энергопотреблением
  • iXL900R — самый быстрый из насосов, предназначенных для использования с загрузочными шлюзами при производстве плоских дисплеев (FPD). Использование этого нового насоса позволяет клиентам значительно снизить эксплуатационные расходы и сократить продолжительность монтажа. Этот насос особенно хорошо подходит для камер с загрузочным шлюзом самых больших размеров, которые используются в процессе физического осаждения из газовой фазы (PVD). Кроме того, на каждую камеру потребуется меньшее количество насосов. Преимущества — сокращение времени монтажа, снижение энергопотребления, уменьшение расходов на создание системы и ее техническое обслуживание.
  • Функция Green Mode позволяет снизить потребление энергии в холостом режиме, тем самым улучшая экологические показатели предприятия и оптимизируя его расходы